该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
\R,8xID_t cG!dMab( 1. 建模任务1:金属光栅 #@<L$"L }LryRcrD-n lL*"N|Y 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
-+WE9 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
V1\Rj0#G s} oD?h:T3 2. 建模任务2:介质光栅 <%m$
V5h Q+dLWFI 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
\vgM`32< 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
S6{u(=H ;rC< C 3. 建模任务 Hli22~7T: I[P_j`aE RP%FMb}nt
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
\Z_29L w= 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
y)b=7sU 场分布计算能够检测结构内部的热点
bdHHOpXM 8b< 'jft 4. TE和TM照明线性光栅 9lB$i2G>Zw bf6:J
`5Z 5. 铬狭缝的分析
M 9KoQS c:2LG_mQ 0?=a$0_C 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
m:c .dei5 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
t>eeOWk3 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
0lS=-am 红线说明了结构的形状(手动添加)
40%<E EU.!/'< 6. 三角光栅的分析 rVB\\ 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
4MP8t@z ,OBJ>_5 2 @t?@,c 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
[BFPIVD)h] 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
xo#K_"E 红线说明了结构的形状(手动添加)。
P9q ZjBS 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
QZFH>,d vAfYONU 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
*V{Y.`\ zG\:#,9 7. 总结 K$5mDScoJ i)7B :uA VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
a6 w'.]m 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
>`I%^+z 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
b ; U 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。