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测量系统(MSY.0001 v1.1) t_VF=B^LuR jD`p;#~8 应用示例简述 ([mC!d@a WOv m%sX 1. 系统说明 B
66-l!xa 9kpCn.rJ 光源 #RJFJb/ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 4Jf6uhaE 元件 TQor-Cymz — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 g RX`61 探测器 gcaXN6 C — 干涉条纹 c]u^0X?& 建模/设计 STr&"9c — 光线追迹:初始系统概览 Za*QX| — 几何场追迹加(GFT+): QR.] ?t;1 计算干涉条纹。 $aY*1UVq 分析对齐误差的影响。 <b5J"i&m /^m3?q[a 2. 系统说明 6 4fB$ H{XD>q. 参考光路 lZt{L0  `egyk)"aM 3. 建模/设计结果 OdZLJt?g Po~u-5 ;RmL' 4. 总结 nVO|*Bnf) v>4kF _N 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 *c0\<BI &fIx2ZM[ 1. 仿真 AUan^Om 以光线追迹对干涉仪的仿真。 T|/B}srm 2. 计算 JfrPK/Vn 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 uB`H9 3. 研究 9b8kRz[ c 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 |%i|P)] snl$v 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。
Uu<Tn#nb o#X=1us 应用示例详细内容 $69ef[b 系统参数 pE^j Uxk6 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 kW
7$ ;&A%"8o 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 3RW3<n :epjJ1mW 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 zRz7*o&l F1q a`j^' 2. 说明:光源 cP]5Qz jOE~?{8m #nzVgV] 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 uia[>&2 因此,相干长度大于1m R3[H#*gF< 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ,rO>5$ w. 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 r
N.<S[ #wvmVB. 5~
PGj?`y4 *1>zE>nlP 3. 说明:光源 C4`u3S :.K#=ROP Py3Y*YP 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 ]t23qA@^2 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 W l4T}j 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 2f=7`1RCD 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 !R`)S7! 4. 说明:光学元件 fV\ eksBF 9T#JlV \N?,6;%xB 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 )]^xy&:| 位相延迟平板材料为N-BK7。 (Vvs:h%H 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 3 E~d 透镜材料为N-BK7。 )Q!3p={S* 其中心厚度与位相平板厚度相等。 I|{A&G}|q h
/. ^iT p{sbf;-x} 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ,%L>TD'48s ,z*-93H1 $_5@NOZ,M 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Ao%;!(\I% 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 `!K!+`Z9
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