1. 描述 EX+,:l\^ ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 r@yD8 D \ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 eC;!YGZ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 RG&6FRoq
{>h97}P 2. 系统 y?Onb3% .it2NS 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
x9~[HuJ 3. 透镜系统组件编辑 e3g_At\
>C# kqxfg
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]-a{IWVN
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 E(;i>
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 L+t[&1cW
■ 包括序列光学表面和光学介质。 sUbFRq
OX^3Q:Z= m8HYWzN 4. 光线追迹系统分析器-选项 ;ctU&` 7k~Lttuk [ f34a
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 s7"i.A
■ 可以选择选取光线的方法: 'hF@><sqk
— 在x-y-网格 ($SLb6
— 六边形 1eD.:_t4
— 自由选取 |Euus5[
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 \8>oJR 6 ;UpJ=?W 5. 系统的3维视图 )x[HuIRaa J=9 #mOcg"
T>F9Hs W 6. 其他系统参数 3e
73l ■ 系统由单色平面波照明 o\goE^,aeR ■ 照明波长266.08nm 0m&3?"5u ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: c&m9)r~zP — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 oCuV9dA. — 一个虚拟屏位于焦平面 o|rzN\WJn — 光束尺寸探测器置于焦平面 k!owl+a
■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 DEtf(lW_ gt@SuX!@{^ u(2BQO7 y<*-tZV[ wDw<KU1UK 7. 光线追迹系统分析器的结果 tN2 W8d {i;6vRr 光线经过整个光学系统的三维视图
8[R1A 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
D:m#d.m FUqt)YHi h'!V8'}O? ]! )xr SH=:p^J sUciFAb 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 (}jL_E RUX8qT(Z -_|]N/v\
■ VirtualLab可用于计算点列图。 HsH<m j
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 q~h:<,5
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )E-E0Hl>7
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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n_P(k-^U* 9. 焦平面上的结果
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 "teyi"U+
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !g2a|g
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 2GUupnQkD
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 Abf1"#YImy
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 h>W@U9 2-s 7cXs 10. 总结 >a@>N ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @\PpA9ebg% ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 85hQk+Bu4 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jsdBd2Gdc ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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