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测量系统(MSY.0001 v1.1)
sCRmLUD ^: V6= 应用示例简述 BxXP]od 8IihG
\ 1. 系统说明 0o&c8?@j X7 fJ+Cn 光源 'ul~f$
V — 氦氖激光器(波长632.8nm;相干长度>1m) @I0[B<,:G 元件 h<f]hJ`ep — 分束器和合束器,消色差准直透镜系统,位相延迟器,待测球面透镜 %-, -:e 探测器 T#G
(&0J5 — 干涉条纹 VTJ,;p_UH 建模/设计 2/G`ej!* — 光线追迹:初始系统概览 zF=E5TL-,4 — 几何场追迹加(GFT+): )XL}u4X 计算干涉条纹。 Z^vcODeC$ 分析对齐误差的影响。 =5X(RGK 0RGSv!w 2. 系统说明 wfF0+T+IA Mhj.3nN 参考光路 D4CiB"g3* 
3SWO_ 3. 建模/设计结果 tm280 C{Er% Wfyap)y 4. 总结 3eS
*U`_ xs3t~o3y 马赫泽德干涉仪的干涉图样的计算 niP/i qx3`5)ef 1. 仿真 3a]Omuu|= 以光线追迹对干涉仪的仿真。 ax+P)yz 2. 计算 V9i[dF 采用几何场追迹+引擎以计算干涉图样。 $X:r&7t+Q[ 3. 研究 h$y0>eMWs 不同对齐误差在干涉图上的影响,如倾斜和偏移 YF<;s^&@u /MQI5Djg 利用VirtualLab软件可对马赫泽德干涉仪生成的干涉图案进行研究分析。 a6fqtkZ x `(7HFq<N 应用示例详细内容 F`\7&'I 系统参数 /5c;,.hm1R 1. 仿真任务:马赫泽德干涉仪 ^(8(z@y \a6knd 通过使用这种干涉仪设置,可测量两完全相同光束线间的相对相移。 G_UxR9Qo h q&2o 这使得可以对一个样品元件引起的相移进行研究。 XQ]5W(EP ;F!wyTF>} 2. 说明:光源 89{@ 2TXR 6~j.S
" K1K3s<y+ 使用一个频率稳定、单模氦氖激光器。 >B9|;,a 因此,相干长度大于1m $5)ZaYx< 此外,由于发散角很小,所以不需要额外的准直系统。 e)2s2y@zi 在入射干涉仪之前,高斯波以瑞利长度传播。 cp7Rpqg <_"^eF+fZ
3bp'UEF^k 'YcoF;&[C 3. 说明:光源 aZMMcd -K K)}I` g^EkRBU 采用一个放大因子为3的消色差扩束器。 4d*=gy% 扩束器的设计是基于伽利略望远镜。 s*U~Q=Z
因此,在光学表面序列(OIS)中结合了一个扩束和准直系统。 szy^kj^2 与开普勒望远镜相比,在扩束系统中不会成实像。 DxLN{g]B 4. 说明:光学元件 eQUm!9) .v3~2r*& P|OjtI 在参考光路中设置一个位相延迟平板。 AW+q#Is 位相延迟平板材料为N-BK7。 XfXqq[\N 所研究的元件为球面镜,其曲率半径为100mm。 do:3aP'S, 透镜材料为N-BK7。 :>K=kZ=k 其中心厚度与位相平板厚度相等。 *MEDV1l_T 0V&6"pF_Y' 7]~65@%R-& 5. 马赫泽德干涉仪光路视图 {u}Lhv mqg[2VTRP XY;cz 增加消色差系统和分束器距离是为了使3D视图更加清晰(可在光路编辑器中实现)。 Y4 Y;xK" 由于VirtualLab的相对位置系统,必须设置Z轴方向的距离。 -nQ :RHnd
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