本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 <E D8"~_
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在PMMA上镀CR3C2 d\v$%0
通的气体是AR,C2H2 *>E I2HX
分光:75%`T 1_N~1Ik
不导电\ kA?X^nj@
黑色 W A tg
机器:磁控溅射 }@3Ud '
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本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 H+S~ bzz
但做出来不是黑色,而是黄棕色, }v_p gatC
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? &?P=arU
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? ;b, -$A
hu bfK~
谢谢!!
