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测量系统(MSY.0001 v1.1) KoOz#,() !EvAB+`jLI 应用示例简述 {DV_*5 , Rk9N 1. 系统说明 d`QN^)F0# I:=S0&%) 光源 }5ret — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 3lf=b~Zi) 元件 F6|TP.VY_. — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 $.Qkb@} 探测器 ]N~2 .h — 干涉条纹 z 9vInf@M 建模/设计 fe\mL mK9 — 光线追迹:初始系统概览 bBiE — 几何场追迹加(GFT+): !8TlD-ZT/ 计算干涉条纹。 4V{:uuI;f 分析对齐误差的影响。 bZ dNibN qrb[-|ie& 2. 系统说明 ;@mS^ik")$ {0[tNth'h 参考光路 4-l8,@9  Xe3U`P7( 3. 建模/设计结果 }fp-pe69z G4Q[Th .yMEIUm 4. 总结 i[O& )N,c
ncZ+gzK|" 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 NN%*b yK |-fgj' 1. 仿真 +>8'mf 以光线追迹对干涉仪的仿真。 X1DF*wI 2. 计算 wy<\Tg^J 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 `XJG(Oas\ 3. 研究 S-a]j;U 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 DF&(8NoX~ ny]?I 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 evya7^,F a[>/h3 应用示例详细内容 WltQ63u 系统参数 qFicBpB 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 yks__ylrl( _:ReN_0 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 =T3<gGM [meO[otb 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 o8 IL$: R8Wr^s>' 2. 说明:光源 `Syl:rU~y@ u0}vWkn\4 sv2A-Dld 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 mu\6z_e 因此,相干长度大于1m 1NbG>E#Ol 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 fJ=0HNmX 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 cb@?}(aFl D.r<QO~6B
`vU%*g&R Y@NNrGDkT* 3. 说明:光源 Rm2yPuOU}A im${3 >26 SU MrFd~ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 !`M,XSp( 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 *2ZjE!A 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 UBv,=v 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 nyX2|m& 4. 说明:光学元件 Fh)IgzFj 5u,{6 TeMHm?1^ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 eJrQ\>z]V& 位相延迟平板材料为N-BK7。 55G+; 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 JL`-0P<M 透镜材料为N-BK7。 v|Pv 03%?7 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ;/bewivNJ #{6{TFx\ %{7|1>8 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 3>3 Kwc~E q?Cnav`DY
|{&{ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 d.[8c=$ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 _H9 MwJ
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