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测量系统(MSY.0001 v1.1) Ec4+wRWk85 Z]^Ooy[pb 应用示例简述 aK+jpi4? B&},W* p 1. 系统说明 ;;{!wA+"D =jEh# 光源 ibj3i7G? — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 7#pu(:T$ 元件 lO+6|oF0 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 +=o?& 探测器 ba`V`0p- ( — 干涉条纹 @b]?Gg 建模/设计 l =`?Im — 光线追迹:初始系统概览 qGK -f4 — 几何场追迹加(GFT+): +3wVcL 计算干涉条纹。 uW{;@ 7N 分析对齐误差的影响。 %Bf;F;xuB xsN)a! 2. 系统说明 zQ>|`0&8 EmFL
%++V 参考光路 ==XO:P  A@81wv
3. 建模/设计结果 gq|]t<' %j4AX y7Sey; 4. 总结 'jr[
?WQ lXnzomU 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 1[U`,(C1 X8uAwHa6F 1. 仿真 yzH[~O7 以光线追迹对干涉仪的仿真。 W+5<=jXFB 2. 计算 A^3M~ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ?BA~$|lfxu 3. 研究 Z!eW_""wp 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 r&0IhE u301xc,N<z 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 >JUOS2 KP*cb6vA 应用示例详细内容 41oXOB 系统参数 ;GF+0~5> 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Wm#F~<$ X:kqX[\> 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 u+_6V xk\n F0z 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Xub<U>e;b E,wOWs* 2. 说明:光源 >"?jW@|g
WH^^.^(i ^0T DaZDLp 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 @en*JxIM 因此,相干长度大于1m 'OjsV$_ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 !Sj0! \ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 n=1_- ) ?j^:jV
]mZN18# G W@g 3. 说明:光源 4Uzx2
Nay&cOz 5!V%0EQqw 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 FofeQ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 vp2s)W8W 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Uz$.sa 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 /OtLIM+7~{ 4. 说明:光学元件 efUa[XO =6H AdGDs+at, 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 l)K8.(2 位相延迟平板材料为N-BK7。 _|f_%S8a_= 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Zog&:]P'F 透镜材料为N-BK7。 K|V<e[X[V 其中心厚度与位相平板厚度相等。 dK d"2+fH J*nWCL JZ>E<U9& 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 RTQtXv6mD E=$li u [Dz~ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 W\1V`\gF 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ]X\p\n'@j
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