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测量系统(MSY.0001 v1.1) < c[dpK5c "~aCW~ 应用示例简述 a*nx2d *m`KY)b=l 1. 系统说明 \&5t@sC ~U_,z)<`)c 光源 ($Y6hn+ — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ypsT:uLT 元件 ?#_] Lzn' — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 P]||Xbbp 探测器 Pdw[#X<[` — 干涉条纹 < e7 建模/设计 4O'X+dv^I — 光线追迹:初始系统概览 pTk1iGfB — 几何场追迹加(GFT+): "+:~#&r 计算干涉条纹。 #F!'B|n 分析对齐误差的影响。 Z}4
`y"By y}!}*Qj+/ 2. 系统说明 ,1&</R_ >6"u{Qmr 参考光路 *WpDavovyB  A?/(W_Gt^M 3. 建模/设计结果 pt+[BF 6P h?ZxS iLD:}yK 4. 总结 b{wj4
p@+r&Mg%W" 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ds" q1 BV01&.<| 1. 仿真 &o$Pwk\p/ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 x-HN]quhe 2. 计算 9WhZ=
Xk 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 Z/hgr|&} 3. 研究 @>sZ'M2mq 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 c})f&Z@< XUp'wP 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 =vZF/r ~i y]X:U 应用示例详细内容 X,"(G}KUA 系统参数 26Jb{o9Z< 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 _M;M-hk/ - r!sY+Z> 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 bI"_hvcFp >2w^dI2 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 a2'f#[as ,aBo
p# 2. 说明:光源 o)pso\; 3.?kxac pZg}7F{$ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 a{FCg%vD) 因此,相干长度大于1m r1)@ 7Nt 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 yMoV|U6 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 _rU%DL? c_#+xGS!7
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IDIok~B=e 3. 说明:光源 c/Ykk7T9-- zZax![Z [R~`6 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Btgxzf 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 q/lQEfR 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 86AZ)UP2D 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 shAoib?Kw: 4. 说明:光学元件 U$,W/G}m Dxlpo!
?# JgmX=6N 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 C6T?D5 位相延迟平板材料为N-BK7。 -)p
S\$GC 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 6SGV}dAx 透镜材料为N-BK7。 ,p\:Z3{ZH 其中心厚度与位相平板厚度相等。 [,)G\ n+XLZf# \_w>I_=F 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 =h
Lw1~ BHZCM^ GWvw<`4 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 3\B28m 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 ,&5\`
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