本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 "?3=FBp&
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在PMMA上镀CR3C2 -`k>(\Q<d
通的气体是AR,C2H2 bu _ @>`S
分光:75%`T R
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不导电\ N ^rpPq
黑色 p<r<Y%
机器:磁控溅射 hc|A:v)]
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本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 Qjj }k)
但做出来不是黑色,而是黄棕色, c6xr[tc%
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? (WT\HR
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? _k2R^/9Ct%
gLv+L]BnhH
谢谢!!