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测量系统(MSY.0001 v1.1) mbZg2TTy Vvk\$' 应用示例简述 lK #~lC ~Ec@hz]js 1. 系统说明 Z n]e2 a|@1RH>7H 光源 WvHy}1W — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) LZrkFkiC 元件 'pl){aL`@u — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Kw,ln<)2 探测器 iuWw(dJk — 干涉条纹 B~/ejC! 建模/设计 ,:"c" — 光线追迹:初始系统概览 *Y- rEF > — 几何场追迹加(GFT+): |NaEXzo|qY 计算干涉条纹。 KS(Ms*k;' 分析对齐误差的影响。 O<6!?1|KP ;#6j9M0 2. 系统说明 _c6 zzGtH C~:!WRCz 参考光路 k0!D9tk  vA,tW, 3. 建模/设计结果 -Hu]2J) +0FmeM&`h_ ^W<uc :L7 4. 总结 hOF>Dj %TRH,-@3h 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ~CL^%\K )ia$pes 1. 仿真 YM]ZL,8 以光线追迹对干涉仪的仿真。 +G>;NiP_ 2. 计算 {
w:9w 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 j8#B 3. 研究 ~yuj;9m3 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 jRzQ`*KC# + Ek('KOF 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Oz_|pu J0"<}" 应用示例详细内容 ;l'kPUv([ 系统参数 oFUP`p%[ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 @^93q <y5f[HjLy 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 +{S^A) _Vxk4KjP5 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 9Fm><,0'u #3act)m 2. 说明:光源 za@`,Yq 3xz{[ 5<p cYMlcwS 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 XDi[Iyj 因此,相干长度大于1m 1u0NG)*f 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 y1:#0 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 kKg%[zXS SZQ4e
A1,- qv1s m]NyEMYg 3. 说明:光源 O;*.dR t'0dyQ%u tkGJ!aUt 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 _GK3]F0 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 Qv@Z# 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 s8<)lO<SV. 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 0jN?5j 4. 说明:光学元件 v/yt C/WH" Hc{0O7 )gR !G]Y 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ?"[h P=3J 位相延迟平板材料为N-BK7。 va/$dD9 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 7}<057Xn' 透镜材料为N-BK7。 9}2E+ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 *0`oFTJ ,@Izx IL]VY1'# 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ^#4?v^QNh -v(.]`Wo&;
B)M& FO 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Vuqm{bo^ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 >9.xFiq<
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