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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    在线infotek
    科学家
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 :<#nTh_@\'  
    bD8Gwi=iiu  
    ,<p}o\6  
    t>B;w14  
    亮点 $"&{aa  
    7 ^mL_SMj  
     P_p<`sC9  
    ?8Cq{  
     在复杂光学系统中，包含光栅（如，非常大的数值孔径(NA)） (DP &B%Sf  
     严格分析光栅衍射效率 LRMx<X8  
     考虑入射光的方向分布 X/M4!L}\  
    *GN# r11d  
    说明：光源 om-omo&,X=  
    ;?g6QIN9  
    1\rz%E  
    ^4Ah_ U  
    说明：光束分束器 DXK}-4"\  
    v+=BCyT  
    Y0K[Sm>  
    y e? 'Ze  
    说明：检测透镜系统 ~B(4qK1G  
    qXtC^n@x  
    U\<?z Dw  
    B=A [ymm  
    说明：微型晶片 Y6L ~K?  
    <)-Sj,  
    5vZ^0yFQ  
    :s6o"VkW  
    说明：检测物镜 U,-39mr  
    >:!X.TG$  
    z4]api(xZ  
    \3aoM{ztD  
    说明：探测器 2nIw7>.}f  
    BV upDGh3  
    4l45N6"  
    Nf"r4%M<6  
    结果：3D光线追迹（只有0级） {"QNJq#:  
    8j % Tf;  
    sC b=5uI  
    oVfLnI ;  
    结果：3D光线追迹（所有级） I4q9|'-yx  
    6U,O*WJ%e  
    ndz]cx  
    |! E)GahM  
    结果：光线追迹 f-n1I^|  
     K;z7/[%  
     364`IC( a  
    | Aw%zw1@  
    结果：场追迹 lun\`f 5Q  
    *P2S6z2  
     m~d]a$KQ5-  
    EbE-}>7OO  
    结果：线性偏振光的场追迹 B1C-J/J  
    usCt#eZK  
    QY?~ZwYB  
     
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