本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 U&Atgv
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在PMMA上镀CR3C2 R1Q,m
通的气体是AR,C2H2 rwW"B
分光:75%`T #?D[WTV
不导电\ 2G5|J{4w
黑色 3*j1v:x`
机器:磁控溅射 mAW(j@5sp
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本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 +lFBH(o]X
但做出来不是黑色,而是黄棕色, =MM+(mD
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? '-I\G6w9
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? Iix:Y}
F=*t]X[z}
谢谢!!