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测量系统(MSY.0001 v1.1) [GM<Wt0 +2O_LPV$, 应用示例简述 zf u78 ~Wv?p4 1. 系统说明 9B0"GEwrs lNAHn<ht 光源 Wno5B/V — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) }C}_
I:=C 元件 %Ski5q — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 4F!d V;"Z( 探测器 )FPbE^s( — 干涉条纹 "
z{w^k 建模/设计 G> >_G<x — 光线追迹:初始系统概览 W -&5
v — 几何场追迹加(GFT+): l0)uu4| 计算干涉条纹。 pXa? Q@6 分析对齐误差的影响。 p60D{UzU BZ9iy~ 2. 系统说明 :B~c>: fO nvC* 参考光路 Xi.?9J`@  YvX I 3. 建模/设计结果 |e>-v C"<@EMU9 -^DB?j+ 4. 总结 Ea?.HRxl EM}z-@A> 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ;0'v`ob'.? *_wBV
M=2 1. 仿真 67?5Cv 以光线追迹对干涉仪的仿真。 566Qikw2 2. 计算 v'tk:Hm1 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 |#6Lcz7[ 3. 研究 z^.0eP8\j 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 s=4.Ovd\ CgC wM=!r 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 |sz9l/,lG |{T2|iJI 应用示例详细内容 `Fj(g!` 系统参数 k7*q.2 0 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 bSfQH4F 5FxU=M1gF 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 \ 714 Pyy at!?"u 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 nmr>Aj8[ Df (6DuW 2. 说明:光源 C#>C59 cht#~d Q1z04m1_y[ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 iq$/6!t 因此,相干长度大于1m e^ yB9b 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 /Ny&;Y 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 N;Bal/kd2 %:*HzYf
@d\F; o< )T?ryp3ev 3. 说明:光源 K@m^QioMj tF|bxXsZ i7FEjjGtG 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 8T4J^6 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 EeO{G*pq 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Tx*m
p+q 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 /!hW6u5 4. 说明:光学元件 N!AFsWV -MjRFa ArY'NE\Htt 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 %[J( ,rm 位相延迟平板材料为N-BK7。 y.zQ ` 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 scdT/|(U$ 透镜材料为N-BK7。 r`2& o 其中心厚度与位相平板厚度相等。 duI8^&| .
fIodk |($pXVLH` 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Q *he%@w {F j`'0Xu; x>^S..K}L% 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Gkl#s7' 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 KjadX&JD
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