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测量系统(MSY.0001 v1.1) bha_bj dHd{9ftyF 应用示例简述 9SMM%(3, r ]NsbV 1. 系统说明 H|75, !< i[WTp??Uv 光源 =}_c=z?UY — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) X~n Kuo 元件 k6G23p[9 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 8 rnr>Ee@ 探测器 d+"KXt5CV — 干涉条纹 D|_}~T>;& 建模/设计 N=:yl/M — 光线追迹:初始系统概览 ygT,I+7\ — 几何场追迹加(GFT+): Mt-y{*6!k 计算干涉条纹。 ]3 Mm"7` 分析对齐误差的影响。 .6 D~8f6Ko"m 2. 系统说明 /T*{Mo{B ;jI\MZ~l\ 参考光路 5.5dB2w  W6~<7 3. 建模/设计结果 Vv6xVX $mp7IZE| kD"dZQx 4. 总结 0H;dA1 1AA(qE 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 )e]:T4*vo m,]Tl;f 1. 仿真 F'|,(P 以光线追迹对干涉仪的仿真。 l.b 2. 计算 uK): d&]Ux 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 /`2VJw 3. 研究 := *>:*.Kb 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 9 Q].cDe[ ~5]AXi'e~ 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 b@5&<V;r2 `4l>%S8y: 应用示例详细内容 WV?iYX! 系统参数 I]ywO4 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Fv e,&~ ~+^,o_hT 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 3/]J
i^+ KasOh"W.P 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 JEFW}M)UGv _BcB@a 2. 说明:光源 h
:NHReMT 0qJ 3@d mX,#|qLf 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 D {>,2hC 因此,相干长度大于1m ^k u~m5v 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 _%<7!|" 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 j>0S3P, yf_<o
xp><7{ Ia>qVM0 3. 说明:光源 BAqu@F\): qWQJ> |(y6O5Y. 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 {jlm]< |