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测量系统(MSY.0001 v1.1) /Klwh1E ai#EFo+# 应用示例简述 d`({z]W; _[0Ugfz( 1. 系统说明 wKk h=`rZC
光源 [0/ ?(i| — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) (ter+rTv 元件 <Y~V!9(~{Q — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 kZUuRB~om 探测器 G?3S_3J2 — 干涉条纹 G <Lm} 建模/设计 7T4rx53 — 光线追迹:初始系统概览 Bfi9%:eG — 几何场追迹加(GFT+): I*K^,XY+ 计算干涉条纹。 e=8ccj 分析对齐误差的影响。 -7=pb#y f8[2$i*cL 2. 系统说明 07/5RFmJ #Sn&Wo 参考光路 o<V-gS 
9FWn 3. 建模/设计结果 <408lm yv$MQ~] YI%S)$ 4. 总结 ;R2(Gb >z[d~ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 m1daOeZ]P X 8[T*L. 1. 仿真 xl# j_d, 以光线追迹对干涉仪的仿真。 +|#:*GZ 2. 计算 !my5-f>{( 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 QL|Vke:N4 3. 研究 YJ1P5u: 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 s-8>AW
ep UAcABL^2 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ~PoGuj2wA ]^ RgzK 应用示例详细内容 <JKPtF2b 系统参数 ISq^V 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 _10#rucr YI\^hP# 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 fl)Oto7
-P.)
0d( 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 Ef?_d] J+.t\R 2. 说明:光源 8,B9y D 2<.}]yi uQ8]j .0 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 8,['q~z 因此,相干长度大于1m BA-n+WCWJ
此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 g|n Pr)< 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 `8'|g8,wb0 wHIS}OONz
lzwr]J%|? }F1^gN&QF 3. 说明:光源 Z ,T TI>P i$%V)pH~F 3}N:oJI$z 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 _oLK"*
[# 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 M4DRG%21 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 T.K$a\/{, 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 0} {QQB 4. 说明:光学元件 $
Q2|{* e@I?ESZ5 fY-{,+ `' 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 I[F.M}5:z 位相延迟平板材料为N-BK7。 koAc-o
所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 sS+9ly{9J 透镜材料为N-BK7。 gbSZ-
ej 其中心厚度与位相平板厚度相等。 x$A5Ved HPt" Xw![}L> 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 "}ZD-O`! l(<o,Uv[` .m+KXlP 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 ea B-u 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 f+F /`P%
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