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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 =|O><O|  
    (jtkY_  
    1. 建模任务1:金属光栅 omZ bn  
    Bc1MKE5  
    V5up/6b,1  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 3IYbgUG  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 2O+fjs  
    "*oN~&flc  
    2. 建模任务2:介质光栅 x)prI6YMv\  
    |W;EPQ+<  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 ibxtrt=  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 Z*kZUx7I<  
    gVpp9VB  
    3. 建模任务
    k}908%w  
    _Z3_I_lW  
    39Zs  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 ;o?Wn=J  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 jKhj 7dR  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 S+M:{<AR  
    O#@KP"8  
    4. TE和TM照明线性光栅
    H\RuYCn2G  
    !k0t (.  
    5. 铬狭缝的分析 zE_t(B(Q  
    _^Lg}@t  
    mqv!"rk'w  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 pNzpT!}H>  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 s[tFaB1  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 nyr)d%I{  
     红线说明了结构的形状(手动添加) MnT+p[.  
    qkh.? ~  
    6. 三角光栅的分析
    ^J7g)j3  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 <#5`%sa '  
    J6*B=PX=(  
    K)n0?Q_>  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 #^;^_  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 hXM2B2[  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    J"O#w BM9  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 "K$ y(}C  
    4j h4XdH  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 ^"\., Y  
    Ea2&7  
    7. 总结 *|Fl&`2  
    ^_^rI+cTX1  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 oO)KhA?y  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 z0m[25FQG  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 g+iV0bbT  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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