本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 BpE[9N
M-t9zT
在PMMA上镀CR3C2 8t; nU;E*
通的气体是AR,C2H2 2US8<sq+
分光:75%`T *i90[3l
不导电\ ? ~8V;Qn
黑色 r]{: { Z
机器:磁控溅射 ;pq4El_
o*VQH`G*|g
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 ]F! ,Jx
但做出来不是黑色,而是黄棕色, g5`YUr+3?h
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? =*N(8j>y
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? iLei-\w6y
I.x>mN -0
谢谢!!
