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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 _/$Bpr{R  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 J1|\Q:-7p  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ^zmG0EH,  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 Qj.#)R  
    G6P?2@  
    2. 系统 .V/Rfq  
    A RuA<vQ  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Gr'  CtO  
    3. 透镜系统组件编辑 zT.7  
    D,*3w'X!K  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 85$m[+md  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 {X+3;&@  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 L.2^`mZs  
    包括序列光学表面和光学介质。 -UEZ#Q  
    )p0^zv{  
    !u[9a;Sa#  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 $y&E(J  
    +F` S>U  
    #aJ(m&  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 faX#**r  
    可以选择选取光线的方法: T^t# c  
    — 在x-y-网格 DB|Y  
    — 六边形 *b}HNX|  
    — 自由选取 w~A{(- dx  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    YeL#jtC  
    Dlae;5 D  
    5. 系统的3维视图 X6X $Pve  
    :yr+vcD?  
    =pO^7g  
    6. 其他系统参数 ;>yxNGV`  
    系统由单色平面波照明 gIa+5\qYY  
    照明波长266.08nm ZR B)uA)5=  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: Y@vTaE^w3  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 Y|f[bw  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 ,, OW  
    光束尺寸探测器置于焦平面 5E;qM|Ns  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 c /HHy,  
    xb~yM%*c  
    EStB#V^  
    ,X-bJA@(  
    O)*+="Rg  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 9gDkTYkj  
    2B[X,rL.pX  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ?m}s4a  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    TH&U j1  
    n u[ML  
    rk2j#>l$4  
    m@2QnA[ 4  
    '(f*2eE:  
    ,+DG2u  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 O7m(o:t x3  
    ^R7lom.  
    QL&ZjSN  
    VirtualLab可用于计算点列图。 -`kW&I0  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 ^e_hLX\SW  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 wr/"yQA]  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 HZC"nb}r4  
    3 *"WG O5  
    9. 焦平面上的结果 QvlObEhcS  
    2\MT;;ZTZ  
    rNWw?_H-H(  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 %9F([K  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 u<tbbKM  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm WUe{vV#S'0  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 +US!YU  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    !Y0Vid  
    I by\$~V  
    10. 总结 !*d I|k  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 TOB-aAO  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 x:NY\._  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 r1`x=r   
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 SumF  2  
     
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