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测量系统(MSY.0001 v1.1) h=v[i!U-eY x;ERRK 应用示例简述 PUQ_w [.#p 1. 系统说明 |i}+t =e-a&Ep-z 光源 taWirqd9 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) -~(0O 元件 D y`W5_xSz — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 /^z/]!JG:V 探测器 ;Xfd1 — 干涉条纹 0,1L e$)6 建模/设计 fXF=F,!t — 光线追迹:初始系统概览 r6oX6.c — 几何场追迹加(GFT+): ONr?.MJ6j 计算干涉条纹。 ?;:9
W 分析对齐误差的影响。 `eMrP` 5bF9IH 2. 系统说明 A=v lC?&Z [0% yJH 参考光路 f7_\).T  g)Vq5en* 3. 建模/设计结果 PSP1>-7)w Njy9 JX 7~!I2DV_ 4. 总结 @MN}^umx` 6o[0sM_]; 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 o ;[C(OS vCy.CN$ 1. 仿真 \yJZvhUk 以光线追迹对干涉仪的仿真。 u|_LR5S!j 2. 计算 .KT 7le<Zm 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 T =eT^?v 3. 研究 S 0R8'Y 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 mC*W2#1pF %K&+~CJE 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 7.7Cluh5, Kf:2%_DB 应用示例详细内容 lF;ziF 系统参数 Ur_S
[I 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 "J]f0m= .x)>f 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 \S=XIf m+D2hK* 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 \b_-mnN" =gMaaGg p, 2. 说明:光源 Qq`3S> 92P,:2`a 9l]UE0yTL/ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 (,- 5(fW 因此,相干长度大于1m R7E]*:0} 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 c0!Te'? 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 q*HAIw[<y >QYh}Z-/%
RE 。 Ro$j1Aw( 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 y.jS{r".
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