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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 K-~gIlbQ`  
    k_{?{:X;y  
    ?m5E Xe  
    5RvE ),  
    亮点 WQ 2{`'z  
    aW*k,\:e  
    s;YbZ*oaMe  
    ^GAJ9AF@(  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) DI8<0.L  
     严格分析光栅衍射效率 q\}+]|nGs  
     考虑入射光的方向分布 i(pHJP:a:  
    ]+46r!r|  
    说明:光源 x&*f5Y9hCi  
    /2zan}  
    Cdib{y<ji  
    0Dna+V/jI  
    说明:光束分束器 $,2T~1tE  
    ,% Qh S5e  
    &oMWs]0  
    [nZIV  
    说明:检测透镜系统 :IU7dpwDl  
    BGBHA"5fz  
    =qc+sMo  
    xI1{Wo*2C}  
    说明:微型晶片 y/y~<-|<@  
    hiBsksZRnk  
    4")`}T  
    H)i|?3Ip  
    说明:检测物镜 &}[P{53sr  
    'St6a*  
    :u./"[G  
    (z>t4(%\  
    说明:探测器 +:uz=~m o`  
    A $gn{ c  
    8k95IJR1  
    !}z'"l4i  
    结果:3D光线追迹(只有0级) ' {UKO7   
    \$ipnQv  
    S@qR~_>a  
    gr*CN<  
    结果:3D光线追迹(所有级) K\rQb  
    A$3Rbn}"  
    6ki2/ Q  
    N"G aQ  
    结果:光线追迹 {?eUAB<  
    IGcq*mR=  
    qEr?4h  
    N=BG0t$  
    结果:场追迹 '1:)q  
    /j$=?Rp  
    GeTk/tU  
    /7 Tm2Vj8  
    结果:线性偏振光的场追迹 YND}P9 h  
    bu|.Jw"  
    s:}? rSI  
     
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