该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
+9HU&gQ3 k2Q[v 1. 建模任务1:金属光栅 n l5+#e*\ R655@|RT t(}Y /' 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
Qz`evvH 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
1=]#=)+ 3\2&?VAjR 2. 建模任务2:介质光栅 ^(Gl$GC$Mu ?3DL .U{ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
J#d,? 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
r%: :q^b3 v0'z''KM! 3. 建模任务 }5E H67 <,Gjo]z p&}m')
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
`@Z$+ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
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~W 场分布计算能够检测结构内部的热点
>u%Bn\G s\'t=}0q 4. TE和TM照明线性光栅 ?r;F'%N= %~eu&\os 5. 铬狭缝的分析 (ht"wY#T<( a[t"J*0 1sUgjyGQ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
b?k,_;\ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
j\#)'>" 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
qPu?rU{2 红线说明了结构的形状(手动添加)
r0z8? ]_ LAy 6. 三角光栅的分析 89[/UxM) 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
i?>>%juK BDN}`F[F xqT} 9, 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
iLdUus! 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
axG%@5 红线说明了结构的形状(手动添加)。
M!G/5:VZ 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
nJH'^rO!C m[ S1 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
i&HU7mP/ o &b\bK%E 7. 总结 0>,i]
|Y $y)tcVc VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
Jcvp< 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
='#7yVVcs 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
fN`Prs A 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。