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测量系统(MSY.0001 v1.1) 1HPx|nmE] ,Hgc-7g@Y 应用示例简述 $v b,P( o#[ KS:Y 1. 系统说明 rP(eva SZ_V^UX_ 光源 b,IocD6v;P — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ~j'l.gQb 元件 P%MfCpyj — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 _e7-zg$/ 探测器 [>|FB ' — 干涉条纹 4R8G&8b 建模/设计 _qWliw:0# — 光线追迹:初始系统概览 o-cAG{.WC — 几何场追迹加(GFT+): 28OWNS
M= 计算干涉条纹。 D\ H/ 分析对齐误差的影响。 ph2$oO
6, {ccIxL
/~ 2. 系统说明 U'*t~x< {>bW>RO) 参考光路 =\{\g7  b5:op@V 3. 建模/设计结果 "EV!>^Z $M:3 XAN "<i SZ 4. 总结 !JBae2Z n$(p-po 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 _3Cn{{ A0 |~<N -~.C 1. 仿真 ?tg
y| 以光线追迹对干涉仪的仿真。 %/.a]j! 2. 计算 ^JR;epVJ
采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 /b;K 3. 研究 BN,>&1I
不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 _#_
E^! _e!F~V. 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 voe7l+Xk ]8;n{ }X 应用示例详细内容
d^|0R 系统参数 ^ZTGJ(j7~ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 T5O _LCIws @InZ<AW>| 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 EC6k{y}bA !q"CV 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 1t9 .fEmT =iHiPvP0 2. 说明:光源 W@\ (nfD2 J g$xO@. q|)Q9+6$+ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 "gW7<ilw
因此,相干长度大于1m ;o<m}bGaT 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 W
>(vYU 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 ->lu#;A5 7L:7/
R \s!*) [t0rfl{. 3. 说明:光源 q1k{ 0F;,O3Q YW;
Hk1 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 $A<ESfrs 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 PKq-@F%X 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 _U)%kY8 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 v$w++3H 4. 说明:光学元件 "zZI S6j KbxR
Lx]w R,@g7p 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 8Og3yFx[rt 位相延迟平板材料为N-BK7。 Me:{{-V4 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 Cef:tdk7 透镜材料为N-BK7。 "t(wG{RxY 其中心厚度与位相平板厚度相等。 UmK X*T9 dX
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S` 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ZYtiMBJ >E"9*:.^a +'03>!V 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 $GF]/;\m 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 1x >iz
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