该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
=|O><O| ( jtkY_ 1. 建模任务1:金属光栅 omZ
bn Bc1MKE5 V5up/ 6b,1 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
3IYbgUG 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
2O+fjs "*oN~&flc 2. 建模任务2:介质光栅 x)prI6YMv\ |W;EPQ+< 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
ibxtrt= 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
Z*kZUx7I< gVpp9VB 3. 建模任务 k}908%w _Z3_I_lW 39Zs
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
;o?Wn=J 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
jKhj 7dR 场分布计算能够检测结构内部的热点
S+M:{<AR O#@KP"8 4. TE和TM照明线性光栅 H\RuYCn2G !k0t
(. 5. 铬狭缝的分析 zE_t(B(Q _^Lg}@t mqv!"rk'w 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
pNzpT!}H> 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
s[tFaB 1 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
nyr)d%I{ 红线说明了结构的形状(手动添加)
MnT+p[. qkh.?~ 6. 三角光栅的分析 ^J7g)j3 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
<#5`%sa ' J6*B=PX=( K)n0?Q_> 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
#^;^_ 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
hXM2B2[ 红线说明了结构的形状(手动添加)。
J"O#w BM9 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
"K$
y(}C 4j
h4 XdH 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
^"\.,Y Ea2&7 7. 总结 *|Fl&`2 ^_^rI+cTX1 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
oO)KhA?y 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
z0m[25FQG 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
g+iV0bbT 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。