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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 ZvX*t)VjTz  
    ^ VyKd  
    7Q9 w?y~c  
    MKk\ u9  
    亮点  4e7-0}0  
    -@2iaQ(5a2  
     /C:gKy4  
    yx[/|nZDC4  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)）  9Q.Yl&A  
     严格分析光栅衍射效率 L`TLgH&?R  
     考虑入射光的方向分布 8/#A!Ww]  
    *:7rdzn  
    说明：光源 ~,Ix0h+H+M  
    JPHL#sKyz  
    >uRI'24  
    Dml;#'IF3  
    说明：光束分束器 adcE'fA<_  
    Gb6'n$g  
    >Cp0.A:UC#  
    +Kc  
    说明：检测透镜系统 \V63qg[  
    T?0eVvM  
    |wMN}bq|T  
    %wy.TN  
    说明：微型晶片 T'9'G M  
    :3Ox~o  
    ;[DU%f  
    !f [_+CD  
    说明：检测物镜 q?yVR3]M  
    /{_:{G!Q0  
    hn@08t G  
    "(O>=F&  
    说明：探测器 /,yd+wcW#  
    h2R::/2.  
    f]CXu3w(J  
     qX{+oy5  
    结果：3D光线追迹（只有0级） F]&*o w  
    sO@Tf\d  
    n:!_  
    "chDg(jMZ  
    结果：3D光线追迹（所有级） ~9@UjQ^)F  
    )SGq[B6@I  
    b ]KBgZ  
    4kx N<]  
    结果：光线追迹 FZn w0tMq  
    &^jXEz;  
     L!xi  
    1yhDrpm  
    结果：场追迹 NzvXN1_%  
    &6VnySE?  
     :V||c5B+  
    3Y$GsN4ln  
    结果：线性偏振光的场追迹 cvL;3jRo  
    J|73.&B  
    T>W,'H  
     
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