本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 C*G=cs\i
{H{X[p8
在PMMA上镀CR3C2 .n=Z:*JqQ
通的气体是AR,C2H2 o'$jNciOW
分光:75%`T T_lsGu/
不导电\ 2m~V{mUT!
黑色 w ` DW(hXJ
机器:磁控溅射 >G 'SbQ8
VnT>K9&3
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 W'on$mB5<
但做出来不是黑色,而是黄棕色, ,p9i% i
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? A%2:E^k(s
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? .E@|D6$D
10#f`OP C
谢谢!!
