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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 (3)C_Z  
    \a{Aa  
    Q,[rrG;?@  
    , LCH2r  
    亮点 R1]v}f_I"  
    ;m-6.AV  
     p=:7 atE  
    34"{rMbQ  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） i n[n A a  
     严格分析光栅衍射效率 fs]#/*RR  
     考虑入射光的方向分布 =YS!soO  
    >VpP/Qf  
    说明：光源 M>`?m L  
    #R~">g:w  
    [V!^\g\6  
    ?AqrlR]5  
    说明：光束分束器 f]@[4<Ny  
    'DaNR`9  
    ?7rmwy\  
    |HKHN? )  
    说明：检测透镜系统 jldcvW  
    V Z4nAG  
    $ioaunQKP  
    VWnu#_(  
    说明：微型晶片 avYh\xZ  
    !?tu! M<1?  
    )W_ Y3M,  
    O3sla bE#  
    说明：检测物镜 (hD X4;4  
    *~\;&G29Y  
    r9p?@P\:[  
    hr/xpQW  
    说明：探测器 XnNOj>!  
    \? 5[RR  
    `Z;B^Y0  
    $G^H7|PzdC  
    结果：3D光线追迹（只有0级） i]h R7g<  
    ]ly)z[is"]  
    s5_1}KKCs  
    *YiD B?Si  
    结果：3D光线追迹（所有级） ss|6_H =  
    OI;L9\MJc  
    _BeX7  
    #/& q  
    结果：光线追迹 W2X+N acD  
    a8lo!e9q  
     bOnukbJ  
    Yc|-sEK/  
    结果：场追迹 Yp?a=R  
    uMq\];7I  
     qZyt>SAx  
    A7I8Z6&  
    结果：线性偏振光的场追迹 1*eWvYo1  
    Z;dwn~Tw  
    R[ +]d|L  
     
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