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测量系统(MSY.0001 v1.1) ~ls[Sl@ )9"_J9G 应用示例简述 ij( B,Y 9Hb6nm 1. 系统说明 tnN.:%mZ 1;Cyz) 光源 ($; 77fPR — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) I%j|D#qY:T 元件 {YAJBIvHV — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 o.!~8mD 探测器 f=r<nb'H — 干涉条纹 %Q
fO8P 建模/设计 ogHCt{' — 光线追迹:初始系统概览 ~O
oidKT — 几何场追迹加(GFT+): J$GUB3
G 计算干涉条纹。 ~5%W:qwQ 分析对齐误差的影响。 i%#+\F.& ~-_kM 2. 系统说明 x7!L{(E3 7WkB>cn 参考光路 KyYM fC  O7-mT8o 3. 建模/设计结果 -$cmG4 KWowN; !Sh&3uy_qN 4. 总结 8hOk{xs8 wnEyl[ac 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Oj3.q#)`Z c1k/UcEcg~ 1. 仿真 '
V^6XI 以光线追迹对干涉仪的仿真。 jET{Le8i 2. 计算 l1OE!W W 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 (_mnB W 3. 研究 8*#R]9 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ]6(N@RC Zw5Ni Xj 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Sq/
qu-%X VM
GS[qrG 应用示例详细内容 0WZ_7C? 系统参数 fk6%XO 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 cl[BF'.H hV8[@&Sx3 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 =.f-w0V 5cL83FQh 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Z_};|B} ZM!CaR 2. 说明:光源 I7 |Pi[e 9ifDcYl S;3R S; 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 EUD~CZhS"k 因此,相干长度大于1m V:In>u$QJ! 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 \qdHX 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 :DrWq{4 @5=oeOg36
I5 o)_nc $+8cc\fq 3. 说明:光源 fHE<( @r/#-?W p4.wh|n 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ]qethaNy 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Vwg|K| 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 "bFTk/ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 q>_/u" 4. 说明:光学元件 3}TaF~ =x%dNf$e{W _E &A{HkJ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 lGPUIoUo 位相延迟平板材料为N-BK7。 c]x1HvPE 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 .b3Qfxc> 透镜材料为N-BK7。 B:b5UD 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ~P*6ozSYpY hm84Aq= f XX7{-Yy 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 5gH1.7i b *g:4e3Iy x5,++7Tz 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 W]"zctE 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 x[wq]q#*
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