该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
{.;qz4d` 1{a4zGE?[ 1. 建模任务1:金属光栅 lF40n4} z[O*f#t Mc(|+S@w' 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
~v:IgS 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
\[)SK`cwd N 6\Ey{ 2. 建模任务2:介质光栅 (#)XRm{t Fq
oh!F 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
4}UJBb? 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
4vvQ7e7 {^:NII] 3. 建模任务 7|_2@4-W6 f|F=)tJO =*zde0T?l
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
23,pVo 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
xD~r Q$6sI 场分布计算能够检测结构内部的热点
Ho[]03 A;&YPHB 4. TE和TM照明线性光栅 1,]FLsuy Je2&7uR0 5. 铬狭缝的分析 ab.B?bx 9HlWoHuC @0C[o9 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
QP%Hwt]+ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
xdz 6[8d8 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
WU@_aw[ 红线说明了结构的形状(手动添加)
,w9|?%S BSJS4+,E 6. 三角光栅的分析 N[fwd=$\# 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
_IV!9 JL f4F%\ " $d4&H/u^ 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
b353+7"| 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
VN\VTSZh?\ 红线说明了结构的形状(手动添加)。
PBFpV8P, 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
SXO.|"M Qnt9x,1m_ 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
HD2C^V2@M `_i|\}tl 7. 总结 @3=q9ftm Dsc0;7~6 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
rwio>4= 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
"9" 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
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光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。