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测量系统(MSY.0001 v1.1) KT71%?P ]s@8I2_ 应用示例简述 I/jr`3Mj Ui!|!V- 1. 系统说明 ASw|sw 5FI>T=QF 光源 rU@?v+i — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) 5i#w:O\cz 元件 jqWvLBU! — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 u$8MVP 探测器 g"S+V#R — 干涉条纹 ZiYzsn 建模/设计 {C6;$#7P — 光线追迹:初始系统概览 d|RmU/) — 几何场追迹加(GFT+): +Uq:sfj, 计算干涉条纹。 q)+n2FM 分析对齐误差的影响。 8 {%9%{ #9VY[< 2. 系统说明 W%K8HAP " 8T
)ELhTj 参考光路 I>Fh*2  D
;$+] 2 3. 建模/设计结果 agT[y/gb DW&')gfQ }#5roNH~Z 4. 总结 \3?;[xD fcXk]W 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 Z3>3&|& .MARF 1. 仿真 M|e
n>P 以光线追迹对干涉仪的仿真。 }A/&]1GWk 2. 计算 Yka&Kkw 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 1e&b;l'*= 3. 研究 !&p:=}s 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 sNmC#, l(\8c><m 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 M`pTT5r -01 1U! 应用示例详细内容 X3iRR{< @ 系统参数 E/$@ud|l" 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 B\>}X_\4 ]{+M>i[ 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 }SN44 di( }.V0SM6 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 ?mfWm{QTt {)9HS~e T 2. 说明:光源 @^6OV) ieRBD6_ ss@}Dt^ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 4m[C-NB!g 因此,相干长度大于1m &t|V:_?/x 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 J~'Q^O3@ 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 G|oB'~{& zn;Hs]G
^O Xr: P wp*&&0O! 3. 说明:光源 To{G#QEgG "q>I?UcZ .O%1)p 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 '7LJuMp$# 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 3et2\wOX1x 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 ~eOj:H 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 D)ne *}, 4. 说明:光学元件 2{]S_. zV 2T(,H.O +9
p`D 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 XvkI+c 位相延迟平板材料为N-BK7。 c]!D`FA*K 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 X)iWb(@k"7 透镜材料为N-BK7。 .6 ?>t!&W 其中心厚度与位相平板厚度相等。 #[0\=B- E<#4G9O< _
kSPUP5 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 iraRB~ kl3S~gE4@ CVSsB:H6e 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 OQL09u 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 1s}NQ3
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