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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 .&Ik(792Z&  
    S\jIs[Dz  
    ov xX.h O  
    V#Pz `D  
    亮点 *K#Ci1Q  
    paYvYK-K?  
    Au"7w=G`f  
    <&CzM"\Em  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) n/ m7+=]v  
     严格分析光栅衍射效率 [&MhAzF  
     考虑入射光的方向分布 PrQs_ t Ni  
    CqAv^n7 }  
    说明:光源 h*lU&8)m\  
    i w(4!,4~  
    :c/](M  
    p E56CM  
    说明:光束分束器 sry`EkS  
    )4O* D92  
    8|2I/#F}]  
    (X|`|Y  
    说明:检测透镜系统 |M$ESj4@  
    y9::m]s  
    kN8?.V%Utw  
    ;p8,=w  
    说明:微型晶片 nq,P.~l  
    |]=s  
    WoSJp5By$  
    p6*|)}T_%  
    说明:检测物镜 z@tIC^s  
    F#>^S9Gml  
    mA" 82"   
    :G/.h[\R|  
    说明:探测器 'kE^oX_  
    nNP{>\x;"  
    Ks/Uyu. X  
    =5D@~?W ZG  
    结果:3D光线追迹(只有0级) R1j)0b6cQ%  
    l ]CnLqf&  
    r4wnfy  
    wPRs.(]_  
    结果:3D光线追迹(所有级) \?K>~{)  
    cuUlr  
    =7P(T`j  
    `7o(CcF6H  
    结果:光线追迹 ?cmv;KV   
    $@}\T  
    5;yVA  
    *p>1s!i  
    结果:场追迹 [*2|#KSCX  
    qE)G;Y<,1  
    "PtOe[Xk  
    f^D4aEU  
    结果:线性偏振光的场追迹 6H:'_|G  
    ?D]qw4J  
    lBcRt)_O7  
     
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