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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 au~]  
    !@pV)RUv7  
    #d Z/UM(u  
    lI4J=8O0  
    亮点 -@SOo"P  
    w|}W(=#  
     `10X5V@hP  
    &[5n0e[  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） }dX/Y /  
     严格分析光栅衍射效率 crd|2bjp+  
     考虑入射光的方向分布 h4aygc  
    \E$1lc  
    说明：光源 }XCR+uAz  
    W$" Y%^L  
    [jl2\3*  
    ImWXzg3@{  
    说明：光束分束器 gX@nPZjg  
    H(15vlOD  
    Ecxj9h,S  
    -F"d0a,  
    说明：检测透镜系统 3P//H8 8LY  
    dD/t_ {h  
    ^\M dl  
    '7xxCj/*  
    说明：微型晶片 %K h2E2Pe  
    7qP4B9S  
    (2z%U  
    atY *8I|  
    说明：检测物镜 uAu( +zV2  
    (8CCesy&  
    !2}rtDE  
    hZAG (Z  
    说明：探测器 IQ3n@  
    !0Idp%  
    gyi)T?uS)  
    >0PUWr$8  
    结果：3D光线追迹（只有0级） Zc-#;/b3T  
    dh&W;zs  
    Rl_.;?v"!  
    *(k%MTG  
    结果：3D光线追迹（所有级） LeY+p]n~  
    2;:lK":  
    n`%2Mj c  
     bH*@,EE  
    结果：光线追迹 X Vw-G }5  
    ^8:VWJM  
     '!!e+\h#  
    :.#z  
    结果：场追迹 Oe/6.h?  
    I*Vt,JYx  
     ;a |`s  
    NZ>7dJ  
    结果：线性偏振光的场追迹 =HVfJ"vK  
    2B-.}OJ  
    );nz4/V  
     
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