该案例主要说明了周期性
结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的
系统:具有狭缝的矩形
光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。
Sga/i?! ,)u\G(N 1. 建模任务1:金属光栅 _S4 3_hW 1 m)WM,L pDGX$1O" 在Ey (TE)
偏振光
照明下的光栅内部场分布的严格
仿真。
WD=#. $z$ 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
jG"n);WF rkF]Q_'`t; 2. 建模任务2:介质光栅 }B{bM<dF K,7IBv,B[ 在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。
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e<&7 对于这个仿真,采用傅里叶模态法。
A4lh`n5% D YJ F6O 3. 建模任务 q[l!kC+Eh Q+
r4 H"_ZqEg
VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。
EgAM,\ 通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。
>wiW(Ki} 场分布计算能够检测结构内部的热点
;++CMTza] xXpeo_y' 4. TE和TM照明线性光栅 l6^IX0&p C]ev"Am_)
5. 铬狭缝的分析 Gj6(ycaS
UADD 7d %F'*0< 通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。
%?gh;? GD 左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。
& 5!.!Z3 对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。
&tT*GjPwg; 红线说明了结构的形状(手动添加)
P&Vqr Q/oe l'O*x 6. 三角光栅的分析 $q_e~+SXT 左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。
6xk~Bt E1(2wJ-3"
bL: !3|M 如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。
FdR!jt 由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。
>7yOu!l 红线说明了结构的形状(手动添加)。
W,<P]) 左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。
v%_5!SR W`}C0[%VW 与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。
t2)S61Vr %UEV['= 7. 总结 %E\&9, 2&st/y(hs VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。
bo]xah|."j 内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。
OF^:_%c/ 对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。
8cq H0{ 光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能
光源,这些热点可能损坏元件。