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测量系统(MSY.0001 v1.1) Qh\60f>0 T1=fNF 应用示例简述 \(2sW^fY &&>ekG9@ 1. 系统说明 _KAQ}G3 ^Xh^xL2cn 光源 Y`a3tO=Pd — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) z!9-: 元件 w ;^ra<*<+ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 *b\t#meS& 探测器 7WZ+T"O{I — 干涉条纹 &0JI!bR( 建模/设计 ['iPl/v0 — 光线追迹:初始系统概览 k~w*W X' — 几何场追迹加(GFT+): P@c5pc#| 计算干涉条纹。 V1M.JU 分析对齐误差的影响。 %._.~V -e:`|(Mo 2. 系统说明 >pe.oxY tK\~A,= 参考光路 ;u)I\3`*!  DN:EB@ 3. 建模/设计结果 zy
}$i? _xhax+,! ~ Uz]|N6` 4. 总结 H9e<v4c ;NITc 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 97!;.f- /IMFO:c 1. 仿真 _I5Y"o 以光线追迹对干涉仪的仿真。 pFjK}JOF 2. 计算 Er?&Y,o 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 gRcQt : 3. 研究 pYf-S?Y/V 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 fI|Nc $~T4hv : 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 EXqE~afm2 f) L 应用示例详细内容 0<@@?G 系统参数 t*w/{|yO 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪
92oFlEJ :d'8x 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 }k.Z~1y e+fN6v5pU 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 7B66]3v K]w'&Qm8W 2. 说明:光源 ab?aQ*$+ ]:J$w]\ "fOV^B 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 .(k|wX[Fu~ 因此,相干长度大于1m 63IM]J 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Pa:|_IXA 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 {E|$8)58i '!B&:X)
f]srRYSR DZtsy!xA 3. 说明:光源 {]4LULq 8Z=R)asGS 7WzxA=*# 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 5]:U9ts# 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 =41?^1\ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 X|]AT9W 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 (KZ{^X?a 4. 说明:光学元件 (X*^dO =>~:<X., 3F^Q51:t 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 *.w9c 位相延迟平板材料为N-BK7。 j8:\%| 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 vKAN@HSYr 透镜材料为N-BK7。 yyTnL 2Y9 其中心厚度与位相平板厚度相等。 S)"Jf? 2&J)dtqz `r 4fm`< 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 -X6PRE5a2 ]JQULE) b4Ekqas 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 BDQsP$'6QT 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ":N9(}9
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