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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 正序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 EwT"uL*V;  
    I)[DTCJ~  
    1. 建模任务1:金属光栅 1{. |+S Z!  
    EjR9JUu  
    n\D&!y[]F  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 e}7lBLK]*  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 <w9JRpFY  
    xn(kKB.  
    2. 建模任务2:介质光栅 (gU!=F?#m  
    S Lj!v&'  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 $6 9&O  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 y9GoPC`z  
    hEH?[>9  
    3. 建模任务
    [kB7@o  
    !hy-L_wL]  
    _Y4` xv0/  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 pa3{8x{9m  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 H@>` F  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 P>D)7 V9Hh  
    =BAr .m+"  
    4. TE和TM照明线性光栅
    AKfDXy  
    U_Ptqqt%  
    5. 铬狭缝的分析 ]p GL`ge5  
    p%Vt#?q  
    tw/dD +  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 ,^< R{{{-A  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 P|E| $)m  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 v{N`.~,^  
     红线说明了结构的形状(手动添加) ]Q1yNtN  
    %)1?TU  
    6. 三角光栅的分析
    G~[x 3L'  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 3(N$nsi  
    @*XV`_!h  
    ?e4YGOe.  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 _D&598xx  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 -d/ =5yxL  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    _J#zY- j  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 o5PO =AN  
    eC4[AX6e  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 lrE5^;/s1  
    l|[N42+  
    7. 总结 Of#u  
    h7oo7AP  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 ^uc=f2=>,  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 R) h#Vc(  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 SKN`2hD  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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