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测量系统(MSY.0001 v1.1) D[_| *9BC \e!vj.PU 应用示例简述 :4MB]v[K usEwm,b) 1. 系统说明 NZ/yBOD( 8zA=;~GHP 光源 Gm9hYhC8 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 1Ab>4UhD 元件 = M]iIWQ@` — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 yY[<0|o u 探测器 UW9?p}F — 干涉条纹 ~zSCg|"r 建模/设计 }0u8r` — 光线追迹:初始系统概览 0
;b[QRmy — 几何场追迹加(GFT+): K_2|_MLlZ 计算干涉条纹。 :>TEDy~O% 分析对齐误差的影响。 mp9{m`Jb* _U{zMVr 2. 系统说明 ^5A
t?I8 N\HQN0d9 参考光路 L0&RvI#  ^s@8VAwi 3. 建模/设计结果 qTAc[Ko FBpH21|/y dn}` i 4. 总结 Ee@4 %/v J|X
6j&- 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ynw5-aS3 ~v'3"k6 1. 仿真 $<^u^q37u 以光线追迹对干涉仪的仿真。 3,]gEE3 2. 计算 W-.pmU e2 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 6I!7c^]t 3. 研究 mwY
IJy[ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 iJZ/jCI n Ps7c % 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ?V}j`r8|\4 zGc:
@z 应用示例详细内容 H(Q.a=&4!p 系统参数 -jn WZ5. 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 OM|Fwr$ hgLj< 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 IBQ@{QB \MK*by 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 + J{0 E {5d9$v7k4 2. 说明:光源 cuK,X!O Ndo a4L)$ NTS#sgP 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 cwm_nQKk 因此,相干长度大于1m !^v5-xO?rP 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 l#lF
+Q; 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 +8v9flh 2-"0 ^n{
MB%Q WU wtT}V=_ 3. 说明:光源 N? 5x9duK u5~Ns&o&N "*;;H^d 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 N<QjdD& 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 H*bs31i{ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 "wlt> SU 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 eeHP&1= 7 4. 说明:光学元件 }?&k a$rI fM #7 y [ nOQa_G]Gz 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 `'\t$nU 位相延迟平板材料为N-BK7。 <\0vR20/ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 r1<F 透镜材料为N-BK7。 gJ;_$` 其中心厚度与位相平板厚度相等。 K9vIm4::d$ Qj3a_p$)P xl"HotsX-x 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 D;I6Q1I 1Nu1BLPm xil[#W]7Ge 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 a6:x"Tv 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ]r3Kg12Mi
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