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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 G#t!{Q}8  
    3lcd:=  
    {" woBOaA  
    EdlU}LU  
    亮点 vR.=o*!%  
    '`p#%I@  
    QFY1@2EC  
    U$Z)v1&{  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 8)\Td tBf9  
     严格分析光栅衍射效率 l ~CYxO  
     考虑入射光的方向分布 vOy;=0$  
    =e=sK'NvD  
    说明:光源 {'C PLJ{R  
    pUutI|mt/  
    z$ZG`v>0  
    Cp`)*P2  
    说明:光束分束器 % 3d59O  
    u|&"l  
    87l(a,#J  
    -f@~{rK.L  
    说明:检测透镜系统 Jte:U*2  
    /FJ )gQYA  
    V]dzKNFi  
    XZde}zUWn  
    说明:微型晶片 h)fJ2]JW8W  
    }K1v=k  
    \CNv,HUm3  
    ))- B`vi  
    说明:检测物镜 hg[ob+"  
    EVZuwbO)|  
    %MGbIMpY  
    L lOUK2tZ  
    说明:探测器 P>n}\"z4  
    aqJ>l}{  
    )F*;7]f  
    d+[GMIxg  
    结果:3D光线追迹(只有0级) gg $/  
    +NWhvs  
    P7np -I*  
    "I+71Ce  
    结果:3D光线追迹(所有级) 8 :B(}Y4K  
    &v9*D`7L  
    uvC ![j^~  
    kEiWE|  
    结果:光线追迹 _]zm02|  
    ;|7]%Z}%  
    a^/j&9  
    FbO\#p s  
    结果:场追迹 s[6y|{&ze  
    }\Kki  
    Jd#g"a>zZ  
    N~Zcrt_D  
    结果:线性偏振光的场追迹 vU|=" #  
    h2~b%|Pv  
    [HO=ii]Wb  
     
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