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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 n=bdV(?4  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 M;,$ )>P  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 k}Q<#   
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 D[#V  
    M:{Aq&.  
    2. 系统 ];4!0\M  
    FOk;=+  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    as!a!1  
    3. 透镜系统组件编辑 !{ (Bc8 hT  
    Z#L4n#TT  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 W.?/p~  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Z i.' V  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 i/%l B  
    包括序列光学表面和光学介质。 9i}$245lB  
    Pv/ v=s>X  
    giX[2`^NG  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 |Ia9bg'1U  
    GPK\nz}  
    r+8D|stS  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 GaG>0 x   
    可以选择选取光线的方法: [GI~ &  
    — 在x-y-网格 Xs2 jR14`  
    — 六边形 0Zi+x#&d  
    — 自由选取 T"W<l4i-  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    t+iHsCG)>  
    1QG q;6\  
    5. 系统的3维视图 5C9b*]-#  
    ?nGiif  
    8zD>t~N2C  
    6. 其他系统参数 fDf[:A,8  
    系统由单色平面波照明 gK`w|kh`  
    照明波长266.08nm qrYbc~jI7  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: PnA{@n\  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ]|.ked  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 9+^)?JUYll  
    光束尺寸探测器置于焦平面 xBVOIc[4(  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3WJk04r  
    ERV]N:(  
    d@$| zr6  
    > 0MP[  
    'R79,)|;[  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 { uaDpRt  
    2URGd#{VQ  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    iVI&  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    oCa Ymi=:  
    #f2k*8"eAF  
    j)mU`b_  
    )N&SrzqTK  
    !S':G  
    #5@(^N5p`  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1+; bd'Ie  
    II=`=H{  
    Ak9{P`  
    VirtualLab可用于计算点列图。 N|DI k  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 qjP~F  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 mvEhP{w  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 WMf / S"=  
    2{rWAPHgz  
    9. 焦平面上的结果 vPNbV  
    })/P[^  
    K$,Zg  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 T(D6'm:X  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 rUb{iU;~m  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm ZL6HD n!  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 gu(:'5cX  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    /:4J  
    d&FXndC4F  
    10. 总结 c,~uurVi  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3U@jw,K!{A  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 )[Tm[o?Y.  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Dt: Q$  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 SH?McBxS  
     
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