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测量系统(MSY.0001 v1.1) [X$|dOm'N kERaY9L\ 应用示例简述 [#
tT o;q @LkW_ 1. 系统说明 0N3tsIm> L[QI 5N 光源 mAYr<= — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) gR_b~^ 元件 )@lo ';\ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 x#}j3"
PP 探测器 ^$&"<
— 干涉条纹 ]~ g|SqPA@ 建模/设计 q=E}#[EgY — 光线追迹:初始系统概览 gne#v — 几何场追迹加(GFT+): ?:;hTY 计算干涉条纹。 pYi=q 分析对齐误差的影响。 w'!}(Z5X? pRk'GR]` 2. 系统说明 gS(: c. OL mBh3& 参考光路 .>gU
9A(Nk  1vR#FE? 3. 建模/设计结果 b$`4Nn| 45O6TqepN ).O2_<&?F 4. 总结 E{k%d39> te)g',#lT 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 ]TTJr C: !i"9f_ 1. 仿真 8L9S^ ' 以光线追迹对干涉仪的仿真。 pg}DC0a 2. 计算 V@+<,tjq 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 ;ZqD60%\ 3. 研究 Kjca>/id 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 tB(X`A.| !f]3Riw-=, 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 *i]Z= :EldP,s#x% 应用示例详细内容 WG[0$j 系统参数 ?'$.
-z: 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 3Ns:O2| lj}1'K@M 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 Om?:X!l" @}rfY9o' 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 k^%TJ.y@ xzf)_ < 2. 说明:光源 *.;}OX^X jQwg)E+o; c,s<q j 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 VT~
^:-] 因此,相干长度大于1m $}h_EI6hS 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 V{aIhH>P 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 <wGTs6 m5Laq'~0_
fO}1(%}d qaSv]k. 3. 说明:光源 1MzB?[gx v_F?x! 'w$we6f 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 &)'kX 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 w!Lb;4x ? 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 1~ZHC[ ` 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 -){^
Q:u 4. 说明:光学元件 gdn,nL`dP 5>k~yaju/ O7_NXfh| 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 w\Eve: 位相延迟平板材料为N-BK7。 E6IL,Iq9 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 1~iBzPU2 透镜材料为N-BK7。 u^eC 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ).#D:eO[~ T=KrT7 KqIe8bi^G 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 Vh-h{ #S74C*'8 -`<N, 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 V\lF:3C 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 gGz_t,=
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