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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 lCyBdY9n  
    y7iHB k"^:  
    Bo)N<S_=^  
    S6Er# )k  
    亮点 @m#1[n;  
    FLWQY,  
    qFqK. u  
    puv/+!q  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) vvWje:H  
     严格分析光栅衍射效率 9E@}@ZV(  
     考虑入射光的方向分布 d&N[\5q  
    "pa}']7#  
    说明:光源 %jS#DVxBR  
    lWiC$  
    &:]ej6 V'[  
    m+jW+  
    说明:光束分束器 a$}n4p  
    y{Fq'w!ap  
    N;\G=q] 9  
    *hm;C+<~  
    说明:检测透镜系统 f( %r)%  
    7v{X?86&  
    ~~8?|@V  
    [/P}1 c[)U  
    说明:微型晶片 AK$h S M  
    A2C|YmHk  
    3#d?  
    _^Ds[VAgA  
    说明:检测物镜 { \r1A  
    l(o;O.dLt  
    ?3=D-Xrb  
    z_gjC%(y  
    说明:探测器 kdr?I9kwW  
    != @U~X|cu  
    =|Q7k+b  
    l.Psh7B2  
    结果:3D光线追迹(只有0级) k+D32]b@  
    |FR'?y1  
    dn? #}^,"  
    G $P|F6  
    结果:3D光线追迹(所有级) @,=E[c 8  
    -pF3q2zb  
    |=\w b^l+  
    P7X':  
    结果:光线追迹 )P)Zds@F  
    W-72&\7  
     q#=}T~4j  
    #iZ%CY\  
    结果:场追迹 Q?1' JF!G  
    [~%\:of70n  
    JQ[~N-  
    CO)BF%?B  
    结果:线性偏振光的场追迹 lZ\8$,B)  
    ox}LC, !  
    gG>|5R0  
     
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