1. 描述 I)B+h8l72< ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 )5479Eb_ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Hj>(kL9H ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 d3nMeAI AO
X &z|im'd 2. 系统 *" ("^_x\ gyt[ZN_2 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
\x,q(npHi 3. 透镜系统组件编辑 v|WT m#
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Y M<8>d
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "zn<\z$l
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 t8}R?%u
■ 包括序列光学表面和光学介质。 UcHe"mn
us,!U mO6rj=L^ 4. 光线追迹系统分析器-选项 /{[Y l[{"< r}-si^fo; [%);N\o2Y
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 aw\\oN*
■ 可以选择选取光线的方法: >;$C@
— 在x-y-网格 Vw^2TRU
— 六边形 V+A9.KoI
— 自由选取 JBYmy_Su
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 /f5*KRM &$1ifG 5. 系统的3维视图 . paA0j rF3QmR?l
``zgw\f[% 6. 其他系统参数 Cj,Yy ■ 系统由单色平面波照明 \I@hDMqv ■ 照明波长266.08nm &y7<h>z ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: al<;*n{/ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 o*[n[\cR — 一个虚拟屏位于焦平面 _VjfH2Y — 光束尺寸探测器置于焦平面 VP7g::Ab ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 wb#ZRmx} AqdQiZ^9 ,R-T( <r ,EE,W0/zzM nOH x^( 7. 光线追迹系统分析器的结果 \4/zvlo]h u%o]r9xl' 光线经过整个光学系统的三维视图
8NE+G.:G 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Yq$KYB j 2ncD,@ij ^Uj\s / !T'`L{Sj 2@A%;f0Q zF)&o} 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 D?Mj<|| l"{1v~I I)JqaM
■ VirtualLab可用于计算点列图。 nQtp 4
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |g$n-t
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 cbton<r~
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
>!D^F]CH
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Zcpx 9. 焦平面上的结果 nT;Rwz$3
KBe\)Vs
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ,:E*Mw:
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <Lt%[dn
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm sa7F-XM
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 T"b'T>Y
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 -->~<o 9GV1@'<Y] 10. 总结 t1Zcr#b> ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 5}+&Em": ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Cwh*AKq( ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #Ns]l< ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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