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测量系统(MSY.0001 v1.1) H^s SHj p-}:7CXP 应用示例简述 N+tS:$V q8D1MEBL` 1. 系统说明 ,|H!b%ZW M}vPWWcl 光源 :K~7BJ(HO — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) \<8!b{F 元件 w;_ Ds — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 u>eu47"n! 探测器 uqn Z — 干涉条纹 ZQ:Y5ph 建模/设计 l{R)yTO — 光线追迹:初始系统概览 p<jr&zVEc> — 几何场追迹加(GFT+): 3l^pY18H' 计算干涉条纹。 aJF`rLm 分析对齐误差的影响。 H0HYb\TX ? jQDxbkIuzE 2. 系统说明 -"<f( }8SHw|- 参考光路 ;CW$/^QNr5  ~!;3W!@(E 3. 建模/设计结果 D%A-& = YU`{ }u&JX 4. 总结 =VU2# O EAfSbK3z 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 7'I7 h(L5MZs 1. 仿真 )t4C*+9<U 以光线追迹对干涉仪的仿真。 BCbW;w8aI 2. 计算 $Yka\tS' 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 J]UHq$B 3. 研究 GyCpGP|AZ 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 u *<
(B c>g%oE 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 ".\(A f2 SS`C0&I@p 应用示例详细内容 j7d;1 zB+G 系统参数 X]!@xlwF\ 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 hqBRh+[ !8g
y)2 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 D6t]E)FH D4\I;M^ 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 R<=t{vTJ5 [wR8q,2
2. 说明:光源 eBB
D9SI 0TpA3K 2XtQ"`) 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 iCS/~[ 因此,相干长度大于1m m+g>s&1H
此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 [xPE?OD 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 f"Iyo:Wt cF2/}m]
H/$q]i*#K %?fzT+-=% 3. 说明:光源 7h2bL6Y88 ^Ram8fW 7L*`nU|h 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 U ~m.I 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 (R-Q9F+; 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 =Ug_1w 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 E` |qFG< 4. 说明:光学元件 l&B'.6XKs GLyh1qNX qZh~Ay6I 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 KfNXX>' 位相延迟平板材料为N-BK7。 ]@YQi<d2^ 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 9YABr>
? 透镜材料为N-BK7。 OxZ:5ps 其中心厚度与位相平板厚度相等。 B}X#oA m##=iB|; sXxO{aeev 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 "+&<Q d2 ;^]A@WN6_ rRYf.~UH@P 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 V{{x~Q9 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 &u-Bu;G.e
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