本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 &1Y+ q]
} K*ri
在PMMA上镀CR3C2 VqbiZOZ@
通的气体是AR,C2H2 Et l7V
分光:75%`T +?.,pq n<=
不导电\ PN'8"8`{
黑色 } 2\"(_
机器:磁控溅射 <5X@r#Lz
`2@-'/$\I|
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 mD=?C
但做出来不是黑色,而是黄棕色, C$tSsw?A
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? hV,3xrm?P
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? t
=*K?'ly
FdSa Ood8
谢谢!!
