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测量系统(MSY.0001 v1.1) C6Ap
4 wwF]+w%lOw 应用示例简述 >t.2!Z_RQ ]/XNfb 1. 系统说明 vClD)Ar 3gQQ,V.. 光源 Qb!9QlW — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) g|a2z_R 元件 .ZJt — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 T_lexX[\ 探测器 {*bXO8vi(( — 干涉条纹 Ji\8(7
{8 建模/设计 ?{mFQ — 光线追迹:初始系统概览 %u-l6<w#R — 几何场追迹加(GFT+): nzmv>s&UW 计算干涉条纹。 v[T5D: 分析对齐误差的影响。 ~Y<x-)R U<|kA(5 2. 系统说明 m2AA:u_*j yk5-@qo 参考光路 CaX&T2(  Cp7 EJr~ 3. 建模/设计结果 1tHTjEG4^3 7rw}q~CE5 6Daz1Pxd+ 4. 总结 KGS=(z I9h?Z&n5 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 {<5rbsqk Z#IRNFj 1. 仿真 7_)'Re# 以光线追迹对干涉仪的仿真。 hhLEU_U 2. 计算 O:"gJ4D 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 eVL'Ao&Ho 3. 研究 GxL5yeN@( 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 :PuJF`k _V^^%$ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ^CX=< <ppM\$ 应用示例详细内容 #8z2>&:| 系统参数 a938l^@;s8 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 %,Xs[[?i QXqBb$AXi, 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 _[zO?Div[ '\Z54$ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 fn>MOD!l zFmoo4P/ 2. 说明:光源 /xj^TyWM l 3bo T B~C4H K= 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 vG`R. 因此,相干长度大于1m U@x5cw: 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 Xs$k6C3 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 w?|gJ*B" l'n"iQ!G
)<-\ F%&b +K,]#$k 3. 说明:光源 zL$$G, L l\y2oJ G]X72R?g 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 fT9$0:eO 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 vzA)pB~; 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 A
q;]al 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 '+LC.l M 4. 说明:光学元件 ?a+>%uWt 9E~=/Q= >xb}AY; 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 42kr&UY& 位相延迟平板材料为N-BK7。 q '9u8b 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 :t+XW`eQR: 透镜材料为N-BK7。 tP8>0\$) 其中心厚度与位相平板厚度相等。 `2Rd=M]? =S7Xj`/ E
Mq P 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 >J,Rx!fq3 1Ys6CJ# pLi_)(#z_ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 M|nTO 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 D#R5G
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