1. 描述 $z+iB;x ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 61Nj&1Ze ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 %&yD^q_ ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 u|=G#y;3
X"W%(x`w 2. 系统 :ji_dQ8k W.ud<OKP90 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
9Osjh G 3. 透镜系统组件编辑 FG~p_[K
l|ZwZix
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ~$f+]7
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 +0=u]
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qphN
■ 包括序列光学表面和光学介质。 qoMYiF}/e
r6Z&i^cMe xyx.1o
e! 4. 光线追迹系统分析器-选项 6:B[8otQ O!zH5 i6r%;ueLb
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 >.PLD} zE_
■ 可以选择选取光线的方法: DT(A~U<y
— 在x-y-网格
:XF;v
— 六边形 _{,e-_hYM
— 自由选取 ' R~x.NM
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 #HB]qa El0|.dW 5. 系统的3维视图 D<}KTyG] Aa.bE,W
Ol"p^sqwj 6. 其他系统参数 R3&W.?C
T ■ 系统由单色平面波照明 1d|+7 ■ 照明波长266.08nm x!MYIaZ7 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: " 9 h]P^ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hp,bfcM — 一个虚拟屏位于焦平面 '(kGc% — 光束尺寸探测器置于焦平面 J`uV $l: ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 >&e|ins^N
4'?kyTO~ znFa4 +Ld4e] )fpZrpLXE 7. 光线追迹系统分析器的结果 Wze\z
O@'/B" & 光线经过整个光学系统的三维视图
?W9$= 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
m/JpYv~ W<xu*U(A nv*q
N\i' -j`tBv) `3SY~&X 55Y BO$
8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ON~SZa "D2`=D!+ X.}:gU-
■ VirtualLab可用于计算点列图。 7d]}BLpjWz
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8{ 8J(~
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 lDnF(
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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* h!gjbi 9. 焦平面上的结果 /w^}(IJ4
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 U
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■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 3E$M{l
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 7](,/MeGG
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 [
p$f)'
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 b
lP@Cn2 J70#pF 10. 总结 7+0Kg'^+n ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [fiB!G]? ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 {Iy<iV ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @e8b'w3 ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
ijEMS1$=7