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测量系统(MSY.0001 v1.1) j_d}?jh C$0u-Nx8 应用示例简述 lv?`+tU2_ 3|!3R'g/ > 1. 系统说明 ujnT B*Cqc $gnrd~v4e 光源 uDND o — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) TgjjwcO Y 元件 c
$r"q :\ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 g4k3~,=D3 探测器 C9?mxa*z — 干涉条纹 I'BHNZO5tf 建模/设计 %\HE1d5; — 光线追迹:初始系统概览 x2t&Wpvt — 几何场追迹加(GFT+): qCI7)L` 计算干涉条纹。 05{}@tW- 分析对齐误差的影响。 Xg]Cq"RJC YvN]7tcb 2. 系统说明 VoYL}67c 9]Ue%%vM 参考光路 ;=$;h6W0  dhA~Yu 3. 建模/设计结果 r'y Nc&~ $b2~Wj*-nJ baD063P; 4. 总结 {
i6L/U. g_{N^wS 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ~tWh6-:|{J ),vDn}> 1. 仿真 q
8sfG ;) 以光线追迹对干涉仪的仿真。 [uGsF0#e 2. 计算 ~}j+~ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Z8Ig, 3. 研究 ~b*]jZwT 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 n=4 B<L7`xL 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 k
L6s49 2DPv7\fW 应用示例详细内容 MG=8`J-` 系统参数 d'Bxi"K
1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 i,^3aZwJ' sM MtU@<x 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 9vyf9QE; @Q,Q"c2 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 %m dtVQ@ n"RV!{& 2. 说明:光源 L(C`<iE&3 $m#^0% J)n_u) , 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 nS3Aadm 因此,相干长度大于1m .Ja].hP 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 `dcz9 * 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ,DE>:ARZ X uE: dL?
Ur]$@N OS;
T; 3. 说明:光源 Ws|`E`6O MZ$uWm`/ ,k~' S~w. 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 u#EcR}=] 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 1N(1h
D 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 04dz?`HuB 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 k*)sz 4. 说明:光学元件 nyi!D ou-UR5 ':;k<(<- 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 4zS0kk;+ 位相延迟平板材料为N-BK7。 ;DK%!."% 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 K [DpH& 透镜材料为N-BK7。 }r@dZBp: 其中心厚度与位相平板厚度相等。 &
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yf&p V($V8P/ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 *'{-!Y G*+^b'7 !Nx1I 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 !5lV#w!vb 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 8lpAe0p(Z
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