切换到宽版
  • 广告投放
  • 稿件投递
  • 繁體中文
    • 2005阅读
    • 0回复

    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

    上一主题 下一主题
    离线infotek
     
    发帖
    7101
    光币
    29646
    光券
    0
    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 ; Q 6:#  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :5*<QJuI#A  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )F$Stg3e  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 sY6'y'a95  
    'pe0Q-  
    2. 系统 !6%G%ZG@3-  
    ZF t^q /pw  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    q@sH@-z4]  
    3. 透镜系统组件编辑 J6%op{7/  
    x$Oz0[  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ' " tieew  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 K$]QzPXS  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 R:xmcUq} (  
    包括序列光学表面和光学介质。 {Psj#.qP1  
    Ck:J  
    \k,bz 0  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 &7W6IM   
    ^0&] .m  
    j41:]6  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "pPNlV]UA^  
    可以选择选取光线的方法: [>:gwl _\  
    — 在x-y-网格 >YfOR%mS4  
    — 六边形 |pgkl`  
    — 自由选取 I;v`o{  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    cR&xl^BJ  
    #TWc` 8  
    5. 系统的3维视图 0?7uqS#L  
    )2$_:Ek  
    o{he) r6)_  
    6. 其他系统参数 II8nz[s  
    系统由单色平面波照明 (lnQ!4LK  
    照明波长266.08nm z3C^L  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: H_j<%VW  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |gVO Iq  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 X]fw9tZ  
    光束尺寸探测器置于焦平面 @ 7?_Yw  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 RI(uG-Y  
    9C$!tz>>+i  
    6a?y $+pr  
    "(N HA+s/  
    j vV8`BQ{  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 &~%@QC/  
    r$F]e]Ic\  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    H5s85"U#  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    v'!Nt k  
    2mUu3fZ  
    wB)+og-^1f  
    3CE8+PnT  
    nnG2z@$-  
    Q 8rtZ  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 Oi0;.< kX  
    iy]}1((hR  
    ;}~=W!yz  
    VirtualLab可用于计算点列图。 "Y!dn|3  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $vBU}~l7  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .=yus[,~  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 .Y|\7%(  
    5E!m! nBZ  
    9. 焦平面上的结果 Jg:-TK/  
    9oP{Al  
     nvPE N  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 zy[=OX+  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !XG&=Rd?  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm $3'+V_CZ3  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 u-{l,p_H  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    -;\+uV  
    @MB _gt)7?  
    10. 总结 4w( vRe  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 xacLlX+  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Qcy`O m^2  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。  |{)xC=  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 0f%:OU5Y  
     
    分享到