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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 EX+,:l\^  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 r@yD8D \  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 eC;!YG Z  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 RG&6FRoq  
    {>h97}P  
    2. 系统 y?Onb 3%  
    .it2NS  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    x9~[HuJ  
    3. 透镜系统组件编辑 e3g_At\  
    >C# kqxfg  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ]-a{IWVN  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 E(;i>   
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 L+t[&1cW  
    包括序列光学表面和光学介质。 sUbF Rq  
    OX^3Q:Z=  
    m8HYW zN  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 ;ctU&`  
    7k~Lttuk  
    [ f34a  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 s7"i.A  
    可以选择选取光线的方法: 'hF@><sqk  
    — 在x-y-网格 ($S Lb6  
    — 六边形 1eD.:_t4  
    — 自由选取 |Euus5[  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    \8>oJR 6  
    ;UpJ=?W  
    5. 系统的3维视图 )x[HuIRaa  
    J=9#mOcg"  
    T>F9Hs  W  
    6. 其他系统参数 3e 73l  
    系统由单色平面波照明 o\goE^,aeR  
    照明波长266.08nm 0m&3?"5u  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: c&m9)r~zP  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 oCuV9dA.  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 o|rzN\WJn  
    光束尺寸探测器置于焦平面 k!owl+a   
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 DEtf(lW_  
    gt@SuX!@{^  
    u(2BQO7  
    y<*-tZV[  
    wDw<KU1UK  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 tN2 W8d  
    { i;6vRr  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    8[R1A  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    D:m#d.m  
    FUqt)YHi  
    h'!V8'}O?  
    ]! )xr  
    SH=:p^J  
    sUc iFAb  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 (}jL_E  
    RUX8qT(Z  
    -_|]N/v\  
    VirtualLab可用于计算点列图。 HsH <m j  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 q~h:<,5  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 )E-E0Hl>7  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .eY`Ri<3t  
    n_P(k-^U*  
    9. 焦平面上的结果 iRs V#s  
    ! Rvn'|!  
    (Fqa][0  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 "teyi"U+  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !g2a|g   
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 2GUupnQkD  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 Abf1"#YImy  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    h>W@U9  
    2-s7cXs  
    10. 总结 >a@>N  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 @\PpA9ebg%  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 85hQk+Bu4  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 jsdBd2Gdc  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 \JU{xQMB  
     
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