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测量系统(MSY.0001 v1.1) gtIEpYN+ $wyPGok 应用示例简述 P4LiU2C "YAnGGx)LZ 1. 系统说明 %{Obhj;c }=B~n0 光源 * \B(- — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) =:t<!dp 元件 I%($,kd}s — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 1!yd(p=cL 探测器 o+L[o_er — 干涉条纹 ,L
MN@G 建模/设计 $$SJLV — 光线追迹:初始系统概览 7H|0. — 几何场追迹加(GFT+): G`/4n@ 计算干涉条纹。 6@"E*-z$ 分析对齐误差的影响。 AAqfp/DC =nO:R, U 2. 系统说明 H?FiZy*[Y ?2R!n"m-d 参考光路 lANi$
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O 9 b 3. 建模/设计结果 \y6Y}Cv aHb&+/HZ fqBz"l>5A 4. 总结 2bG92 pju*i6z 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 0:-z+`RHE NJmx(!Xsh 1. 仿真 Udf\;G@ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 !Pt4\ 2. 计算 L,!\PV| 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 zo("v*d*q 3. 研究 ,%qP 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 X]n`YF7 wp'[AR} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 %_!0V*X* HR?bnkv|id 应用示例详细内容 gI9nxy 系统参数 ?* r 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 SL`; `// deq5u> 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 )A6=P%;}>I X-Ev>3H 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 +t&+f7 ,izp^,` 2. 说明:光源 ,9"du e@]m@ xwW(WHdC] 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 etUfdZ 因此,相干长度大于1m S4c-i2Rq 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 &x=_n' 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 Ut C<TBr mM2I
f="Zpl W Z\]LG4N? 3. 说明:光源 8N$Xq\Da+> he@Y1CY wAgVevE 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 vO53?vN[m9 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 O_GHvLO= 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。
m5a'Vs 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 L]Xx-S 4. 说明:光学元件 t-n'I/^5 9$qw&j[ ]&B/rSC 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 9i
lJ 位相延迟平板材料为N-BK7。 0v6Z4Ahpo 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 osmCwM4O 透镜材料为N-BK7。 1HqN`])l/j 其中心厚度与位相平板厚度相等。 ~IPATG @[`]w`9Q7 gz uWhQo 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 m(dW["8D p&0 G 6
{F#_. 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Os].
IL$ 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 T~SkFZ
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