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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 0!`7kZrN  
    !U:s.^{  
    1. 建模任务1:金属光栅 ]xEE7H]\h  
    MXk. 2  
    X388Gs;e  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 vfJk? (  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 }c ;um  
    )Cvzj<Q0  
    2. 建模任务2:介质光栅 Ba|}C(Ws?  
    9t.yP;j\Y  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 4!vUksM  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 _x 6E_i-(  
    /? 1Yf  
    3. 建模任务
    jMui+G(h  
    &xroms"S=  
    9Pk3}f)a  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 5dw@g4N %^  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 kDY]>v  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 x*8f3^ wE  
    h^kNM8  
    4. TE和TM照明线性光栅
    (!5}" fj  
    yVQz<tX|  
    5. 铬狭缝的分析 Gj8[*3d  
    :;q_f+U  
    IPi<sE  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 cN}A rv  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 XqS*;Zj0  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 )-KE4/G  
     红线说明了结构的形状(手动添加) *M<BPxh0w]  
    qbq<O %g=  
    6. 三角光栅的分析
    a& aPBv1  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 [j]J_S9jJ  
    " IkF/  
    A2:){`Mw  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 Jo aDX ,  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 GL =XiBt  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    ZQ'  z  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 ZHD0u)ri=J  
    "Xk%3\{P  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 xT?}wF  
    |;u%JW$4  
    7. 总结 A='+tJa  
    ^Z4q1i)JO  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 k-cIb@+"  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 4 Re@QOZ  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 pebx#}]p-  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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