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测量系统(MSY.0001 v1.1) :U^!N8i"= 63hOK 应用示例简述 WzM9{c &,?bX]) 1. 系统说明 ~G0\57;h R"Ol'y{ 光源 0Q@
&z — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) @^g/`{j>J 元件 :',.I — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 XXuIWIhm 探测器 Az+}[t — 干涉条纹 j3j<01rq 建模/设计 v7rEUS- — 光线追迹:初始系统概览 3+6s}u) — 几何场追迹加(GFT+):
D{hsa 计算干涉条纹。 9 *>@s 分析对齐误差的影响。
;;z4EGr -Y]ue*k{ 2. 系统说明 oK;.|ja Cx>iSx 参考光路 xyGk\= S  W n*>h'R 3. 建模/设计结果 H,r> @Y YGp8./ma<I #{973~uj 4. 总结 qTM,'7Rwn !Pnvqgp/ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 c_#\'yeW fmH"&>Loc 1. 仿真 \A
gPkW 以光线追迹对干涉仪的仿真。 asT*Z"/Q! 2. 计算 ImJ2tz6 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 I[|5 DQ 3. 研究 =rBNEd 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 9|yn{4E 2{!o"6t 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 @eQIwz jYAD9v% 应用示例详细内容 F?b5 !<5 系统参数 r)$(>/[$ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 O+vuv,gNi ]^HlI4 z 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ]MjQr0&M Zy0u@`` 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ]IQTf5n 32[ lsU>1 2. 说明:光源 ;>?NH6B, lp`raNNo YGVj$\ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 N}0-L$@SL 因此,相干长度大于1m _8$arjx= 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。
LfD70r\ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 yLfb'Ba {Lj]++`fB]
M7R.?nk UR')) 1n 3. 说明:光源 9!hiCqA& c#eV!fl>& I$@0FSl 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 X) lz BM 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 w4YuijhW 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 VUF^ r7e 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 uY]nqb 4. 说明:光学元件 .
IBy' Y#3<w | /,XdTSy 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 PPiN`GM 位相延迟平板材料为N-BK7。 eR,ePyA; 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 rwb7>]UI"d 透镜材料为N-BK7。 {[V<mT2/ 其中心厚度与位相平板厚度相等。
?LU]O\p gzS6{570 m,i@ 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 qx3@]9 Y<lJj"G +{
Q]$b 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 EHByo[ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 1-`Il]@?8
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