本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 e&dE>m
P5;LM9W
在PMMA上镀CR3C2 gY AXUM,
通的气体是AR,C2H2 g-=)RIwm
分光:75%`T $|v_ pjUu]
不导电\ R9SJ;TsE
黑色 Ti/t\'6
机器:磁控溅射 )u7*YlU\I
8y}9X v
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 uLYz!E+E
但做出来不是黑色,而是黄棕色, Dc |!H{Yr
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? `BKo`@
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? X{rw+!
daT[2M
谢谢!!