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测量系统(MSY.0001 v1.1) WI4_4 Pk]9.e1_ 应用示例简述 -Jrc'e4K IguG03:.N 1. 系统说明 qlT:9*&g `IRT w" 光源 L#@$Mtc — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) i&Cqw~.H 元件 u]-El}*[ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Fl>j5[kLZ 探测器 G}xBYc0b — 干涉条纹 Cv7RCjMw 建模/设计 k+G4<qw — 光线追迹:初始系统概览 zw9ULQ$# — 几何场追迹加(GFT+): 8A]q!To 计算干涉条纹。 W" ,jZ"7 分析对齐误差的影响。 $/#) g\nL
n# 2. 系统说明 (qONeLf% n?fC_dy
参考光路 &'2l_b  ,ZW.P` 3. 建模/设计结果 ^O:RS
g9 {cHTg04 54_m{&hb 4. 总结 |Qq'_4: pnb$lpxt 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 xT(.#9 XxQ2g&USk 1. 仿真 'N/%SRk 以光线追迹对干涉仪的仿真。 U]&%EqLS 2. 计算 +mPB?5 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 m,fr?d/; 3. 研究 ^w}Ib']X 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 T js{
)r9 [beuDZA 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 g+{MvSj$ p)]^>-L 应用示例详细内容 OVK(:{PwS 系统参数 $k=rd#3 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 &G,v*5N8$K t?&ajh 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 L7="! I ht!:e>z&4 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Ok"wec+, cl8Mv 2. 说明:光源 V:np cKpu Fd0FG A&L 9Ky,oB 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 nW[aPQ[R 因此,相干长度大于1m F<1'M#bl 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 #Z5~a9rO 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 aMD?^ RT9|E80
wIPDeC4 D^4V"rq 3. 说明:光源 3c"{Wu-} DvKMb-*S e=C,`&sz 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 SxyFFt 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 V6o,}o&- 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 {<Zqw] 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 <Z wEdq 4. 说明:光学元件 }:Akpm -UE-v svII =JB 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 {K}+$jzGVt 位相延迟平板材料为N-BK7。 WfI~l) 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 q9Wtu7/ 透镜材料为N-BK7。 +d.Bf 其中心厚度与位相平板厚度相等。 D=+sD"<| 8Aqe'2IH= ' 1IH^<b 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 @:8|tJu8b U^S0H(> xr -scdh2 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 n$K_KU v 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 m[rJFSpef
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