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测量系统(MSY.0001 v1.1) eh8lPTKil GcG$>&, 应用示例简述 q{+}0!o pb G5y7 1. 系统说明 Tfx-h)oP3 xIH= gK 光源 Ap 3B' — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) rxj# 元件 \YHl( — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 >DN^',FEm 探测器 )@<HG$# — 干涉条纹 _w2KUvG-8 建模/设计 0Hx'C^m72 — 光线追迹:初始系统概览 KL*+gq0k — 几何场追迹加(GFT+): 79I"F' 计算干涉条纹。 s<oT,SPt 分析对齐误差的影响。 N,.awA{ )-h{0o 2. 系统说明 ]=59_bkD:s +11 oVW 参考光路 [Fv_~F491  kh8 M= 3. 建模/设计结果 ~qXwQ@ *$3p3- m-#]v}0A 4. 总结 phB d+zQc u68ic1 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 FEX67A8/; *_]fe&s=% 1. 仿真 O-box? 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ,@I\'os 2. 计算 MZqHL4<| 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 tgHN\@yj 3. 研究 5DO}&%.xt 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 F%4N/e'L mX, @yCI 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 :Zo^Uc:*w ?j)#\s2 应用示例详细内容 T5}5uk9 系统参数 t3C#$> 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 l@]Fzl rrq7UJ; 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 &Aym@G|k? 2sVDv@2 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 T'9M 3>=G-AH/$K 2. 说明:光源
OAEa+V &B++ "f um\A 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ]7RK/Zu i 因此,相干长度大于1m "{d[V(lE" 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 |CK/-UG} 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 YG)7+94 wRq
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>SS^qjh/ 2z1r|?l 3. 说明:光源 u'gsIuRJ Q8]S6,pt f9hH{(A 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 AJ6O>Euq 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 @V+KL>Qw 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 5bsv05=e 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 NH1ak(zHW 4. 说明:光学元件 [|YJg]i- = N:5#A E/D@;Ym18 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 >feeVk 位相延迟平板材料为N-BK7。 Fl"LK:) 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 6\%#=GG 透镜材料为N-BK7。 2d<`dQY{l3 其中心厚度与位相平板厚度相等。 e`)zR'As Tc|+:Usy v[a4d&P 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ): r'IR +!G)N~o u
N_< G 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 "L9pFz</ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 SL_JA
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