本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 Ry+Ax4#+(y
l[)ZEEP
在PMMA上镀CR3C2
equ TKM
通的气体是AR,C2H2 n,.ZLuBEX
分光:75%`T F_ Cp,
不导电\ 2G4OK7x
黑色 >gqd
y *Bg
机器:磁控溅射 7j
<:hF~
/6$ 8djw
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 R"0fZENTG
但做出来不是黑色,而是黄棕色, Le*s Luxk<
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? p O~lVM
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? Mr8r(LGY
U <|h4'(@L
谢谢!!
