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测量系统(MSY.0001 v1.1) mmG+"g$| =F5(k(Ds 应用示例简述 {?' DZR s kMz^37IFMG 1. 系统说明 C.
Hr ,9W|$2=F 光源 "?GA}e"R — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) ?_9A`LC*
元件 u<l[S — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 Rj9YAW$ 探测器 'Bp7LtG92 — 干涉条纹
K$dSg1t
建模/设计 ?E0j)P/
( — 光线追迹:初始系统概览 x2\,n — 几何场追迹加(GFT+): <m#ov G6 计算干涉条纹。 Eh)PZvH 分析对齐误差的影响。 !>{`o/dZ dtw4cG 2. 系统说明 cf#2Wg) 3U0>Y%m| , 参考光路 p#UrZKR  W0&NX`m 3. 建模/设计结果 8(euWS P"LbWZ6Nj Uv~r]P) 4. 总结 5
#)5Z8`X K"O+`2$ 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 w NlC2is >i %{5d 1. 仿真 T\VKNEBo 以光线追迹对干涉仪的仿真。 -rSpgk0wL 2. 计算 @Q;%hb 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 zU;%s<(p 3. 研究 )DS|mM) 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 [;`B ab5 a>w6} 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 &>zzR$#1 ?CgqHmf\\( 应用示例详细内容 Lj"@JF;c 系统参数 Nv@SpV' 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 B zmmE2~* x w8
e 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 2 5DXJb^: n
7Mab 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 '%.:97 8X,dVX5LT 2. 说明:光源 #"J8]3\F xx`xDD }&+b\RE 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 /gWaxR*m 因此,相干长度大于1m &eL02:[ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 &DQyJJ`k 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 o}q>oa b z N8!V%i?
_?"P<3/iF @N,(82k 3. 说明:光源 3mI(5~4A]? OIpkXM f;AQw_{ 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 Ah5`Cnv 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ]}t6V]`Q 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 wldv^n hM 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 M3m!u[6| 4. 说明:光学元件 dux.Z9X? N8hiv'3 }H^h~E 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 #NU@7Q[4 位相延迟平板材料为N-BK7。 0_F6t- 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 a_jw4"Sb 透镜材料为N-BK7。 Nm;yL 其中心厚度与位相平板厚度相等。 usj:I`> >KPxksFR8 7Gwn ,&) 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 b`a4SfbQS }q<p;4<\F ,%)O/{p_ 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 sIUhk7Cd8 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 L|B/'
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