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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 6~}=? sX4  
    u[cbRn,W  
    yy%J{;  
    d,$[633It}  
    亮点 8 2_3|T  
    @O4m-Oosi  
     _7 n+j  
    YRB,jwne  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） (/Nw  
     严格分析光栅衍射效率 S c@g;+#QU  
     考虑入射光的方向分布 =_TCtH  
    b`1P%OjC  
    说明：光源 c1Dhx,]ad  
    +]B^*99  
    A/ GEDG ?  
    n|{x\@VeF  
    说明：光束分束器 g{dyDN$5|w  
    lQ@ 2s[  
    +8v!vuO'  
    B<+}_3.  
    说明：检测透镜系统 ?-*_v//g  
    J#bEAK^L,l  
    HSyohP87  
    qA&N6`  
    说明：微型晶片 ]W]Vkkg]  
    %1xo|6hm-  
    N=-hXgX^  
    27gK Y Zf;  
    说明：检测物镜 \u:xDS(  
    ~,dj)x 3M  
    sexnO^s  
    ;Q-(tGd  
    说明：探测器 :Bda]]Y=  
    ,sXa{U  
    m &s0Ub  
    :MpIx&  
    结果：3D光线追迹（只有0级） ~^:/t<N  
    G{YLyl/9  
    BpRQG]L  
    T|r@:t[  
    结果：3D光线追迹（所有级） \O`B@!da~  
    ll73}v  
    _! \X>rfz  
    k$# @_  
    结果：光线追迹 j2g#t  
    n omtP }  
     Q:lSKf  
    ,Rz,[KI|  
    结果：场追迹 vY6eg IO  
    MiAXbo#\  
     Peh( *D{  
    R7( + ^%  
    结果：线性偏振光的场追迹 M'Q{2%:>a  
    -7hU1j~I  
    }[$C=|>  
     
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