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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 +5.t. d  
    hqk}akXt  
    4ww]9J  
    0w'j+  
    亮点 G a;.a  
    vvB(r!  
     ?6c-7QV  
    ODc9r }  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） E$a ?LFa6  
     严格分析光栅衍射效率 e&MC|US=\  
     考虑入射光的方向分布 >vrxP8_  
    <]C$xp<2  
    说明：光源 k"k J_(  
    )CI1;  
    o ]Jv;Iy@?  
    |8%m.fY`  
    说明：光束分束器 VN4yn| f/  
    2>} xhQJ  
    o }Tz"bN  
    H7+X&#s%  
    说明：检测透镜系统 7z\m; 1  
    Ae^X35  
    Sz{O2 l Y  
    c/L>>t  
    说明：微型晶片 Md)zEj`\  
    <";,GaZQ  
    A392=:N+Q  
    I"AYWo?  
    说明：检测物镜 9/SXs0  
    VZ>On$hp  
    syx\gz  
    h@7FY  
    说明：探测器 Nf+b" &Zh`  
    4fh^[\  
    s6 ( z  
    ,3v+PIcMM+  
    结果：3D光线追迹（只有0级） -Z4{;I[Q@  
     6,1b=2G  
    ]U[X1W+@  
    NT%W;)6m9  
    结果：3D光线追迹（所有级） QU{Ech'  
    ggt DN{t  
    [=uo1%  
    )oo~m\`  
    结果：光线追迹  g]*  
    S gMrce<;  
     oq-<ob  
    GwsY-jf  
    结果：场追迹 R cY>k  
    tg4Y i|5  
     Mv|ykJoz"  
    3>zN/ f  
    结果：线性偏振光的场追迹 wI M{pK  
    [#" =yzR<3  
    C8@TZ[w  
     
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