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测量系统(MSY.0001 v1.1) OgC,oj,!/ oaPWeM+ 应用示例简述 kN{$-v=K |mHf7gCX 1. 系统说明 Ev7v,7`z uPr!;'J= 光源 i|AWaG) — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 8HJ,6L r; 元件 ` V [4 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 [+R_3'aK 探测器 :#?_4D!r — 干涉条纹 W}3%BWn 建模/设计 Y_jc *S — 光线追迹:初始系统概览 4Otq3s34FT — 几何场追迹加(GFT+): 4'*.3f'bp 计算干涉条纹。 BN%cX2j 分析对齐误差的影响。 |%ZJN{!R YG:^gi 2. 系统说明 %g@\SR. &p_iAMn:9 参考光路 |?Edk7`  oe|;>0yf 3. 建模/设计结果 P!IA;i K\fD'; kp<Au)u 4. 总结 00dY?d{[D ,]: <l 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 32SkxcfrCK ^p9V5o 1. 仿真 W#NZnxOX" 以光线追迹对干涉仪的仿真。 T$R#d&t 2. 计算 'kC#GTZi 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 \z FCph4 3. 研究 |gu@b~8 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 ZX`x9/0& D86F5HT}} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 3%GsTq2o -.MJ3 应用示例详细内容 HK<S|6B7V 系统参数 hHVAN3e 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 wL3RcXW``e [f lK 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 G/},lUzLg I(7iD. ^: 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 $b{8$<;9 t1mG] 2. 说明:光源 ^lZ7% 6 W5Pur
lu? >yP>]r+ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 biS[GyQ 因此,相干长度大于1m Yu_
eCq5/ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 cQThpgha 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 u?MhK#Mr RfD#/G3|
$^^M&[b- ~Y*.cGA 3. 说明:光源 047PlS u1u;aG {fl[BX]kZ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 &1^~G0Rh\ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ts@$* 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ;R2A>f~ 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 MoEh25U. 4. 说明:光学元件 8$47Y2r@ NopfL o~9*J)X5i 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 AI{0;0 位相延迟平板材料为N-BK7。 sg}<() 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 W1xPK* 透镜材料为N-BK7。 Lk#)VGk: 其中心厚度与位相平板厚度相等。 %++:
K # .(f7~ 1(# H% 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 pxedj %P<fz1 h;r^9g 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 VZ`YbY 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 *)^ZUk
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