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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 .Ap[C? mV  
    >RHK6c  
    q+~z# jFX  
    GLwL'C'591  
    亮点 nOkX:5  
    +; C|5y  
     Ufq"_^4  
    S5" xb  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） )FMpfC>An  
     严格分析光栅衍射效率 Ki^m&P   
     考虑入射光的方向分布 mZ/?uPIa  
    b/"gkFe#  
    说明：光源 u,PrEmy-  
    !H~!i.m'-  
    3_fLaf A  
    /_*:  
    说明：光束分束器 ;p BXAl  
    .W,< ]L '  
    y@~.b^?_u  
    '&?47+W  
    说明：检测透镜系统 }.NR+:0  
    3Nr8H.u&q  
    IqfR`iAix  
    *7ap[YXZ\w  
    说明：微型晶片 a gBKp!  
    A!Ng@r  
    xE9^4-Px*  
    *B#OLx  
    说明：检测物镜 ~SV;"e2N.  
    5irewh'R  
    5;`([oX|_  
    klT6?'S  
    说明：探测器 \Y>^L{  
    :7W5R  
    ] X%bU*4  
    q1r\ 60M  
    结果：3D光线追迹（只有0级） Oq*a4_R'YV  
    4yQ4lU,r  
    j[iJo 5  
    7; T S  
    结果：3D光线追迹（所有级） ,{J2i#g<  
    ;f?OT7>kN  
    O5_E"um  
    m(B6FPjr  
    结果：光线追迹 [DGq{(O  
    TCmWn$LeE  
     ~`*:E'/5k]  
    z]Ql/AK  
    结果：场追迹 ],H%u2GE_  
    CrS[FM= +W  
     gJs~kQU  
    ? Z1pPd@  
    结果：线性偏振光的场追迹 *'d5~dz=  
    9nM {x?  
    um&N|5lHb  
     
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