本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 {r Gx*<e
ioZ2J"s
在PMMA上镀CR3C2 Ouj5NL
通的气体是AR,C2H2 ]^s4NXf+
分光:75%`T Tux~4W
不导电\ a+MC[aFr
黑色 <{'':/tXI
机器:磁控溅射 Rq;R{a
p{.EFa>H
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 %bddR;c
但做出来不是黑色,而是黄棕色, #ujcT%1G
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? \A':}<Rj
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? nwz}&nR
xe
6x!
谢谢!!