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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 f ba&`  
    IU|kNBo  
    1. 建模任务1:金属光栅 bhD ~ 4Rz  
    ca(U!T68  
    (s s3A9tG  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 ;1 |x  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 x? N.WABr;  
    Lz@$3(2  
    2. 建模任务2:介质光栅 @RGDhwS47  
    9_ZBV{   
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 U&P{?>{u  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 8Atq,GcG  
    x vmt.>f  
    3. 建模任务
    Q(Gyq:L=>  
    qbiK^g R  
    WULAty  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 zBY~lNB  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 6YmP[%  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 )JhT1j Qc  
    4(=kE>n}  
    4. TE和TM照明线性光栅
    fW(/Loh  
    {,?ss$L  
    5. 铬狭缝的分析 8[zb{PRu  
    KVR~jF%  
    S`m,S4-eD  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 l!?yu]Yon  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 >{5 p0  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 6Ps.E  
     红线说明了结构的形状(手动添加) FI"HJwAs  
    5Fbs WW2  
    6. 三角光栅的分析
    B+] D5K  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 yK1ie  
    $DebXxJw0l  
    xJc$NV-JzK  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 raE Mm  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 ~y /!fnv  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    FW..mD9)}  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 (ChD]PWQ  
    j6S"UwJjp  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 WOX}Sw"  
    m#e*c [*G  
    7. 总结 < Ek/8x  
    W:`#% :C  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 tfYB_N  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 6>`c1 \8f  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 TL0[@rr4  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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