本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 {NgY8wQB
AiK4t-
在PMMA上镀CR3C2 ':)j@O3-
通的气体是AR,C2H2 ^l&4UnLlc
分光:75%`T [(EH
不导电\ w]o5L
黑色 6F/
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机器:磁控溅射 \ZWmef
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FYJQ90it
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 <SdJM1%Qo
但做出来不是黑色,而是黄棕色, M;V#Gm
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? $'{`i5XB
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? 00a<(sS;
6v O)s!b
谢谢!!