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测量系统(MSY.0001 v1.1) sJKI! i$Ul(? 应用示例简述 ,~U>'&M; ./Xz}<($8 1. 系统说明 G/E+L-N#` /|}EL%a 光源 9
ql~q — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) m!!/Za 元件 w7L{_aom — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 )$2QZ
qX 探测器 [g|_~h — 干涉条纹 \doUTr R 建模/设计 '@v\{ l — 光线追迹:初始系统概览 #~]zhHI — 几何场追迹加(GFT+): 4>
K42m 计算干涉条纹。 b=C*W,Q_# 分析对齐误差的影响。 ~12EQacOT yZY \MB/ 2. 系统说明 ^e,. B`)BZ,#p 参考光路 DeVv4D:}@  ;fTKfa 3. 建模/设计结果 tAd%#:K LVM%"sd? BKCiIfkZ 4. 总结 b#%hY{$j [\eeDa 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ;+R&}[9,A) u{cW: 1. 仿真 5{WE~8$ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 gx/,)> E. 2. 计算 QE+g
j8 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 `,(4]tlL 3. 研究 bSlF=jT[S 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 +.PxzL3? d'gfQlDny 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 HVCe;eI h+H%?:FX 应用示例详细内容 .NC!7+1m 系统参数 !?jrf ]
A@ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Dj?> <@ HyQJXw?A: 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 e2Pcm_Ahv*
NR6#g,+7 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。
Mx ?d ?4} h&/ 2. 说明:光源 ub0.J#j@ sE<V5`Z= Ml{, 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 $)i")=Hy 因此,相干长度大于1m 05#1w#i 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 |^I0dR/w: 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 (8DC}kckE ?=7cF
Ta0|+IYk< ,-LwtePJ0 3. 说明:光源 tS5hv@9cWx 7nTeP(M% O63<AY@ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 qr^3R&z!} 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 :r,pqnH_ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ua$GNm 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 ,-c6dS 4. 说明:光学元件 <al(7 Sv#XIMw{, SM#]H-3 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 bo>*fNqAIy 位相延迟平板材料为N-BK7。 oulVg]; 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 *%NT~C
q 透镜材料为N-BK7。 y2dCEmhY 其中心厚度与位相平板厚度相等。 2;`1h[,-^ =:Fc;n>c<K 7IH@oMvE 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 6<SAa#@ey xh,qNnGGi 6vo;!V6 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 `2WFk8) F 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 N^G
Mp,8
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