该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
SO|NaqWa 6y%qVx#! 1. 建模任务1:金属光栅 zU kgG61 ^pAAzr"hv Ja7R2-0ii# 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
axv>6k 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
n/;WxnnQ t9k zw*U9 2. 建模任务2:介质光栅 $<dH?%!7 AW%#O\N 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
<y2U3;t 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
fnjPSts0 IXMop7~ 3. 建模任务 jH5
k \%JgH=@
:= =V,mtT
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
U2tV4_ e 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
_UMg[Um 场分布计算能够检测结构内部的热点
}WC[$Y_@ T6y\| 4. TE和TM照明线性光栅 3Gp$a;g sQUM~HD\a 5. 铬狭缝的分析 4x=v?g& a+[KI tzWSA-Li 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
AP n| \ 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
>Eyt17_H"n 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
Q04al= 红线说明了结构的形状(手动添加)
)al]*[lY f
O}pj: 6. 三角光栅的分析 -/wtI 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
2@n{yYwy }Sm(]y s[RAHU 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
e/KDw 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
R$h<<v)% 红线说明了结构的形状(手动添加)。
O W_{$9U 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
g+8OekzB5 -P(efYk 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
SXSgld2uS 6C1#/ 7. 总结 MD}w Y><C }kw#7m54 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
lZd(emH@ 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
9a[9i}_ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
yJ[0WY8<kC 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。