1. 描述 Xu<FD jr ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 ~PUsgL^ ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 u
2lXd' ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 A#:8X1w
Rkv 2. 系统 @f=RL)$| `Yogq)G} 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
`!kL1oUYE 3. 透镜系统组件编辑 _[$#
b]V
Z}f^qc+
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ZKsQ2"8{M
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ;l`X!3
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 GEi
MmH?
■ 包括序列光学表面和光学介质。 ^fZGX<fH
x[}06k' (1y='L2rj 4. 光线追迹系统分析器-选项 W8uVd zQ s;>VeD)*) z6}Pj>1
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 u
S(@?m$
■ 可以选择选取光线的方法: P7Z<0Dt\}
— 在x-y-网格 Z]e4pR6!
— 六边形 hwZ6.
— 自由选取 |)';CBb
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 Lkp&;+ wjg}[R@! 5. 系统的3维视图 hqWPf sVlZNj9i" XL?Aw 6. 其他系统参数 Z3I L8 ■ 系统由单色平面波照明 q1<Fg.-r ■ 照明波长266.08nm ~\-r ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: %,Q;<axzi — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 D;J|eC>^ — 一个虚拟屏位于焦平面 j`+0.Zlq — 光束尺寸探测器置于焦平面 E.U0qK], ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 zdT ->% u[:
P 3P3:F2S R kYmo7 u&
AQl.u 7. 光线追迹系统分析器的结果 Y)5)s0} oFwG+W/ 光线经过整个光学系统的三维视图
\ p1K(H 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
Qh
1q HUD7{6}4 6S2r }^IwQm*i #efqG=q sio)_8tp 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 X!2.IsIS8 %e(9-M4* HgS<Vxmq
■ VirtualLab可用于计算点列图。 .<0=a|IAz
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 2z[r@}3
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 A-X
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 (q~R5)D
J.*[gt%O| 9. 焦平面上的结果 (0X,Qwx
JgxE|#*7U
Y>(ZsHu
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 A8#.1uEgNb
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 #:
dR^zr<
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm :,urb*
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 >a?OXqYP
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 $^!a`Xr j{-mQTSD 10. 总结 iLjuE)6-$ ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 |E"Xavi> ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 7W6eiUI' ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 DxE^#=7iH; ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 "sz.v<F0:s