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测量系统(MSY.0001 v1.1) ><dSwwu |eJ4"OPC 应用示例简述 z6$W@-Vd :FB#,AOa_ 1. 系统说明 m@)K]0g<f +:;r} 7Zh 光源 EG2NE,,r — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 4$@)yZ 元件 $#1i@dI — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 h`,dg%J*B 探测器 g*TAaUs|n — 干涉条纹 0 @~[SXR 建模/设计 @u#Tx% — 光线追迹:初始系统概览 \XD&0inv — 几何场追迹加(GFT+): (pNA8i%=G 计算干涉条纹。 nJNdq`y2 分析对齐误差的影响。 eo4;?z Pl9/1YhD/ 2. 系统说明
Q47Rriw 9;NR 参考光路 (%D*S_m'  %s6|w=.1 3. 建模/设计结果 {=VauF <: f jWy =rFgOdj 4. 总结 "z8L}IC!e5 q4C$-W%rj 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 |9$K'+' !7]4sXL{ 1. 仿真 !c(B c^ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 Y1vl,Yi 2. 计算 nJ<h}*[ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 |t5K!?{i 3. 研究 UEbRg =6 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移
T.]+T[}! sluR@[l 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 <nOK#;O) O'a
Srjl 应用示例详细内容 6&5p3G{%0 系统参数 TL lR"L5 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 r~N0P|Tq bX23F? 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 WLqwntzk gpB3\ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 7+ QD=j- cD{I*t$ 2. 说明:光源 a*@ 6G maW,YOyRN 7vax[,aI 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 3C{3"bP 因此,相干长度大于1m Rrmk\7/ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 [xXa3W 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 8T6.Zhv !B_i~Rmg
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?UuJk 3. 说明:光源 [9| 8p$ \}[{q T5(]/v,UT 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 uH 1%diL^ 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 GAG=4g 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 frV* + 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 jSNUU.lur 4. 说明:光学元件 4Rj;lAlwB *[K\_F?^h IO3`/R- 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 FaS}$-0 位相延迟平板材料为N-BK7。 [^sv. 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 t:y}
7un 透镜材料为N-BK7。 -ZwQL="t 其中心厚度与位相平板厚度相等。 CGmObN8~'F tg%s#lLeH mqxgrb7 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 >b9nc\~ c|?0iN `\!oY;jk 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Q(Q.( 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 6;"^Id
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