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测量系统(MSY.0001 v1.1) =YS!soO ^G]KE8 应用示例简述 4v rm&k [X0k{FR 1. 系统说明 Z\ "Kd dbf^A1HI 光源 + TPbIRA — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) eyI-s9#t 元件
?K= gg< — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 \#h})` 探测器 31
KDeFg — 干涉条纹 nOA,x 建模/设计 TMnT#ypf<5 — 光线追迹:初始系统概览 VZ9e~){xA — 几何场追迹加(GFT+): T>AI0R3 计算干涉条纹。 IqR[&T)lj 分析对齐误差的影响。 G#_(7X& KDNTnA1c 2. 系统说明 "B_5Y&pM` D@/9+]-, 参考光路 7v4-hfN  rRF+\cP?. 3. 建模/设计结果 MY0[Oq cm= LaAgoarN 0C4*F 4. 总结 K-g=td/@ MSxU>FX0 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 q\{;_?a K284R=j -& 1. 仿真 ss|6_H = 以光线追迹对干涉仪的仿真。 >o=axZNa 2. 计算 m%BMd 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 AOvH&9** 3. 研究 juve9HaW 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 'xu7AKpU) j,gM+4V^ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 A61-AwvF8- qqO10~Xc 应用示例详细内容 6 ^6uK 系统参数 y7}~T!UyfF 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 7@e[:>e A-@-?AR 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 rsq'60 Vt$ $ceu 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 unbcz{&Hb[ | eVTxeq 2. 说明:光源 0zq\ j "~i#9L/H 6P/9Vh j' 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 CO6XIgTe 因此,相干长度大于1m *(XgUJq+ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 SquqaX+< 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 }gi`?58J6 ,M9hb<:m
# 8-P })yb
3. 说明:光源 aV92.Z_Ku @%5F^Vbd Hf E;$ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 _oyL*Cb 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 }~0{1& 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 (vYf?+Kb 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 "p_[A 4. 说明:光学元件 5Dh&ez`oR' :;gwdZ 7zOvoQ} 在参考光路中设置一个位相延迟平板。
fjeE. 位相延迟平板材料为N-BK7。 ROI$;B( 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 K`AW?p^$Y 透镜材料为N-BK7。 <P
Z\qE*+y 其中心厚度与位相平板厚度相等。 |Y,X=Ed #7E&16Fk fe]T9EDA 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 C J}4V!;| f<xt3 &b#NF1Q. 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 D\i8rqU/l 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 C ^ k3* N
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