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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 r}ZL{uWMW  
    .|x\6 jf  
    1. 建模任务1:金属光栅 T0Lh"_X3  
    Hbz>D5$  
    d%tF~|#A%  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 'lwLe3.c  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 04{*iS95J  
    tHgn-Dhzr  
    2. 建模任务2:介质光栅 R zG7Xr=t  
    f?)BAah  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 #4uuT?!  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 R7YL I1ov  
    dd4g?):  
    3. 建模任务
    6^ UQ{P1;  
    Y] Q=kI  
    et[n;nl>V  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 -olD!zKS  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 m,U Mb#7Y  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 k@QU<cvI  
    *N5cC#5`=  
    4. TE和TM照明线性光栅
    $kPC"!X\  
    &|rh~;:jUX  
    5. 铬狭缝的分析 uA#uq^3  
    3q7Z?1'o  
    .Y!] {c  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 78'HE(*  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 VKUoVOFvPR  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 Y![m'q}K  
     红线说明了结构的形状(手动添加) " sh%8 <N  
    ry bs9:_}  
    6. 三角光栅的分析
    WDznhMo  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 ?"oW1a\  
    05_aL` &eb  
    c@p4,G  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 QU0FeGtz  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 p9c`rl_N  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    ')]K&  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 92y<E<n  
    )3h%2C1uM  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 XN+~g.0  
    FdrH,  
    7. 总结 5LJUD>f9 Z  
    Mf [v7\  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 $#|iKi<Y@j  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 HR0t[*  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 V5 $J  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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