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测量系统(MSY.0001 v1.1) g =hg%gRy" M?49TOQA 应用示例简述 MY)O^I X$ Wi<m{.%\E 1. 系统说明 FUzzB94a b_krk\e@S 光源 ,ng Cv;s — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) pF >i-i 元件 gg/-k;@ Rf — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 QL/(72K 探测器 Dpac^ST — 干涉条纹 J{<X7uB 建模/设计 T Z@]:e:"b — 光线追迹:初始系统概览 .43'HV — 几何场追迹加(GFT+): {uFO/ 计算干涉条纹。 #z%fx
分析对齐误差的影响。 fbvL7*
( w.o@7|B1N 2. 系统说明 I][*j ^
+\dz 参考光路 `RW HN/U  }v{LRRi 3. 建模/设计结果 nFCC St$ gVuFHHeUz MjRHA^b 4. 总结 #X$\&,Yn" T763:v 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ?$pCsBDo ATyEf5Id_ 1. 仿真 ~8+ Zs 以光线追迹对干涉仪的仿真。 y.k~Y0 2. 计算 4_lrg|X1 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 wHLLu~m\ 3. 研究 TX/Xt7#R: 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 >:!5*E5? ~ Iuf}D; 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 T!{w~'=F T>Z<]s 应用示例详细内容 e9tjw[+A 系统参数 N"R]Yp;j 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 F(n$ P+sW[: 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 kTB0b*V B6 ;|f'e! 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 D_7,m%Z: $PPi5f}HD 2. 说明:光源 >=>2m2z= }.(B}/$u JbbzV> 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 |df Pki{ 因此,相干长度大于1m n>XdU%& 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 rlLMT6r.8 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ;'K5J9k A)!*]o>U
yyJf%{ T -2t.Xs 3. 说明:光源 CRE3icXbQ +'a^f5 P@B] 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 tNI^@xdim1 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 GxxW&y 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 t:Q*gWRh 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Fxz"DZY6 4. 说明:光学元件 "^-a M
)10+@d 7$=InK 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 eMsd37J 位相延迟平板材料为N-BK7。 r19
pZAc 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 IJ"q~r$ 透镜材料为N-BK7。 NLqzi%s 其中心厚度与位相平板厚度相等。 abj Q)=u EQM{ cwg"c4V 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 %u'ukcL7 Q2gq}c~ bG#>uE J- 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 :I#V. 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 :F?C)F
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