本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 b o6d)Q
Z)I+@2
在PMMA上镀CR3C2 "3X2VFwoJ
通的气体是AR,C2H2 = 6j&4p
`
分光:75%`T Mo| ;'+
不导电\ [T8WT hs
黑色 u(z$fG: g
机器:磁控溅射 L7n D|
;,hwZZ A
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 F |'>NL-=
但做出来不是黑色,而是黄棕色, kjTduZ/3 "
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? Y xr>"KH6a
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? Tm~" IB*
T;Lkaxsn
谢谢!!
