1. 描述 dh,7iQ
s ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 @}{VM)Fc+ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 bgXc_>T6_y ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 V,'FlU
"j;!_v>=f` 2. 系统 ZArf;&8 % NwoU%q 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
:\T_'Shq 3. 透镜系统组件编辑 WFks|D:sB
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■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 6KBHRt
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 N>T=L0`
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 vev8l\
■ 包括序列光学表面和光学介质。 w5=EtKTi
Ae3#>[]{ ^f"&}%" M 4. 光线追迹系统分析器-选项 vKV{
$| 3g+\?L-c l>33z_H^
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 xKisL=l6Y
■ 可以选择选取光线的方法:
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— 在x-y-网格 k.ww-nH
— 六边形 &A#90xzF
— 自由选取 l9,w>]s
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 uof0Oc. JCBnFrP 5. 系统的3维视图 ob)D{4B' nFSG<#x\
|Yg}WHm 6. 其他系统参数 (jt*u (C&Y ■ 系统由单色平面波照明 ec,z6v^9 ■ 照明波长266.08nm E ,Dlaq ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: ~MD><w> — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 ;2 \<M6 — 一个虚拟屏位于焦平面 a:wJ/ p — 光束尺寸探测器置于焦平面 VdYOm ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 jR}*bIzv J78Qj[v "otr+.{`* aj+zmk~- i,^>uf 7. 光线追迹系统分析器的结果 6YB-}>? 8VKb* 光线经过整个光学系统的三维视图
XWJ0=t&} 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
4{uJ||! G;Pt|F?c vQE` c@^{ `\6 +z WIhIEU7 / $XtV8 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 4d,qXSKty MX%|hIOpr zV9
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■ VirtualLab可用于计算点列图。 pvK \fSr
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $v2S;UB v*
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 Sf#\6X<B
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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jLpgWt`8)E 9. 焦平面上的结果 OsDp88Bc
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 :cIu?7A
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 R
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■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ixoMccU0
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 U<#$w{d:
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 ~{kA) : pO@k@JZ 10. 总结 /i\uwa, ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 h Js&rpN ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 qhv4R| ) ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 c9>8IW ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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