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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 =@gH$Q_1  
    ;oWhTj`  
    wL5IAkq  
    0ydAdgD  
    亮点 J>] ' {!+  
    }9<aX Y,  
     a%*W^R9Ls  
    @\u)k  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） T!(I\wz;Bo  
     严格分析光栅衍射效率 /PQg>Pa85  
     考虑入射光的方向分布 ,^:Zf|V  
    V4/P  
    说明：光源 G/2@ Mn-  
     6:ZqS~-  
    Ml+.\'r  
    ~;wSe[  
    说明：光束分束器 sjWhtd[fgG  
    r7JILk  
    dZ`nv[]k~  
    RvYew!n  
    说明：检测透镜系统 "MM7qV  
    %zb7M%dC6`  
    mZ ONxR6q$  
    '[`.&-;  
    说明：微型晶片 g0cCw2S  
    QRgWzaI  
    IOvYvFUUJ  
    7{v0K"E{  
    说明：检测物镜 7&'^H8V  
    o@EV>4e y  
    _Dwn@{[(8  
    ]$y"|xqR  
    说明：探测器 (<itE3P  
    /uW6P3M  
    hk}M'  
    :==kC672  
    结果：3D光线追迹（只有0级） AG/nX?u7)t  
    ]rZ"5y  
    D@>P%k$$s>  
    [^1;8Tbk  
    结果：3D光线追迹（所有级） cV&(L]k>`  
    7bQ#M )}  
    xqmJPbA  
    FL(gwfL  
    结果：光线追迹 , $78\B^  
    ^p|@{4f]  
     TnPdpynP  
    o Ep\po1  
    结果：场追迹 |1-0x%@[;  
    (aiE!c  
     ) ;-AT^  
    <4rF3 aB-  
    结果：线性偏振光的场追迹 E88_15'3D  
    qGl+KI  
    <IK8 Ucp  
     
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