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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 3<L>BakD  
    P*\h)F/3}t  
    "PI]k  
    V7pe|]%r  
    亮点 UmC_C[/n?  
    <Y9 L3O`[  
    %xH2jf  
    <691pk X  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) 7"iUyZ(  
     严格分析光栅衍射效率 GIyb0XjTw  
     考虑入射光的方向分布 Z%t"~r0PS  
    2L!wbeTb;  
    说明:光源 &/}reE*  
    Ns*&;x9  
    /&`sB|  
    lebwGW,!  
    说明:光束分束器 ! qF U  
    YKk*QcAn  
    >&mNC \PA  
    Y<"BhE  
    说明:检测透镜系统 , Ac gsC  
    9 K.B  
    }\s\fNSQ/  
    *G6Py,- !f  
    说明:微型晶片 t\/i9CBn  
    ^Qx qv  
    }ob&d.XZ  
    DF>LN%a~  
    说明:检测物镜 )rqb<O  
    oXQzCjX_   
    :L E&p[^  
    g<@P_^vo  
    说明:探测器 hS?pc<~`#  
    zOEdFU{x  
    )U?O4| \P  
    ry2ZVIFa  
    结果:3D光线追迹(只有0级) ?hXeZB+b4  
    !(-lY(x  
    fH#*r|~  
    ,?OWwm&J  
    结果:3D光线追迹(所有级) "k0bj>  
    wd 4]Z0;  
    a___SYl 'K  
    !sJ*0  
    结果:光线追迹 !P_8D*^9  
    {`Jr$*;  
    3 W%Bsqn  
    \E!a=cL!  
    结果:场追迹 'UW(0 PXw  
    5f` a7R  
    ,bLHkBK  
    !ULU#2'1  
    结果:线性偏振光的场追迹 h^)R}jy+f  
    8n[6BF);  
    I"4Lma  
     
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