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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 c\AfaK^KF  
    DN:EB @  
    BnasI;yWb  
    zy }$i?  
    亮点 ^k9I(f^c-_  
    Uz]|N6`  
    HN|%9{VeB  
    {R6ZKB  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) U-M>=3|N  
     严格分析光栅衍射效率 8bld3p"^  
     考虑入射光的方向分布 U # qK.  
    * 0=j?~&  
    说明:光源 E r?&Y,o  
    1iF1GkLEq  
    ~Z' ?LV<t  
    3h`f  6  
    说明:光束分束器 NTs aW}g  
    $6poFo)U+  
    nAdf=D'P  
    l,5+@i`5i  
    说明:检测透镜系统 aQ@oH#  
    _X x/(.O  
    \,0oX!<YY  
    L.JT[zOfb  
    说明:微型晶片 b4N[)%@  
    IW] rb/H  
    3/eca  
    fe_5LC"  
    说明:检测物镜 6.yu-xm  
    ;9QEK]@  
    }Jj}%XxKs  
    @f3E`8  
    说明:探测器 YPI-<vM~  
    KoT%Mfu  
    {E|$8)58i  
    '!B&:X)  
    结果:3D光线追迹(只有0级) f]sr RYSR  
    DZtsy!xA  
     a0)QH  
    DkDmE  
    结果:3D光线追迹(所有级) 7WzxA=*#  
    5]:U9ts#  
    NC6&x=!3  
    >Cq<@$I2EB  
    结果:光线追迹 gw<q.XL  
    :?1Dko^  
    ?(_08O  
    SQ+Gvq%Q]  
    结果:场追迹 }W^A*]X  
    *MW\^PR?  
    R[]Mdt<  
    b^vQpiz  
    结果:线性偏振光的场追迹 tw)mepwB  
    }3WxZv]I}  
    Ar#(psU  
     
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