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测量系统(MSY.0001 v1.1) bo !] E(3+o\w 应用示例简述 <Bb<?7q$ld w$[Ds 1. 系统说明 `NWgETf^# O-!fOdX8_k 光源 9_A0:S9Z — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) vWi.[] 元件 X)iWb(@k"7 — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 .6 ?>t!&W 探测器 a.dxgW[ — 干涉条纹 7}tZ?vD 建模/设计 ZR-s{2sl — 光线追迹:初始系统概览 {F6dSF` — 几何场追迹加(GFT+): U>_\ 计算干涉条纹。 +b,31 分析对齐误差的影响。 e]*=sp!T
6:@t=C 2. 系统说明 90h1e7ZcC ['4\O43yv 参考光路 fzFvfMAU  9<(K6Q 3. 建模/设计结果 h6T/0YhWLP 8} ?Y;>s\ ci_v7Jnwo 4. 总结 e=n{f*KG` Y:"v=EhB 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 |`Oa/\U T:g4D z*2\ 1. 仿真 w^'?4M! 以光线追迹对干涉仪的仿真。 [
4Y
`O 2. 计算 97]a-)SA 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 (&P0la1 3. 研究 yhtvr5z1 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 VM]GYz|#] iy.%kHC 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 IzGB _D2bGZN 应用示例详细内容 D _bkUR1 系统参数 4`UL1)A] 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 Dd5xXs+c Yf!*OGF 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 +F7<5YW&( x'@32gv 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 inPdV9 ~[uV 2. 说明:光源 i#]aV]IT =, C9O NO+
55n 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 ^0`<k 因此,相干长度大于1m 3m43nJ.~ 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 &weY8\HD 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 DD@)z0W I| W'n-4Y
/Oggt^S R*Xu(89 3. 说明:光源 5U)ab3: !O F?xW U50s!Zt45 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 +w k]iH 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 ib(>vp$V 因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 @QVqpE<| 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 OB I+<2`Oc 4. 说明:光学元件 ];pf P>{US1t J+}+"h~. 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 FI1THzW4J 位相延迟平板材料为N-BK7。 e' U"`)S 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 bSrRsgKvT 透镜材料为N-BK7。 |-(IJG#) 其中心厚度与位相平板厚度相等。
b(}Gm@# '9*5-iO c7+Djqs 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 e$Xq mFqSD +9CEC1-l 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 <$i"zb 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 >Lw}KO`
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