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测量系统(MSY.0001 v1.1) XKt">W UN6Du\)]d 应用示例简述 aL%amL6CX KZ;Q7 1 1. 系统说明 yDW$v/j.| dJ}E,rW} 光源 DHlCus=ic — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) }- P
='AyL 元件 }^np — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 ` kG}NJf 探测器 Vx6/Rehj — 干涉条纹 nR1QS_@{L 建模/设计 _H+|Ic — 光线追迹:初始系统概览 ( d2|r)O — 几何场追迹加(GFT+): >u:t2DxE 计算干涉条纹。 5s'oVO*hW 分析对齐误差的影响。 HX77XTy 6*n<emP 2. 系统说明 }+fMYgw 8~>5k 参考光路 M{ mdh\  G$B( AWL 3. 建模/设计结果 TsB"<6@!AA |_^A$Hv >5Rcj(-&l 4. 总结 ;Xw'WMb*= B8'e,9 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 8;C_@ LK1 r@ 1. 仿真 RS>;$O_(M 以光线追迹对干涉仪的仿真。 5 uU.K3G7 2. 计算 q{?ku!cL 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 C Ahkv0?8 3. 研究 z"@yE*6 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 lj4D:>Ov >K2Md*[P3q 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ^}gQh# ?{OB+f}Mo 应用示例详细内容 &Q85B q 系统参数 B4 cm_YGE 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 'F- wC! 0~5'O[NhF 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 X(Wd >+ZG{'!j 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 v ;q<h I-QaR 2. 说明:光源 .UUY9@ o6PDCaT7 cnUYhxE+s 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 '<A:`V9M}v 因此,相干长度大于1m ,&1DKx 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 #Tjv(O[& 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 py9HUyr5eZ ~ "^]\3#
S-^RZ" I'_u4 3. 说明:光源 9D2}heTN 8e`'Ox_5a dsx'l0q 'i 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 |-W7n'n 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 c3X'Sv 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 S+d@RMdes 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 x>?jfN,e 4. 说明:光学元件 b#:Pl`n6u =Mb1)^m 1@j0kTJ~m 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 $\0%"S 位相延迟平板材料为N-BK7。 ^=H. .pr 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ~JJuM 透镜材料为N-BK7。 |hp_<F9. 其中心厚度与位相平板厚度相等。 %V>Ss9;/8 t4a/\{/#9| qH3|x08 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 BrdHTk= Vy `kn 'RZR !ys82 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 GWNLET 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 _Ra$"j
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