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测量系统(MSY.0001 v1.1) ph1veD<ZZ :!EOg4%i 应用示例简述 iNs 0ID
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[ 1. 系统说明 1z(y>`ZBq dQFx]p3L 光源 WS0RvBvb — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) eVWnD,' 元件 C44Dz.rs — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 86@@j*c(@k 探测器 FCmS3KIa, — 干涉条纹 0?j+d8* 建模/设计 UIv
2wA2 — 光线追迹:初始系统概览 ',*
6vbII — 几何场追迹加(GFT+): 7"y"%+*/ 计算干涉条纹。 ,G,T&W 分析对齐误差的影响。 M+^+u 1QQ0 [w)6OT 2. 系统说明 3C8'@-U !-4pr[C 参考光路 sOW-GWSE<  ODM<$Yo:d 3. 建模/设计结果 'bg%9} Hp":r%) Tr}c]IP* 4. 总结 S*CRVs L+QEFQ:r5 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Da8qR+*x
[w~1e)D 1. 仿真 Nr7MSFiL 以光线追迹对干涉仪的仿真。 bLoYg^T/ 2. 计算 \Jv6Igu 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 +B'9!t4 2 3. 研究 i@_|18F]` 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 g!%csf ]}G(@9 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 rYq8OZLi D1lHq/ 应用示例详细内容 37!}8 系统参数 w>rglm& 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 J(-#(kMyf G(4:yK0 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Qo{^jDe,c* h_d!G+-] 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 q^dI!93n| ipKkz 2. 说明:光源 poHDA=#
3 8'#%7+ "=! Ef$xum{ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 oc-7gz) 因此,相干长度大于1m dmrM %a}W- 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 3QS"n.d 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ^#%$?w>wI J/wot,j^
1rE hL x_(B7ob 3. 说明:光源 g >-iBxml E9226 mKnkHGM 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 S`X;2\: 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 F/RV{} 17E 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 Nc]oAY 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 }
"y{d@ 4. 说明:光学元件 s bW` =UNzjmP503 m2<sVTN`^ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 HcQ{ok9u 位相延迟平板材料为N-BK7。 /1tqTi 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 }N4=~'R 透镜材料为N-BK7。 a50{ gb# 其中心厚度与位相平板厚度相等。 bEy j8=P; R4QXX7h! ;U}lh~e11 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 XRj<2U5 cKK 1$x ,1F3";`n[ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 )BS./zD*[< 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ga~rllm;i
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