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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 {.;qz4d`  
    1{a4zGE?[  
    1. 建模任务1:金属光栅 lF40n4}  
    z[O*f#t  
    Mc(|+S@w'  
     在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ~v:IgS  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 \[)SK`cwd  
    N 6\Ey{  
    2. 建模任务2:介质光栅 (#)XRm{t  
    Fq o h!F  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 4}UJ Bb?  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 4vvQ7e7  
    {^:NII]  
    3. 建模任务
    7|_2@4-W6  
    f|F=)tJO  
    =*zde0T?l  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 23,pVo  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 xD~r Q$6sI  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 Ho[]03  
    A;&YPHB  
    4. TE和TM照明线性光栅
    1,]FLsuy  
    Je2&7uR0  
    5. 铬狭缝的分析 ab.B?bx  
    9 HlWoHuC  
    @0C[o9  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 QP%Hwt]+  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 xdz 6[8 d8  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 WU@_aw[  
     红线说明了结构的形状(手动添加) ,w9| ?%S  
    BSJS4+,E  
    6. 三角光栅的分析
    N[fwd=$\#  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 _IV!9 JL  
    f4F%\ "  
    $d4&H/u^  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 b35 3+7"|  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 VN\VTSZh?\  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    PBFpV8P,  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 SXO.|"M  
    Qnt9x,1m_  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 HD2C^V2@M  
    `_i|\}tl  
    7. 总结 @3=q9ftm  
    Dsc0 ;7~6  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 rwio>4=  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 "9"  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 ~Lg ;7i1L  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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