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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 GwsY-jf  
    =U OLT>!  
    1. 建模任务1:金属光栅 Gy1xG.yM~  
    tC8(XMVx  
    QVZD/shq  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 d {lP  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 -@^Zq}  
    Uts"aQ  
    2. 建模任务2:介质光栅 fBBa4"OK=  
    vv6$>SU  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 -O:_!\uA  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 F}Mhs17!|  
    .F&9.#>  
    3. 建模任务
    .=9 s1 ~]  
    c- $Gpa}M  
    m!XI{F@x  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 PDx)S7+w[  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 Kj=gm .  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 [{[N(g&d  
    k!jNOqbb  
    4. TE和TM照明线性光栅
    /rB{[zk  
    NCeaL-y7  
    5. 铬狭缝的分析 @54*.q$  
    h4&;?T S  
    I"L;L?\S  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 &znH!AQ0  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 L/}iy}  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 X[C3&NX#_  
     红线说明了结构的形状(手动添加) /%x7+Rl\-^  
    R5Yl1   
    6. 三角光栅的分析
    \L!uHAE2a  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 9pWy"h$H  
    vvu<:16  
    ";3*?/uM  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 Gu(lI ~  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 SDJH;c0   
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    =y ]Jl,_.  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 \9c$`nn  
    n"{X!(RIcx  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 g9tu %cIkR  
    @9 8;VWY\  
    7. 总结 AMlV%U#  
    :{g7lTM  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 6k0^x Q  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 _j#SpL'P  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 3><u*0qe%I  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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