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测量系统(MSY.0001 v1.1) v-mhqhb vEIDf{ 应用示例简述 8(c,b *XZlnO 1. 系统说明 #^fDKM qkN{l88 光源 oO8V0VE\ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) L<**J\=7M 元件 X!%CYmIRb — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 [vs5e3B) 探测器 EpCsJ08K — 干涉条纹 UfnjhHu 建模/设计 2'zYrdem — 光线追迹:初始系统概览 =N%;HfUD — 几何场追迹加(GFT+): !yQ# E2/A 计算干涉条纹。 yBwgLn 分析对齐误差的影响。 Spossp`| hI{M?LQd 2. 系统说明 -mlBr63Bj xG^6'< 参考光路 G'sEbw'[  W7QcDR y6 3. 建模/设计结果 3"Y
|RSy 4iiW{rh4 QFm~wv8: 4. 总结 -kVt_ [80L|?, * 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 B~oc.sg 7]w]i5 1. 仿真 pLvvv#Y 以光线追迹对干涉仪的仿真。 U!rhj&n 2. 计算 O*dN+o 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ersddb^J] 3. 研究 oyS43/." 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 Bu\:+3 ) t`6R)' 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 kCO`JAH# \/Z?QBFvz 应用示例详细内容 T(E$0a)# 系统参数 FCu0)\ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 *TEgV WxB}Uh 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 <lj;}@qQ< i1"4ztZ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 A3VXh^y+ Ydw04WEJ 2. 说明:光源 ^x8yWbrE 2`XG"[@ f,'gQ5\ X3 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 IXaF(2> 因此,相干长度大于1m [/B$cH 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 hP1H/=~ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 mT@8( ^a6c/2K
M PhG:^g o/grM+_ 3. 说明:光源 dvWQ?1l_ @pcmVsIp 'gDhi!h% 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 gZI88Q 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 &&/2oP+z 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 L1FTh 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 $wgHaSni 4. 说明:光学元件 ^h}xFiAV# 2UPqn#.3 MCBZq\c 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 {s8v0~ 位相延迟平板材料为N-BK7。
}pOem} 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 \t6k(5J 透镜材料为N-BK7。 8J}gj7^8 其中心厚度与位相平板厚度相等。 yHY \4OHS |~'PEY z?NMQ8l|:6 5. 马赫泽德干涉仪光路视图
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&Oz!TQ IkzY 3oH .1M/ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 R4 8w\?L 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 i(hI\hD
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