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测量系统(MSY.0001 v1.1) z*jaA;# ~%=%5} 应用示例简述 5)XUT`;'){ VNT? 1. 系统说明 JRz)A4P B7'#8heDh 光源 K% FK — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) `B3-#!2X 元件 "}xIt)n%; — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 q:)PfP+ 探测器 }hg=#* — 干涉条纹 #2U# h-vI 建模/设计 59 g//;35@ — 光线追迹:初始系统概览 [XI:Yf — 几何场追迹加(GFT+): 0;><@{' 计算干涉条纹。 ?sdSi-- 分析对齐误差的影响。 0`7yPq* Mo N/?VA 2. 系统说明 :tO4LEb )-[$m% 参考光路 .qohHJ&  ps2j ]g 3. 建模/设计结果 c]x-mj = Z ;rM@x {0F/6GwUC 4. 总结 wg)Bx#>\L: BZ.l[LMp 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 {~O4*2zg;K %$zak@3%' 1. 仿真 [6RODp3') 以光线追迹对干涉仪的仿真。 *GXPN0^Qjo 2. 计算 _ s}aF 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 C)i8XX 3. 研究 Tf5m
YCk 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 uVD^X* bi}aVtG~z 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 wX2U
AP>n-Z| 应用示例详细内容 $s}w23nB 系统参数 i9Bh<j>:J 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 R- >~MLeK] ^wZx=kas 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 R[\1Kk(Zo Ng;?hT w 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 hzqgsmT) N,XjZ26 2. 说明:光源 VOr:G85*s 8%;Wyqdf] }X8P5c!\ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 (=u!E+N 因此,相干长度大于1m .u
ikte 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 V Zbn@1 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 nU{Qi;0 >ryA:TO{
q M_c-^F 1qAE)8ie 3. 说明:光源 IfB .2e` %pxJ2 7Q ^C~_}/cZ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 F;`c0ja] 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 mgH~GKf^ 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 V0A> + 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 2dHO!A$RF 4. 说明:光学元件 g"'BsoJ 2jhJXM=~ dr"$@ 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 ?;UR9f|! 位相延迟平板材料为N-BK7。
"[]oWPOj 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 ]Zh$9YK 透镜材料为N-BK7。 Q}\\0ajS) 其中心厚度与位相平板厚度相等。 O{3X`xAf 6FUcg40Y r$4d4xtK 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 PhuHfw4$y, dR=sdqS#J j<
h1s% 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 |PYyhY 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 W Pr:d
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