本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 o~4kJW #
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在PMMA上镀CR3C2 >>y\idg&:
通的气体是AR,C2H2 P-yVc2YH
分光:75%`T ! Zc#E,
不导电\ -sDl [
黑色 GH3RRzp r
机器:磁控溅射 ka(3ONbG
Y(T$k9%}+
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 ,LLx&jS
但做出来不是黑色,而是黄棕色, 5s4x%L (~}
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? I?\P^f
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? Ax O.adQE%
2sEG# /Y=
谢谢!!
