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测量系统(MSY.0001 v1.1) 0{p#j~ZhC |a`Sc% 应用示例简述 umH40rX+ #:U%mHT(_ 1. 系统说明 dhf!o0'1M x,@B(9No 光源 |tMWCA — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ;~ $'2f~U 元件 /cQueUME` — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 =M[bnq*\ 探测器 i0kak`x0 — 干涉条纹 `*cxH.. 建模/设计 m{cGK`/\ — 光线追迹:初始系统概览 1N#|
}ad — 几何场追迹加(GFT+): *:LK8U 计算干涉条纹。 li'YDtMKCY 分析对齐误差的影响。 $)ijN^hV '/n1IM$7 2. 系统说明 6"5A%{J 8hz^%vm 参考光路 "W7K"=X  S\YTX%Xm} 3. 建模/设计结果 U}e!Wjrc mCsMqDH +-U- D?- 4. 总结 4I
k{ M2>Vj/ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 tGh~!|P 0$)>D== 1. 仿真 IS{wtuA. 以光线追迹对干涉仪的仿真。 JHM9 2. 计算 p{Yv3dNl 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 FaQe_; 3. 研究 Ng2@z<>. 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Is)u } Hz1%x 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 +\c5]` mAj?>;R2$2 应用示例详细内容 +ocol6G7W 系统参数 7uS~MW 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 jrlVvzZ :Ij{s 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Jr
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n.`($yR_ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 {W=%U|f a LroD$# 2. 说明:光源 :0j?oY~e z0p*Z& 8 S:w7Hr 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 hl7bzKO*w 因此,相干长度大于1m pMx*F@&nU 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 uGf@ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 h5{'Q$Erl G_3O]BMKd)
*/)c?)" !*F1q|R 3. 说明:光源 fo*2:?K& SO|NaqWa _(W+S`7Z 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 6y%qVx#! 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 #zv3b[@ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 BOb">6C 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 B4c]}r+ 4. 说明:光学元件 N=T<_`$5 c?f4Q,%| =r?hgGWe 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ??-[eB. 位相延迟平板材料为N-BK7。 {3>$[bT 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Zw
26 透镜材料为N-BK7。 zH?! 其中心厚度与位相平板厚度相等。 6@h/*WElG knu,"< ~NrG`
D} 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 -j#2}[J7 1y4|{7bb )0.kv2o. 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 U8s2|G;K 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 7{e
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