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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 TSsKfexQ  
    A &9(mB  
    @M8|(N%  
    Q 9&kJ%Mo  
    亮点 UD y(v]  
    #vqo -y7@  
     }AvcoD/b  
    ^@_m "^C  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） /Y2/!mU</  
     严格分析光栅衍射效率 3TZ*RPmFRm  
     考虑入射光的方向分布 |fY/i] Ax  
    ;eZ#bjw-d  
    说明：光源 $CE[MZ&S  
    Mf#83 <&K  
    )I-fU4?  
    *VkgQ`c  
    说明：光束分束器 xlR2|4|8  
    6Ik,zQL  
    #s%-INcR  
    Y}DonF  
    说明：检测透镜系统 56Z\-=KAU  
    )*d W=r/$V  
    Kw`VrcwjT  
    Q9`QL3LQD  
    说明：微型晶片 {A o,t+j  
    5')8r ';,  
    tB' V  
    oiX"Lz{  
    说明：检测物镜 P~FUS%39"o  
    :9|W#d{o  
    oQj=;[  
    8Z2.`(3c[  
    说明：探测器 -n? g~(/P  
    :` $@}GI  
    <vbIp&  
    Zzl,gy70  
    结果：3D光线追迹（只有0级） +/+P\O  
    S|GWcSg  
    {hO`6mr&t  
    VIR.yh  
    结果：3D光线追迹（所有级） e|r0zw S  
    VRW] a  
    jRpdft  
    ,A5)<}  
    结果：光线追迹 <39!G7ny  
    s/1 #DM"  
     =qvZpB7ZZ  
    bO/*2oau  
    结果：场追迹 WnAd5#G  
    - n6jG}01b  
     XDD<oo  
    $YG1z  
    结果：线性偏振光的场追迹 sst,dA V$  
    <Jp1A# %p  
    )-/gLZsx  
     
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