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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 0jsU^m<g  
    x:`]uOp  
    jJc?/1jv  
    HB+\2jEE  
    亮点 tK3.HvD  
    Vu DSjh  
    `zNvZm-E  
    E>tlY&0[$  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) .u3!%{/v(c  
     严格分析光栅衍射效率 {%$eq{~m  
     考虑入射光的方向分布 w`(EW>i  
    KJ]:0'T  
    说明:光源 OAu ?F}O  
    &D "$N"  
    [-)N}rL>  
    N5$L),?\y  
    说明:光束分束器 .z u0GsU=  
    *~F\k):>  
    gdupG  
    aVI/x5p~  
    说明:检测透镜系统 ?\dY!  
    @|:_?  
    q<L>r?T[  
     pei-R  
    说明:微型晶片 .0l0*~[  
    <KF|QE  
    C0o 0 l>  
    uXiAN#1  
    说明:检测物镜 Y/1KvF4)k  
    #<V/lPz+  
    {AbQaw  
    */iD68r|-  
    说明:探测器 ;/$=!9^sZ  
    zY\pZG  
    ^2L\Y2  
    d'~ kf#  
    结果:3D光线追迹(只有0级) v\>!J?  
    {VBx;A3*I  
    +H5= zf2  
    1b:3'E.#w  
    结果:3D光线追迹(所有级) -POV#1s  
    \2(Uqf#_  
    8_8r{a<xW  
    b4GD}kR  
    结果:光线追迹 T8& kxp  
    VG*Tdaua~  
    E 5D5  
    L>~wcoB  
    结果:场追迹 1!,xB]v1Ri  
    t]|WRQvy8  
    J0 BA@jH5  
    m6J7)Wp  
    结果:线性偏振光的场追迹 6/`$Y!.ub  
    x8i;uH\8  
    0 1U/{D6D  
     
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