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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 ViCg|1c  
    ;bUJ+6f:  
    AM1/\R  
    |`N$>9qN  
    亮点 Sn_z  
    U` ? zC~  
     \=HfO?$ Ro  
    4`?sE*P@`  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 5d)'`hACe  
     严格分析光栅衍射效率 !"Z."fm*  
     考虑入射光的方向分布 g}\U, (  
    oHYD_8'f  
    说明：光源 dqIZ#;:g  
    FKDamHL<  
    ~}hba3&b;#  
    KIXwx98  
    说明：光束分束器 $8<j5%/ $M  
    &!H~bzg  
    ?,A}E|jZ  
    'LtgA|c=  
    说明：检测透镜系统 k~'?"'  
    }I` ku.@5  
    PV5TG39qQ  
    6E)uu; 8  
    说明：微型晶片 E.5*Jr=J  
    <lg"M;&Ht  
    $9j>VGf=  
    *il]$i  
    说明：检测物镜 . }-@;:yh  
    f4 Sw,A  
    Bd N{[2  
    iXr`0V   
    说明：探测器 -KJ}.q>upq  
    P?W T)C2)u  
    !."%M^J  
    '&_y*"/c  
    结果：3D光线追迹（只有0级） \'}/&PCkr  
    A{{q'zb!  
    a!hI${Xn  
    TnMVHO-  
    结果：3D光线追迹（所有级） @xW"rX#7f  
    .MzP}8^  
    &y+PSa%n  
    \( Gf+  
    结果：光线追迹 w|hyU4- ^  
    .SRuyioF&  
     W?4&lC^G  
    mZ& \3m=  
    结果：场追迹 .zSimEOF  
    D x >1y  
     *x# &[>  
    ;/hH=IT  
    结果：线性偏振光的场追迹 6qHvq A,  
    H( DVVHx  
    cfy/*|  
     
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