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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 +x:-W0C:  
    3oE3bBj  
    jSMs<ox  
    Qe;j_ BH  
    亮点 [bZASeh  
    9!UFLZR  
     /'WVRa  
    /Q*cyLv  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） W y%'<f  
     严格分析光栅衍射效率 N%" /mcO  
     考虑入射光的方向分布 & GM&,  
    }5{#f`Ca6  
    说明：光源 ~ @Au<   
    J2P5<  
    L7 f'  
    mIUpAOC`"Z  
    说明：光束分束器 dX>l"))yR  
    itmQH\9 8  
    q[T='!Z\  
    RBM(>lU:  
    说明：检测透镜系统 &f$[>yg1-  
    "i3Q)$"S  
    fsVQZ$h73  
    Tx!c }  
    说明：微型晶片 '@Q aeFm  
    H;nq4;^yK  
    .-W_m7&}  
    l: X]$2;  
    说明：检测物镜 %U$PcHOo  
    q9`!T4,  
    =|G l  
    yg-uL48q  
    说明：探测器 kH10z~(e  
    \%ZF<sV W  
    9azk(OL6  
    SOPQg?'n=V  
    结果：3D光线追迹（只有0级） ?a]u yw,  
    'G-zJcU  
    R9B!F{! 5  
    E*_lT`Hzf  
    结果：3D光线追迹（所有级） QA3q9,C"  
    qp@:Zqz8  
    ctg[C$<q|  
    2rK<UPIq  
    结果：光线追迹 hiN6]jL|O  
    TXlxnB  
     6 NJ5v +  
    7k>sE  
    结果：场追迹 jLEwFPz  
    N>$Nw<wV  
     2Hp#~cE+.  
    u\-f\Z7  
    结果：线性偏振光的场追迹 Kpo{:a  
    (|PxR#{l<  
    7TC=$y ,  
     
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