本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 sEx`9_oZ
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在PMMA上镀CR3C2 6XI$ o,{
通的气体是AR,C2H2 Lz=GA?lk[\
分光:75%`T G$E+qk
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不导电\ 1 Wb_>`;
黑色 9Bi{X_.9
机器:磁控溅射 L)3JTNiB
&5Huv?^a'
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 4_d'Uh&]
但做出来不是黑色,而是黄棕色,
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想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? ?btZdnQ))S
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? {xCqz0
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谢谢!!
