该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
9Ij=~p]p /STFXR1@.u 1. 建模任务1:金属光栅 Jhclg0q cnQ;6LtFTz +/tNd2 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
GJ:65)KU 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
y9cDPwi:b IJxBPwh 2. 建模任务2:介质光栅 Bb5|+bP >hkmL](^ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
b'9\j.By 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
'?Mt*%J@=$ }Ut*Y* 3. 建模任务 P|>
f O' UEZnd8 cFcn61x-
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
t$NK{Mw5_ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
&b[.bf 场分布计算能够检测结构内部的热点
f}JiYZ 'Vwsbm
tY 4. TE和TM照明线性光栅 ke'aSD O)y|G%O 5. 铬狭缝的分析 8$k `bZ dWK;
h 'R&Y pR 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
kvWP[! j?) 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
0p"l}Fu@` 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
{BkTJQ) 红线说明了结构的形状(手动添加)
L *a:j E8_j?X1 6. 三角光栅的分析 0E*q-$P 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
X$aN:!1 SG:Fn8 K(&I8vAp 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
=Q\z*.5j. 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
|m x)W} 红线说明了结构的形状(手动添加)。
ZY_aE 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
c/:d$o- ,8~qnLy9 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
+m|S7yr' 0GEM3~~D.? 7. 总结 'R'P^ <>=A6 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
Z~&$s 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
IUB#Vdx 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
m2%OX"# e 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。