该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
Xek E#?. f61]`@Bk 1. 建模任务1:金属光栅 cbY3m Sfn* >4Fdxa j=p|'` 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
J78Qj[v 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
+ 4++Z agGgJ@ 2. 建模任务2:介质光栅 P'KY.TjWb t/_\U=i$ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
vQE` c@^{ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
4ZSfz#<[z $=X!nQ& Z| 3. 建模任务 QLxXp Z{j!s6Y@{ _
+u sn.
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
xow6@M, 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
mJU>f-l 场分布计算能够检测结构内部的热点
n/,rn>k7: R
A-^!4tX 4. TE和TM照明线性光栅
~`a#h# ^*j[&:d 5. 铬狭缝的分析 Y,p2eAss F='jmiVJ +Px<DX+ 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
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左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
8tG/VE[ 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
bF8xQ<i~Y 红线说明了结构的形状(手动添加)
rZwf%} ZKiL-^dob 6. 三角光栅的分析 c+YYM
:S 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
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cHV3cz -O5(% 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
9|?(GG 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
>V ]*mS%K 红线说明了结构的形状(手动添加)。
fTi{oY,zTg 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
W6!4Qyn LgD{! 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
d~xU?)n) Xk$l-Zfse 7. 总结 WP#_qqO :w&)XI34 VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
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lX5 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
]I.& .?^i0 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
4jyr\=42F' 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。