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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 r.[kD"l  
    u-,=C/iU  
    3f0RMk$pH  
    3 }XS| Y  
    亮点 *"wsMO  
    %0 S0"t  
    C'Q} Z_  
    bA:abO  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 6Y=)12T  
     严格分析光栅衍射效率 o/&Q^^Xj^~  
     考虑入射光的方向分布 Y&nY]VV  
    WukD|BCC  
    说明:光源 mSs%gL]g  
    gwyz)CUkL  
    9#+X?|p+0  
    eG.?s ;J0  
    说明:光束分束器 W>.qGK|l  
    I?gbu@o  
    ;TYkJH"  
    8WMC ~  
    说明:检测透镜系统 s&4Y+dk93  
    yfj<P/aA+  
    czafBO6  
    3LG)s:p$/  
    说明:微型晶片 qbjRw!2?w  
    9kcAMk1K  
    5=eGiF;0\  
    !^w+<p  
    说明:检测物镜 @<_4Nb  
    3/iGSG`  
    opKtSF|)  
    uXXwMc<p  
    说明:探测器 d bw`E"g  
    m6s32??m  
     C+_ NG  
    L49`=p<  
    结果:3D光线追迹(只有0级) h-V5&em"_  
    >Py=H+d!j  
    ^j@,N&W:lG  
    > #SQDVFf  
    结果:3D光线追迹(所有级) HA| YLj?|g  
    >k"/:g^t  
    IYd)Vv3'j  
    VgOj#Z?K  
    结果:光线追迹 2|+**BxHD  
    5E$)Ip  
    ^$VOC>>9  
    Rh iiQ  
    结果:场追迹 .pZwhb  
    [E+#+-n7  
    vV8}>  
    MbYAK-l.h  
    结果:线性偏振光的场追迹 =F6J%$  
    DJhi>!xJ  
    RV-7y^[]^  
     
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