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    [技术]检查微型晶片的光学系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-12-15
    任务/系统说明 NU?<bIQ  
    aA52Li  
    S4 Uu/EX6S  
    mB"I(>q*M  
    亮点 GVJ||0D  
    E/a2b(,Tg  
    R'zi#FeP  
    HnKgD:  
     在复杂光学系统中,包含光栅(如,非常大的数值孔径(NA)) ,!@MLn  
     严格分析光栅衍射效率 #"rK1Z  
     考虑入射光的方向分布 ZK'46lh  
    72"H#dy%U  
    说明:光源 Q2- lHn^L:  
    L;$>SLl,  
    Gj-nT N  
    TUC)S&bC  
    说明:光束分束器 =WW5H\?  
    vg[3\!8z[  
    d[p2? ]  
    ?.%dQ0  
    说明:检测透镜系统 -u'"l(n)~  
    `MuX/ [q  
    .4[3r[  
    K_YOp1  
    说明:微型晶片 Zs=A<[  
    4jC)"tch  
    =hFY-~U  
    7]zZdqG&p`  
    说明:检测物镜 +"<+JRI(M5  
    y42 Cg  
    WIf.;B)L  
    2<I=xWwFA  
    说明:探测器 Rh|9F yN  
    :tU^  
    lMGO4U[z  
    5X)M)"rq;V  
    结果:3D光线追迹(只有0级) Dk^AnMx%_  
    {<gv1Yht  
    A8vd@0  
    4BCe;Q^6  
    结果:3D光线追迹(所有级) $$NWN?H~  
    *}lLV.+A  
    b|Emu!9U  
    IoLi7NKw  
    结果:光线追迹 xt?-X%oY8  
    +|obU9M  
    I@ue eDY  
    { sC Ni  
    结果:场追迹 G5/A {1sz&  
    /ki-Tha  
    MmjZq  
    ^BA%]pe$I  
    结果:线性偏振光的场追迹 FefroaJ:u  
    w/m@(EBK  
    J@I>m N1\  
     
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