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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 b\H~Ot[i  
    AVHn7olG  
    DKYrh-MN  
    =3""D{l  
    亮点 GT2;o  
    c~z{/L  
    JF!!)6!2#  
    N',]WZ}  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) Rnun() plJ  
     严格分析光栅衍射效率 Ij/c@#q.  
     考虑入射光的方向分布 oP_'0h0 X  
    c tTbvXP  
    说明:光源 ;k!bv|>n  
    ejD;lvf  
    h dPK eqg7  
    +g\u=&< 6  
    说明:光束分束器 3E:wyf)i"  
    M9 _h0  
    7$;mkHu4H%  
    ka*VQXk*  
    说明:检测透镜系统 X~%Wg*Hm  
    T?NwSxGo  
    d v"  
    aW$7:<A{  
    说明:微型晶片 nBZqhtr  
    *>zr'Tt,W  
    qvhTc6oH  
    7@|(z:uw  
    说明:检测物镜 H&`p9d*(e  
    vQYd!DSh  
    x w]Zo<F  
    `N ;!=7y7Y  
    说明:探测器 /V-7u  
    !#g`R?:g  
    rJ KX4,M  
    4?1Ac7bE  
    结果:3D光线追迹(只有0级) 23&;28)8  
    :n{rVn}G  
    ] QtGgWtC  
    +TA(crD  
    结果:3D光线追迹(所有级) __'Z0?.4#  
    k7f[aM5]  
    qdvGBdF  
    b]Oc6zR,,~  
    结果:光线追迹 4- N>#  
    5{[3I|m{  
    Vr`UF0_3q  
    hFyN|Dqhds  
    结果:场追迹 @N1ta-D#  
    R~[ u|EC}  
    NS mo(c >5  
    c{s<W}3Ds  
    结果:线性偏振光的场追迹 ps_CQh0  
    >0T0K`o  
    DV]Kd 7  
     
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