本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 nN{dORJlx
pv$tT Wk
在PMMA上镀CR3C2 \j:gr>4
通的气体是AR,C2H2 ATO
5
分光:75%`T Ff/Ig]Lb
不导电\ T8q[7Zn
黑色 a"qR J-@
机器:磁控溅射 u[`v&e
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本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 lV7IHX1P
但做出来不是黑色,而是黄棕色, ` !kL1oUYE
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? 7&t~R}&|
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? xT+
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谢谢!!
