该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
0!`7kZrN !U:s.^{ 1. 建模任务1:金属光栅 ]xEE7H]\h MXk. 2 X388Gs;e 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
vfJk?
( 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
}c ;um )Cvzj<Q0 2. 建模任务2:介质光栅 Ba|}C(Ws? 9t.yP;j\Y 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
4!vUksM 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
_x6E_i-( /? 1Yf 3. 建模任务 jMui+G(h &xroms"S= 9Pk3}f)a
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
5dw@g4N %^ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
kDY]>v 场分布计算能够检测结构内部的热点
x*8f3^ wE h^kNM8 4. TE和TM照明线性光栅 (!5}" fj yVQz<tX| 5. 铬狭缝的分析 Gj8[*3d :;q_f+U IPi<sE 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
cN}A rv 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
XqS*;Zj0 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
)-KE 4/G 红线说明了结构的形状(手动添加)
*M<BPxh0w] qbq<O %g= 6. 三角光栅的分析 a&
aPBv1 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
[j]J_S9jJ " IkF/ A2:){`Mw 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
Jo aDX , 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
GL =XiBt 红线说明了结构的形状(手动添加)。
ZQ' z 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
ZHD0u)ri=J "Xk%3\{P 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
xT?} wF |;u%JW$4 7. 总结 A='+tJa ^Z4q1i)JO VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
k-cIb@+" 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
4Re@ QOZ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
pebx#}]p- 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。