本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 +<ey
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在PMMA上镀CR3C2 Uq6..<#
通的气体是AR,C2H2 :Y [r^=>
分光:75%`T VmB/X))
不导电\ +6{KrREX)
黑色 R%Yws2Le2
机器:磁控溅射 o;JBe"1
'4A8\&lQO
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 J)n g,i
但做出来不是黑色,而是黄棕色, STmCj
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? !lF|90=
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? G?/1
F1
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谢谢!!