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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 +9HU&gQ3  
    k2Q[v  
    1. 建模任务1:金属光栅 n l5+#e*\  
    R655@|RT  
    t(}Y/'  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 Qz`evvH  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 1=]#=)+  
    3\2&?VAjR  
    2. 建模任务2:介质光栅 ^(Gl$GC$Mu  
    ?3DL .U{  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 J#d,?  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 r%: :q^b3  
    v0'z''KM!  
    3. 建模任务
    }5EH67  
    <,Gjo]z  
    p&}m')  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 `@ Z$+  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 1mV ' ~W  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 >u%Bn \G  
    s\'t=}0q  
    4. TE和TM照明线性光栅
    ?r;F'%N=  
    %~eu&\os  
    5. 铬狭缝的分析 (ht"wY#T<(  
    a[t"J*0  
    1sUgjyGQ  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 b?k,_; \  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 j\#)'>"  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 qPu?rU{2  
     红线说明了结构的形状(手动添加) r0z8?  
    ]_ LAy  
    6. 三角光栅的分析
    89[/UxM)  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 i?>>%juK  
    BDN}`F[F  
    xqT} 9,  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 iLdUus!  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 axG%@5  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    M!G/5:VZ  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 nJH'^rO!C  
    m[ S1  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 i&HU7mP/  
    o &b\bK%E  
    7. 总结 0>,i] |Y  
    $y)tcVc  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 Jcvp<  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 ='#7yVVcs  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 fN`Prs A  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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