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测量系统(MSY.0001 v1.1) c#4L*$ViF "8iyMP%8 应用示例简述 ba)YbP[ (8eNZ*+mO 1. 系统说明 ws=9u- h/+I-],RF 光源 ,B/p1^;. — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) :pF]TY"K. 元件 F~rYjAFTi — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 0)] C&;}_M 探测器 MnrGD>M@| — 干涉条纹 hhgz=7Y 建模/设计 GO
GXM4I — 光线追迹:初始系统概览 ("M#R!3 — 几何场追迹加(GFT+): +` Y ?- 计算干涉条纹。 'rq#q)1MT 分析对齐误差的影响。 H6 f; BS p31rhe 2. 系统说明 $CYpO}u# LkZo/K~ 参考光路 BnnUUaE  !7a^8
3. 建模/设计结果 E<G@LT cZX&itVc: xS\QKnG. 4. 总结 sq(063l 0gb]Kj x 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 eYSGxcx V1b_z 1. 仿真 g l\$jDC9 以光线追迹对干涉仪的仿真。 G mUs U{ 2. 计算 f;XsShxr 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Y l3[~S
3. 研究 hv8[_p`> 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 bz@=zLBt WyJfF=< 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 [tf^i:2 l|tp0[ 应用示例详细内容 IEr`6|X 系统参数 cyP*QW[ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 $cpQ7 y#Sw>-zRq 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 LW
3J$Am 2yO)}g FJ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
#LyjJmQ k@)m- K 2. 说明:光源 @DC2ci
> 7<'i #E~ 1YD.jU^;HD 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 9X&qdA/q 因此,相干长度大于1m AdS_-Cm 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 &EJ,k'7$ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 h)RM9813< ,) jB<`
eV=sDx O|TwG:! 3. 说明:光源 lGBdQc]IL
(mD:[|. n~i4yn= 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 w8#>xV^~ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 SK}g(X7IWH 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 R.'Gg 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Q/`o6xv 4. 说明:光学元件 Y+yvv{01 UT7lj wT c Yn}we}7 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 @z JZoJL]J 位相延迟平板材料为N-BK7。 >@e%,z 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 8/$iCW 透镜材料为N-BK7。 ly5L-=Xb 其中心厚度与位相平板厚度相等。 Zo ReyY2 ddhTri'f Y6;9j=[ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ZGvNEjff 0=zS&xM zvC,([ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 SFNd,(kB*z 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 E004"E<E
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