[技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的，研究了两种不同的系统：具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 :5~Dca_iU4  
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1. 建模任务1：金属光栅 jo"nK,r  
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j>JBZ#g  
 在Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 viG=Ap.Th  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 W@AHE?s6g  
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2. 建模任务2：介质光栅 pA.orx  
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 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 K7&]|^M9  
 对于这个仿真，采用傅里叶模态法。 fh =R  
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3. 建模任务 F[\T'{  
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,.P]5 lE  
 VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器，用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 _W(xO |,M  
 通过该分析器，可以对任意形状的光栅进行研究。 ;b [>{Q;  
 场分布计算能够检测结构内部的热点 )2).kL>  
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4. TE和TM照明线性光栅 TYuP EVEXZ  
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5. 铬狭缝的分析 l^R:W#*+U  
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4}N+o+  
 通过计算场分量，可描述多种场量，如振幅、位相、振幅平方。 A/=cGE  
 左图显示的是Ey方向的振幅平方，由于TE偏振光照明，这是唯一一个不为零的场量。 (Yj6|`  
 对于金属结构，由于集肤效应，场合能量主要位于狭缝（空气）内。 *m"@*O'  
 红线说明了结构的形状（手动添加） qE2<vjRg  
zk$h71<{.  
6. 三角光栅的分析  $Z&6  
 左图为三角介质光栅，描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 <IR@/b!,  
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*P *.'XM  
 如果是介质光栅结构，场合能量主要集中在光栅脊内。 Ds] .Ae  
 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化，电场的y分量几乎没有影响。 mL1ZSX o!  
 红线说明了结构的形状（手动添加）。 D7pQWlN\  
 左图显示的TM偏振光照明下，Ex分量的振幅平方。 > U3>I^Y  
Lb$Uba-_  
 与TE偏振光照明对比，由于三角光栅形状，场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状（手动添加）。 s8(Z&pQ  
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7. 总结 bzpi7LKN  
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 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 rIPg,4y*S!  
 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 h(q4 B~  
 对于该类型的计算，VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 ;,Vdj[W$>  
 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度)，如果采用高能光源，这些热点可能损坏元件。