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测量系统(MSY.0001 v1.1) )O2giVq7[0 RcMW%q$dG 应用示例简述 P+,\x&Vr Y7]N.G3,] 1. 系统说明 j`ggg]"&$ 5;C+K~Y 光源 = w_y<V4 — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) l 0jjLqm: 元件 WF-B=BRZ — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 jQC6N#L 探测器 ZGe+w]( — 干涉条纹 @T>)fKCg 建模/设计 uZ\ > — 光线追迹:初始系统概览 pZ%/;sxYa — 几何场追迹加(GFT+): #&5m=q$EI 计算干涉条纹。 {pE")O7~P 分析对齐误差的影响。 eHm! j+w*Absh 2. 系统说明 ;v*$6DIC5 bu,Z' 参考光路 Vv0dBFe  &ZClv"6 3. 建模/设计结果 <Y9((QSM4 f[!N]* d&PXJ
4. 总结 i~ PN(h ]?/[& PP, 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 _<=U.T` a
UAPh 1. 仿真 #4Xe zj,g* 以光线追迹对干涉仪的仿真。 uhbo/7d'7 2. 计算 +_3>T''_ 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 #Kn=Q 3. 研究 vZq7U]RW 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 M)!8`] m .le' & 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ;vc$;54K @;"HslU\Q 应用示例详细内容 v%VCFJ 系统参数 GG/~)^VMe 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 @G~T&6E! 4?jXbC k~x 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 ijw'7d|, {UT^pIP\ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 q{[}*% 6~ev5SD;f 2. 说明:光源 TGY^,H>J %AF~Ki ,3qi]fFLMe 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 L*6Tz'Qp 因此,相干长度大于1m r2]:'O6 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 1X.5cl?V 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 bu1O<* iL\<G}
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1;i[H[hNY LBk1Qw}- 3. 说明:光源 \=?f4*4|/ GE\@mu *pO >}\!'3)_ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 M@[{j 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 JVD#wwic 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 X8~cWW 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 '3 xvQFg 4. 说明:光学元件 lBvQ?CJ<y ?dVF@ w4<RV:Vmt 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 MW=2GhD= 位相延迟平板材料为N-BK7。 4(B{-cK 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 EGf9pcUEO& 透镜材料为N-BK7。 8j. 9Sk/ 其中心厚度与位相平板厚度相等。 BI?M/pIm CP)x; /0>Cy\eN0 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 ,9^wKS!7$ I
$!Y 2_6x2Ia4 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 '=EaZ>= 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 i:0~% X
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