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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 unpfA#&!"  
    _m" ^lo  
    1BTgGF  
    f7S^yA[[  
    亮点 tG_-;03<`4  
    3JTU^-S<  
    3/:LYvM<  
    aam1tm#Q  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) xTGP  
     严格分析光栅衍射效率 :C> J-zY  
     考虑入射光的方向分布 EmF]W+!z%  
    O.dux5lfBd  
    说明:光源 p FXd4*  
    ,b.kw}k  
    RsR] T]4  
    9DmSs=A  
    说明:光束分束器 V2lp7"  
    v]l&dgoT  
    zV6AuUIt  
    LciL/?  
    说明:检测透镜系统 -aC!0O y`  
    Wn2Ny jX  
    _T_PX$B  
    5c*p2:]  
    说明:微型晶片 |:dCVd<du  
    }k4`  
    3zk:59  
    XryQ)x(  
    说明:检测物镜 fMgcK$  
    ?G2qlna  
    =ZFcxGo  
    Qfwwh`;  
    说明:探测器 iXt4|0  
    ScM} m  
    Q9Q!9B @  
    i0i.sizu  
    结果:3D光线追迹(只有0级) .LWOM8)  
    F+lm[4n  
    V]+o)A$  
    tU8g(ep,o  
    结果:3D光线追迹(所有级) {vf+sf ^^q  
    eUzU]6h  
    f0:EQYYZ  
    eTLI/?|+N  
    结果:光线追迹 WHZe)|n  
    C}t+t  
    a15,'v$O  
    ,Zf :R  
    结果:场追迹 \VoB=Ac&  
    wghFGHgw  
    9_g>BI;"8  
    Ak<IHp^Q  
    结果:线性偏振光的场追迹 CpBQ>!CW  
    j+z'  
    yffU% )  
     
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