本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 :s-9@Yl|
M23r/eg]
在PMMA上镀CR3C2 Y;
to9Kv$
通的气体是AR,C2H2 <jM
{ <8-
分光:75%`T Y zmMF
不导电\ P^ <to(|
黑色 !E)|[:$XT
机器:磁控溅射 Ji6.-[:
Tb8r+~HK
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 Ap4.c8f?Q-
但做出来不是黑色,而是黄棕色, x]3[0K5;
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? "{ Y6.)x
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? j5]ul!ji
Hk(=_[S
谢谢!!
