本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 HE;}B!>
04K[U9W3
在PMMA上镀CR3C2 [>2iz
通的气体是AR,C2H2 IhIz 7.|
分光:75%`T Kyf,<zF
不导电\ Qm-I=Rh+
黑色 RP@U0o
机器:磁控溅射 )8cb @N
Uuxx^>"h\
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 jmp0 %:+L
但做出来不是黑色,而是黄棕色, "QKCZ8_C
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? N)I9NM[
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? :w!A_~ w2
TpAE 9S
谢谢!!