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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 7J]tc1-re  
    T #&9|  
    `o 6Hm  
    ;J~NfL  
    亮点 zUM;Qwl  
    Bf;dp`(/   
     k;w1y(  
    u6A ReL 'f  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 9=j"kXFf  
     严格分析光栅衍射效率 S=>54!{`x  
     考虑入射光的方向分布 ;[]{O5TB  
    F#X&Tb{  
    说明：光源 4+od N.  
    coHzbD~#H  
    +s:!\(BM  
    'b#`8k~>  
    说明：光束分束器 1f]04TI  
    ~Cx07I_lf  
    L\Uf+d:&}G  
    92F (Sl  
    说明：检测透镜系统 fPf8hz>  
    )z/+!y  
    ,BCtNt(  
    TC80nP   
    说明：微型晶片 )\C:|  
    V]cD^Fqp  
    $9DV }  
    84UH& b'n  
    说明：检测物镜 Kv'2^B  
    JzJS?ZF  
    0b9;v lGq$  
    <=A1d\   
    说明：探测器 Z~o6%_xe  
    3%Z:B8:<y  
    37DyDzW)'  
    hPa:>e  
    结果：3D光线追迹（只有0级） PG<tic<?  
    m$ZPQ0X  
    =EI>@Y"  
    $<.\,wW*'w  
    结果：3D光线追迹（所有级） Z,%^BAJ  
    D<5;4Mb  
    5F{NPKa Q  
     ")MjR1p  
    结果：光线追迹 i>YD_#w  
    M=$ qus  
     !63p?Q=  
    T u>5H`  
    结果：场追迹 ?IR]y-r  
    LeDty_  
     U|QLc   
    Q H:k5V~  
    结果：线性偏振光的场追迹 XdX1GH*C  
    jj2 [Zh/h  
    S)T]>Ash  
     
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