该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
r}ZL{uWMW .|x\6
jf 1. 建模任务1:金属光栅 T0L h"_X3 Hbz >D5$ d%tF~|#A% 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
'lwLe3.c 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
04{*iS95J tHgn-Dhzr 2. 建模任务2:介质光栅 RzG7Xr=t f?)BAah 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
#4uuT?! 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
R7YLI1ov dd4g?): 3. 建模任务 6^
UQ{P1; Y]
Q=kI et[n ;nl>V
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
-olD!zKS 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
m,UMb#7Y 场分布计算能够检测结构内部的热点
k@QU<cvI * N5cC#5`= 4. TE和TM照明线性光栅 $kPC"!X\ &|rh~;:jUX 5. 铬狭缝的分析 uA#uq^3 3q7Z?1'o
.Y!]{c 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
78'HE(* 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
VKUoVOFvPR 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
Y![m'q}K 红线说明了结构的形状(手动添加)
" sh%8
<N rybs9:_} 6. 三角光栅的分析 WDznhMo 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
?"oW1a\ 05_aL` &eb
c@p4,G 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
QU0FeGtz 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
p9c`rl_N 红线说明了结构的形状(手动添加)。
')]K& 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
92y<E<n )3h%2C1uM 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
XN+~g.0 FdrH, 7. 总结 5LJUD>f9Z Mf [v 7\
VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
$#|iKi<Y@j 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
HR0t[* 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
V5$J 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。