本人在做一个项目,以下是要求,望有知情人士给点建议 }-k_?2"A
;+#za?w
在PMMA上镀CR3C2 3:z4M9f
通的气体是AR,C2H2 k1@
A'n
分光:75%`T
QmDhZ04f
不导电\ `t/@ L:
黑色 kfG 65aa>_
机器:磁控溅射 gXJ19zB+
Gh chfI.
本人做了一炉,气体流量为:AR:C2H2=50:50 UGezo3}
但做出来不是黑色,而是黄棕色, 96([V|5K
想问的是怎么样才能得到黑色,改气量行不行?还是这种方法根本就不能得到黑色,? A$$R_3ne
SIAL用AR溅射能得到黑色吗? _tWfb}6;Zb
9 Le/'o vq
谢谢!!