该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
G&f~A;'7k zSM;N^X 8? 1. 建模任务1:金属光栅 dxwH C\"5 =0gfGwD{ Ix1[ $9 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
HLp9_Y{X. 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
48t_?2> \UR/tlw+/ 2. 建模任务2:介质光栅 _6/q. j+-+<h/( 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
H6! <y- 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
jn/
J-X= +i1\],7 3. 建模任务 _5l3e7YN X GhV?
tA l;'#!hC)
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
szG 0?e 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
>~)IsQ*% 场分布计算能够检测结构内部的热点
RbA.%~jjx* =3=
$F% 4. TE和TM照明线性光栅 xOgUX6n @b,&b6V 5. 铬狭缝的分析 {;[W'Lc :!nBTw KfkE'_F 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
%J%ZoptY: 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
X1GpLy)p 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
WG\gf\= I 红线说明了结构的形状(手动添加)
[Dou%\ mE+ 6. 三角光栅的分析 ]Y%U5\$ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
qZ79IX'y YLO/J2[' leMcY6 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
QTKN6P 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
eo~>|0A*V 红线说明了结构的形状(手动添加)。
0*-nVC1 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
7Rix=* tUR9ti 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
n;+e( ob;; sH}q &= 7. 总结 Il&}4#: LNR~F_64Q VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
JMa[Ulz 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
{?zbrgQ<Z 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
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8_0~u6 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。