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测量系统(MSY.0001 v1.1) \Y 4Z Q"0Q Y% 9F 应用示例简述 LK5H~FK pa73`Ca] 1. 系统说明 >Tx;<G 'Mqa2o'M 光源 {G&g+9c& — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) zPc;[uHT 元件 7y7y<`)I5 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Z.(x|Q9 探测器 _x{x#d;L3 — 干涉条纹 jG :R\D}0 建模/设计 a~"X.xT\R — 光线追迹:初始系统概览 ![tI(TPq — 几何场追迹加(GFT+): L,/i%-J3c 计算干涉条纹。 %%[TM(z 分析对齐误差的影响。 DyZ90]N pwC/&bu 2. 系统说明 Xlw=R2`)~ v a;wQ~& 参考光路 d2C:3-4  SLo/7$rct 3. 建模/设计结果 [{*#cr f F#wa)XH {r8CzJ'f 4. 总结 es]m 6A dY.uOafr 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Fgk/Ph3r M8 }M*\2 1. 仿真 B E)l77=/ 以光线追迹对干涉仪的仿真。 /B7
GH5 2. 计算 d`/{0 :F 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 [\yI<^_a 3. 研究 N';lc:Ah~ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 U s5JnP 5 AK =k@hT 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 Yv-uC}e ]0le=Ee^% 应用示例详细内容 -y(V- 系统参数 Nj\WvKG 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 W~FA9Jd'Z ^D|c 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 jw[`\h}8 ~s_$a8 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 W=m_G]"L y;jyfc$
` 2. 说明:光源 8<xy*=%
f7s.\ Vi_|m?E 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 !
N p 因此,相干长度大于1m L)5nb-qp 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 ~^*tIIOX 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 AtOB'=ph* Dr:}k*
&Te:l-x L8J/GVmj 3. 说明:光源 M{QNpoM <k!G%R<9 `L>'9rbZO 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 9P$'ON'" 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 u4'Lm+&O 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 d\f5\Y 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 z6qC6Ck| 4. 说明:光学元件 Su7?-vY n'H\*9t I"1\R8
R 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 TBco 位相延迟平板材料为N-BK7。 S}E@*t2h 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 V1G]LM 透镜材料为N-BK7。 C&T3vM 其中心厚度与位相平板厚度相等。 4C:YEX~ )".gjW8{#L i=4bY[y 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 oCrn r4s R5p]| ?cvv!2B]T 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 v\c3=DbO 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 aZRgd^4
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