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    [技术]光栅结构中场分布的严格分析 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-11-25
    该案例主要说明了周期性结构内电磁场分布的严格计算。出于此目的,研究了两种不同的系统:具有狭缝的矩形光栅和具有三角形状的介质光栅(等腰三角形)。 Sga/i?!  
    ,)u\G(N  
    1. 建模任务1:金属光栅 _S43_hW  
    1 m)WM,L  
    pDGX$1O"  
     在Ey (TE)偏振照明下的光栅内部场分布的严格仿真 WD=#. $z$  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 jG"n);WF  
    rkF]Q_'`t;  
    2. 建模任务2:介质光栅 }B{bM<dF  
    K,7IBv,B[  
     在Ex (TM)和Ey (TE)偏振光照明下的光栅内部场分布的严格仿真。 $ e<&7  
     对于这个仿真,采用傅里叶模态法。 A4lh`n5%  
    DYJ F6O  
    3. 建模任务
    q[l!kC+Eh  
    Q+ r4  
    H"_ZqEg  
    VirtualLab的光栅工具箱提供了场内部分量分析器,用户可以对光栅结构中的电磁场分布进行严格计算。 EgAM,\  
     通过该分析器,可以对任意形状的光栅进行研究。 >wiW(Ki}  
     场分布计算能够检测结构内部的热点 ;++CMTza]  
    xXpeo_y'  
    4. TE和TM照明线性光栅
    l6^IX0&p  
    C]ev"Am_)  
    5. 铬狭缝的分析 G j6(ycaS  
    UADD 7d  
    %F'*0<  
     通过计算场分量,可描述多种场量,如振幅、位相、振幅平方。 %?gh;? GD  
     左图显示的是Ey方向的振幅平方,由于TE偏振光照明,这是唯一一个不为零的场量。 & 5!.!Z3  
     对于金属结构,由于集肤效应,场合能量主要位于狭缝(空气)内。 &tT*GjPwg;  
     红线说明了结构的形状(手动添加) P&Vqr  
    Q/oel'O*x  
    6. 三角光栅的分析
    $q_e~+SXT  
     左图为三角介质光栅,描述的是TE光照明的Ey分量的振幅平方。 6xk~Bt  
    E1(2wJ-3"  
    bL: !3|M  
     如果是介质光栅结构,场合能量主要集中在光栅脊内。 F dR!jt  
     由于三角高度轮廓是在x-z平面内变化,电场的y分量几乎没有影响。 >7yOu!l  
     红线说明了结构的形状(手动添加)。
    W,<P])  
     左图显示的TM偏振光照明下,Ex分量的振幅平方。 v%_5!SR  
    W`}C0[%VW  
     与TE偏振光照明对比,由于三角光栅形状,场和能量分布受到强烈的影响。 红线说明了结构的形状(手动添加)。 t2)S61Vr  
    %UEV['=  
    7. 总结 %E\&9,  
    2&st/y(hs  
     VirtualLab的光栅工具箱能够对任意形状光栅结构进行严格分析。 bo]xah|."j  
     内部场分量分析器允许计算所研究光栅结构内部的所有电磁场分量。 OF^:_%c/  
     对于该类型的计算,VirtualLab采用全矢量傅里叶模态法。 8cqH0{  
     光栅内部场分布的研究能够进行热点识别(高能密度),如果采用高能光源,这些热点可能损坏元件。
     
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