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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 SO|NaqWa  
    6y%qVx#!  
    1. 建模任务1:金属光栅 zUkgG61  
    ^pAAzr"hv  
    Ja7R2-0ii#  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 axv>6k  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 n/;WxnnQ  
    t9kzw*U9  
    2. 建模任务2:介质光栅 $<dH?%!7  
    AW%#O\N  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 <y2U3; t  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 fn jPSts0  
    IXMop7~  
    3. 建模任务
    jH5 k  
    \%JgH=@ :=  
    =V, mtT  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 U2tV4_ e  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 _UMg[Um  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 }W C[$Y_@  
    T6y\|  
    4. TE和TM照明线性光栅
    3 Gp$a;g  
    sQ UM~HD\a  
    5. 铬狭缝的分析 4x=v?g&  
    a+[KI  
    tzWSA-Li  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 APn|\  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 >Eyt17_H"n  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 Q 04al=  
     红线说明了结构的形状(手动添加) )al]*[lY  
    f O}pj:  
    6. 三角光栅的分析
    -/wtI   
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 2@n{yYwy  
    }Sm(]y  
    s [RAHU  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 e/KDw  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 R$h<<v)%  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    O W_{$9U  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 g+8OekzB5  
    -P(efYk  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 SXSgld2uS  
    6 C1#/  
    7. 总结 MD}w Y><C  
    }kw#7m54  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 lZd(emH@  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 9a[9i}_  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 yJ[0WY8<kC  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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