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测量系统(MSY.0001 v1.1) I!;# Nk> jbqhNsTNK 应用示例简述 Pl
}dA Vhww-A 1. 系统说明 ZK[S'(6q oIM] 光源 [lC*|4t& — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) iM Xl}3 元件 a]465FY — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 #mX=Y>l 探测器 1&
k_&o — 干涉条纹 <'4DMZ-G 建模/设计 kgz2/, — 光线追迹:初始系统概览 j]"Yzt~u — 几何场追迹加(GFT+): 9 0[gXj 计算干涉条纹。 I$neE"wW 分析对齐误差的影响。 +*Cg2` x=qACoq 2. 系统说明 8fdK|l w QH%{r4 参考光路 Iy](?b  :!1B6Mc 3. 建模/设计结果 3X{=*wvt 5CkM0G` H3.WAg[` 4. 总结 U"xI1fg%b @Ey(0BxNu 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 'PlKCn`(w ~`{HWmah 1. 仿真 48n>[
FMSR 以光线追迹对干涉仪的仿真。 EYUr.#: 2. 计算 Y:VM5r) 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 %&^F.JTt\ 3. 研究 H+; _fd 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Z$,1Tk"O/s vbQo8GFp} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 d*1@lmV* AdB5D_ Ir 应用示例详细内容 ]P ->xJ 系统参数 0}Xkj)R, 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 "_C^Bc y-"*[5{W 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 F5J=+Q%8[& 5-w6(uu 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 %.b)%= SM:{o&S` 2. 说明:光源 P!m~tu}B 8@/]ki`> 2u6N';jgZ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 yaA9*k 因此,相干长度大于1m 8\y%J!b 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 m7e$Z 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 gW6lMyiLb d?&?$qf[
sj`9O- ?49 \x x<\8Qr_ 3. 说明:光源 c?eV8h1G ;oULtQ m5zP|s1`[' 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 mb?DnP,z 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 :H\6wJ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 _hMVv&$ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 Tc\^=e^N? 4. 说明:光学元件 r#]gAG4t\
,US~p_M! A@_F ;4X 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 &6MGPh7T 位相延迟平板材料为N-BK7。 3T Q#3h 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ez86+ 透镜材料为N-BK7。 kd'qYh 其中心厚度与位相平板厚度相等。 =}r&>|rrJ c.,:rX0S p0$K.f|
^ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 f;pR8 0} liK #JO#PV% 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 xwT"Q=|kW 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ',6QL4qV/
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