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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 ^jmnE.8R  
    H8-,gV  
    IG9Q~7@  
    q75F^AvH  
    亮点 *10e)rzM  
    s` 9zW,  
    zw5~|<  
    }=GyBnXu  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) h;ShNU  
     严格分析光栅衍射效率 )Y *?VqZn  
     考虑入射光的方向分布 9C4l@ jrF  
    l5h9Eq  
    说明:光源 s*8hN*A/,  
    ka>RAr J  
    ~y|%D;  
    +tV(8h4  
    说明:光束分束器 I8Zp#'|U  
    lMm-K%(2  
    ^g[])2",  
    @`_j't,  
    说明:检测透镜系统 j{;3+LCo*  
    (bo bKr  
    Uv+pdRXn  
    3tm z2JIb  
    说明:微型晶片 _N-7H\hF  
    Q[b({Vj;tG  
    f<}!A$wd  
    +I Ze`M%n  
    说明:检测物镜 fF d9D=EW.  
    ./fEx 'E  
    Qrt8O7&('  
    ]Z84w!z  
    说明:探测器 v =?V{"wk!  
    c\]L  
    `?D_=Gw  
    :>;ps R  
    结果:3D光线追迹(只有0级) t~a$|( 9  
    bNaUzM!,H  
    Hwc{%.%ae  
    ,m"ztu-  
    结果:3D光线追迹(所有级) f C^l9CRY  
    FSQ&J|O  
    <eh(~  
    GVfu_z?  
    结果:光线追迹 bK].qN  
    C5WCRg5&  
    H3c=B /+  
    z1FbW&V  
    结果:场追迹 =Hx~]1  
    4bxkp3~h;  
    "{B ek<  
    28)TXRr-  
    结果:线性偏振光的场追迹 R`* *!ku  
    ~`})x(!  
    _eQ P0N  
     
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