本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 ]h@:Y]
Zv7)+Q
在PMMA上镀CR3C2 vj0?b/5m
通的气体是AR,C2H2 *%sYajmD
分光:75%`T %)V3QnBO
不导电\ hiuPvi}
黑色 ;oE4,
机器:磁控溅射 |05LHwb>
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本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 uM#/
但做出来不是黑色,而是黄棕色, k/O&,T77}J
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? dx}!]_mlZ
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? 1cega1s3xR
qsx1:Ny1
谢谢!!