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测量系统(MSY.0001 v1.1) +9fQ YJBA 8N,mp>~ 应用示例简述 {^jRV@ lK2=[%,~ 1. 系统说明 L8{4>, c|2+J:}p 光源 N~)RR {$w — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) *U}cj A:ZN 元件 &W*do — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 {k15!(:i~a 探测器 E=&":I6O — 干涉条纹 .[Nr2w:> 建模/设计 $p)e.ZMgE — 光线追迹:初始系统概览 ;4s7\9o — 几何场追迹加(GFT+): j0.E!8Ae{ 计算干涉条纹。 ^U.t5jj 分析对齐误差的影响。 pl.x_E,HP C9VtRq 2. 系统说明 tVr^1Y n5z";:p 参考光路 )/FEjo  ;/R \!E
3. 建模/设计结果 o ?`LZd:{ e9p!Caf~I- LUfo@R 4. 总结 k"pN `#c36 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 DPM4v7 S g><itA? 1. 仿真 *!c&[- g 以光线追迹对干涉仪的仿真。 u$Ty|NBjn 2. 计算 Lyy:G9OV 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 /$=<RUE 3. 研究 mrGfu:r 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ^$x1~}D |Ca
%dg9$@ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 R\Of , CYn56eRK 应用示例详细内容 }c@duf-l 系统参数 r=cm(AHF 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 >^bSjE :7L[v9' 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 uMb[0-5 0o]T6 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 +8Q5[lh2]j /`+ubFXc 2. 说明:光源 QqCwyK0 & oj$h HvJ-P# 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 NhRKP"<CO 因此,相干长度大于1m 1`F25DhhY 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 6|B;C 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 /kc@ELl
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v&3 Oc `-yiVUp1:z 3. 说明:光源 ]\6*2E{1m .gs:.X)TG9 abtYa 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ,#8H9<O9t 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 xW+XN`77 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 yo]8QO]97 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 $m[*)0/ 4. 说明:光学元件 !~!\=etm kPezR:
31 4cZlQ3OE. 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 wY{!gQ 位相延迟平板材料为N-BK7。 ;
-,VJCPi 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 iXD=_^^o . 透镜材料为N-BK7。 >d<tcaB 其中心厚度与位相平板厚度相等。 TLT6z[ \(`,z}Ht _ 5O]eD84B 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 sHm:G_ m=qyPY o!sHK9hvJ) 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 JTdcLmL 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 %Zi}sm1t
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