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测量系统(MSY.0001 v1.1) ~yJJ00% Nt/hF>"7 应用示例简述 L2OR<3*|Av e0hY 1. 系统说明 wOsg,p;\' R[@}Lg7+v 光源 oXUb_/ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) U*?`tdXJ$ 元件 6"R'z#{OF — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 fElFyOo+ 探测器 _PSOT5{ — 干涉条纹 9*r^1PRc 建模/设计 lSc=c-iOv — 光线追迹:初始系统概览 kT:I.,N — 几何场追迹加(GFT+): : [7O=[pk 计算干涉条纹。 KD?b|y@ 分析对齐误差的影响。 Udq!YXE0 mi[8O$^iJ 2. 系统说明 /Q_Dd -gUp/#l1 参考光路 ij;P5OA  (e0(GOqf4 3. 建模/设计结果 RGrQ>'RL bF5"ab0 :>U+HQll 4. 总结 dFyGI? \`E^>6!]q 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 4u+0 )< u1=K#5^ 1. 仿真 fH$#vRcq 以光线追迹对干涉仪的仿真。 _*MK" 2. 计算 !#=3>\np+X 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 k81%$E 3. 研究 2=/-,kOL_ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 <'N:K@Cs ]qxl^Himq 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 `.J17mQe" ,Vw>3|C 应用示例详细内容 ~9E_L?TW* 系统参数 YV!hlYOBi 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 um}q @BU 2TNK 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 } `5k^J$x 8g
Z)c\ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 -Jw4z#/- Z&U:KrFH 2. 说明:光源 Ka_;~LS>( ^\&FowpP +@~WKa 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 I]E 3&gnC 因此,相干长度大于1m /;Hr{f jl{ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 `j(._`8%a 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 =*"8N-FU 7ej u%d
gdA2u;q Ikw@B)0} 3. 说明:光源 8|)^m[c& D}LM(s3li7 se`Eez} 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 n:P:im?,y* 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ;81,1
Ie<~ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 DA.k8M 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。
\2e^x 4. 说明:光学元件 tH44\~ kS8?N`2}LV o~)o/(>ox 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 mO;QT 位相延迟平板材料为N-BK7。 [
'lu;1-, 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 5af0- hj 透镜材料为N-BK7。 d?T!)w 其中心厚度与位相平板厚度相等。 xcU!bDV ?5J# _io'8X2K% 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 849,1n^ kM{8zpn 7XK0vKmW3 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 )N8bOI 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 FV/t
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