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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 KV$4}{  
    F#M(#!)Y"  
    %4Qs|CM)m  
    p Pag@L  
    亮点 k`A39ln7wu  
    (x?Tjyzw  
     'TuaP `]<  
    A0U9,M  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） 1_A_)l11  
     严格分析光栅衍射效率 R&&&RI3{  
     考虑入射光的方向分布 =6O*AJ  
    {:#nrD"  
    说明：光源 <<E 9MIn_  
    QxGcRlpLK  
    K)se$vb6  
    "tl$JbRTY  
    说明：光束分束器 PgGUs4[  
    %''L7o.#a  
    -`eB4j'7  
    3fB]uq+eD%  
    说明：检测透镜系统 >`SeX:  
    4#7*B yvf  
    |#M|"7;2z  
    5E"^>z  
    说明：微型晶片 Ie(.T2K  
    r 1jt~0&K  
    c-}[v<o  
    pMy:h   
    说明：检测物镜 =-X-${/  
    /*k_`3L  
    R LMn&j|?e  
    X-kOp9/.  
    说明：探测器 #v xq|$e  
    ]d@>vzCO  
    gGUKB2)  
    >5:O%zQ@  
    结果：3D光线追迹（只有0级） $7c,<=  
    1' v!~*af  
    q~[s KAh  
    ~IjID  
    结果：3D光线追迹（所有级） \`xlD&F@U  
    b=_k)h+l  
    5B4/2q=  
    G$MEVfd"  
    结果：光线追迹 F]UH\1  
    Q=fl!>P  
     \3^ue0  
    e@anX^M;  
    结果：场追迹 oD9n5/ozo  
    O0xqA\  
     t4G$#~  
    y^}u L|=  
    结果：线性偏振光的场追迹 ]VLseF  
     e]1Zey  
    7 [1|(6$  
     
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