1. 描述 n=bdV(?4 ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 M;,$
)>P ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 k}Q<#
■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 D[ #V
M:{Aq&. 2. 系统 ];4!0\M FOk;=+ 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
as!a!1 3. 透镜系统组件编辑 !{(Bc8
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Z#L4n#TT
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 W.?/p~
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 Zi.' V
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 i/%lB
■ 包括序列光学表面和光学介质。 9i}$245lB
Pv/v=s>X giX[2`^NG 4. 光线追迹系统分析器-选项 |Ia9bg'1U GPK\nz} r+8D|stS
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 GaG>0x
■ 可以选择选取光线的方法: [GI~ &
— 在x-y-网格 Xs2 jR14`
— 六边形 0Zi+x#&d
— 自由选取 T" W<l4i-
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 t+iHsCG)> 1QG q;6\ 5. 系统的3维视图 5C9b*]-# ?nGi if
8zD>t~N2C 6. 其他系统参数 fDf[:A,8 ■ 系统由单色平面波照明 gK`w|kh` ■ 照明波长266.08nm qrYbc~jI7 ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: PnA{@n\ — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。
]|.ked — 一个虚拟屏位于焦平面 9+^)?JUYll — 光束尺寸探测器置于焦平面 xBVOIc[4( ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 3WJk04r ERV]N:( d@$|zr6 > 0MP[ 'R79,)|;[ 7. 光线追迹系统分析器的结果 {uaDpRt 2URGd#{VQ 光线经过整个光学系统的三维视图
iVI& 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
oCaYmi=: #f2k*8"eAF j)mU`b_ )N&SrzqTK !S':G #5@(^N5p` 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 1+;bd'Ie II=`=H{ Ak9{P`
■ VirtualLab可用于计算点列图。 N| DI
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■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 qjP~F
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 mvEhP{w
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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S"=
2{rWAPHgz 9. 焦平面上的结果 vPNbV
})/P[^
K$,Zg
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 T(D6'm:X
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 rUb{iU;~m
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm ZL6HD n!
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 gu(:'5cX
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。
/:4J d&FXndC4F 10. 总结 c,~uurVi ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 3U@jw,K!{A ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 )[Tm[o?Y. ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 Dt:
Q$ ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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