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测量系统(MSY.0001 v1.1) q$T8bh,2 M&f#wQ 应用示例简述 yUe+":7k. UOt8Q0)} 1. 系统说明 Bc<n2 C0 Yb6q))Y 光源 kYlg4 .~M — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) n P1GW6Pu 元件 . :a<2sp6 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜
Jq)U</ 探测器 Za%LAyT_s — 干涉条纹 kiX%3( 建模/设计 DsGI/c — 光线追迹:初始系统概览 Y)Tl< — 几何场追迹加(GFT+): =X@o@1 计算干涉条纹。 _mk5^u/u 分析对齐误差的影响。 YB5dnS"n 0x ~`5h 2. 系统说明 /2XW =9$mbn
r 参考光路 6D/tK|  iSiDSeW8 3. 建模/设计结果 uPLErO9Es[ mU@xcN mmP U
4. 总结 {/|qjkT&W ($>XIb9f 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 /:p8I6; {G*OR,HN 1. 仿真 !` 26\@1 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Js{=i>D 2. 计算 ,@.EpbB 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 OCK>%o$[ 3. 研究 P^i.La, 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Uu'dv#4Iw |=5/Rax^ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 nIBFk?)6 9 Cvn6{ 应用示例详细内容 g_z/{1$ 系统参数 6ep>hS4A& 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Vz"u>BP3~ /;oqf4MF 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 8\Hr5FqB( ST;t,
D: 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 JE;+T[I zOB=aG?/ 2. 说明:光源 &HDP!SLS j *3}1L4P v}[dnG 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 6+`tn 因此,相干长度大于1m +iA=y=;blH 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 z-,VnhLx 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 L`[z[p{? T3 pdx~66
DC:)Ysuj }V`mp 3. 说明:光源 ]'h; {;ug VKW|kU7Cs$ >oJkJ$|wU 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 o6L9UdT 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 *b)Q5dw@1 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 qf8[!5GM 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 bx}fj#J]En 4. 说明:光学元件 \#,t O%D nE|@IGH ^gYD*K!* 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 a07=tD 位相延迟平板材料为N-BK7。 KQ`=t 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 aGoE,5 透镜材料为N-BK7。 0KvVw rWJ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ]Pc^#=(R0 k\7:{y@, tIuoD+AW 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Q0cRH"!: A6"Hk0Hf glUo7^ay7 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 0 f/.>1M= 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 !;
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