本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 vmT6^G
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在PMMA上镀CR3C2 j%E9@#
通的气体是AR,C2H2 \t]aBT,
分光:75%`T p0j-$*F
不导电\ _ +A$6l
黑色 g<N3 L [
机器:磁控溅射 `pYL/[5
^HNccr
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 vX"jL
但做出来不是黑色,而是黄棕色, v$bR&bCT
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? _@ @"'
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? \DRYqLT`
vKNxL^x
谢谢!!