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测量系统(MSY.0001 v1.1) \v
P2B 4U
a~*58 应用示例简述 l)PFzIz=V }%ZG>LG5J 1. 系统说明 5A]LNA4i V?V)&y] 4 光源 (:bCOEZ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) IfmIX+t? 元件 8j+:s\ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 19w,'}CGk 探测器 @uM3iO7& — 干涉条纹 t"bPKFRy9E 建模/设计 (zro7gKked — 光线追迹:初始系统概览 c;8"vJ — 几何场追迹加(GFT+): i&'^9"Z)O 计算干涉条纹。 J%-lw{FC 分析对齐误差的影响。 Gp3nR<+ C|~JPcl 2. 系统说明 +yP[(b/ D7_Hu'y<o 参考光路 IU'!?XVo  'oHOFH9:{b 3. 建模/设计结果 >[%.h(h/% )4F/T, {;m 6v2RS 4. 总结 {cyo0-9nv $L&9x3+?Kg 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Dss/>!
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581/ 1. 仿真 7MuK/q. 以光线追迹对干涉仪的仿真。 77&^$JpM 2. 计算 qnk,E- 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 tp0!,ne* 3. 研究 @F(3*5c_Y 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 .M53, 8X D@rn@N 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 pW3)Y5/D 2c>H(t h= 应用示例详细内容 "U5Ln2X{J 系统参数 s?G'l=CcKu 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 cxP9n8CuT leb^,1/D6 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 :U-US|)(2 ofPF} 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 |p8"9jN@}c 10l1a4 2. 说明:光源 %M;_(jda i^s`6:rNu S`2mtg 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 |<$<L`xoe 因此,相干长度大于1m +.gf]| 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
$`XN 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Lr24bv\ \Sq"3_m4T
74}eF)(me B~_,>WG 3. 说明:光源 p'%: M HV$9b~( .cH{WZ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ,2
g M- 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 %g]$Vfpy 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 6L:trLuQ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 )ZgER[ 4. 说明:光学元件 IB#iJ#, 68J 9T^84 ,>QMyI
hv 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 L)R[)$2(g 位相延迟平板材料为N-BK7。 [`hE^chd 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 k binf 透镜材料为N-BK7。 n2jvXLJq 其中心厚度与位相平板厚度相等。 MR?*GI's "J8;4p :!+}XT7)/ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 y} $P, x:A-p..e c4ZuW_&: 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 fd5ZaE#f 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 8z."X$
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