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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 ?6L8#"=  
    3(gOF&Uf9  
    s OLjT34  
    25r3[gX9`  
    亮点 ePxAZg$ `>  
    }o\} qu*  
    N9M",(WTt}  
    rFUd  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) {xTh!ih2 -  
     严格分析光栅衍射效率 } :gi<#-:G  
     考虑入射光的方向分布 B}K<L\S  
    *y$CDv  
    说明:光源 kf#S"[/E  
    NbCIL8f]  
    (]10Z8"fJ  
    t**d{P+  
    说明:光束分束器 K4I/a#S'@6  
    I]3!M`IMG  
    IGab~`c-[  
    #\O'*mz  
    说明:检测透镜系统 !1A< jL  
    #&?}h)Jr'  
    D 5:'2i  
    H ]!P[?  
    说明:微型晶片 |CQ0{1R1  
    :"b:uQ  
    -3 "<znv  
    G]mD_J1$  
    说明:检测物镜 }wI +e Mr  
    7s;;2<k;_  
    OKk" S_`  
    WGyPyG#Fl  
    说明:探测器 !1UZ<hq  
    NgF"1E  
    1Tev&J  
    &5G@YQD1e  
    结果:3D光线追迹(只有0级) AVfF<E/  
    SwaPRAF  
    A]drNFE  
    fvV"H{V,  
    结果:3D光线追迹(所有级) %|>D{q6C  
    m'k>U4  
    z\?<j%e!t  
    #B#xSmak  
    结果:光线追迹 sD&V_ &i  
    'tU\~3k  
    eZ0-O /_i  
    FU.?n)P  
    结果:场追迹 ,) aUp4*  
    )_?h;wh 84  
    wm9wnAy  
    Tks"GlE*D  
    结果:线性偏振光的场追迹 !\O!Du  
    N[v=;&  
    7r.~L  
     
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