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测量系统(MSY.0001 v1.1) cyMs(21 s*JE) 应用示例简述 O5-;I,)H 9^zx8MRXd 1. 系统说明 F]5\YYXO F<r4CHfh; 光源 m2b`/JW — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) @HEPc95 元件 Gvn : c/m; — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 0QoLS|voA/ 探测器 h7?.2Q&S — 干涉条纹 QymD-A"P 建模/设计 :[?!\m%0 — 光线追迹:初始系统概览 Wc;+2Hl[@ — 几何场追迹加(GFT+): 8]C1K
Zs 计算干涉条纹。 AgsR-"uh 分析对齐误差的影响。 Wk[)+\WQ? _?b;0{93u 2. 系统说明 xG%*PNM0q e?<D F.Md+ 参考光路 M(5D'4.  h5!d 3. 建模/设计结果 J3&Sj{ o .Cr1,Po Gl>E[iO 4. 总结 <E}N=J'uJ C BlXC7_Mi 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 .,mM%w,^O \7
Mq $d 1. 仿真 8IJ-]wHIb 以光线追迹对干涉仪的仿真。 o<J5! 2. 计算 & rQD `E/ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 rIlBH*aT 3. 研究 Tc_do"uU 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 sVoR?peQ %MuaW(I o 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 s##Ay{ SG`)PW? 应用示例详细内容 w \DspF 系统参数 7TdQRB 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 K;C_Z/<% G>0)I 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 k<Oy%+C *(nJX.7 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ^j iE9k) 4:`[q E3 2. 说明:光源 wA",SBGX I61%H9; LP?P=c 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 :<UtHf<=k 因此,相干长度大于1m Hf_'32e3< 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 >[P%Ty); 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Yj3*)k G"C;A`6
O+vcs4 s7M}NA 0 3. 说明:光源 \!4|tBKVY j%5a+(H,z; ]b)!YPo 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 U2UyN9:6F 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 o}W;Co 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 4y>(RrVG 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 P4[]qbfd, 4. 说明:光学元件 QQq/5r4O`q 0V7 _n '$*[SauAG 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 19&)Yd1 位相延迟平板材料为N-BK7。 f| =# q 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 F-tFet
透镜材料为N-BK7。 uAT/6@ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 |Q6h/"2 ()B7(Y o"4E+1qwM 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 l_ b_-p Tplg2p%k {s9<ej~<R 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 <b'1#Pd>0 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 FR(QFt!g
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