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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 9Ij=~p]p  
    /STFXR1@.u  
    1. 建模任务1:金属光栅 Jhclg0q  
    cnQ;6LtFTz  
    +/tN d2  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 GJ:65)KU  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 y9cDPwi:b  
    IJxBPwh  
    2. 建模任务2:介质光栅 Bb 5|+b P  
    >hkmL](^  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 b'9\j.By  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 '?Mt*%J@=$  
    }Ut*Y*  
    3. 建模任务
    P|> fO'  
    UEZnd8  
    cFcn61x-  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 t$NK{Mw5_  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 &b[ .bf  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 f}JiYZ  
    'Vwsbm tY  
    4. TE和TM照明线性光栅
    k e'aSD  
    O)y|G%O  
    5. 铬狭缝的分析 8$k`bZ  
    dW K; h  
    'R&Y pR  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 kvWP[! j?)  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 0p"l}Fu@`  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 {BkTJQ)  
     红线说明了结构的形状(手动添加) L*a:j  
    E8_j?X1  
    6. 三角光栅的分析
    0E*q-$P  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 X$aN:!1  
    SG:Fn8  
    K(&I8vAp  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 =Q\z*.5j.  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 |mx)W}  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    ZY_aE  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 c/:d$o-  
    ,8~q nLy9  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 +m|S7yr'  
    0GEM3~~D.?  
    7. 总结 'R'P^  
    <>=A6  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 Z~&$s  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 IUB#Vdx  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 m2%OX"#e  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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