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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 I)B+h8l72<  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 )5479Eb_  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 Hj>(kL9H  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 d3nMeAI AO  
    X &z|im'd  
    2. 系统 *" ("^_x\  
    gyt[ZN_2  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    \x,q(npHi  
    3. 透镜系统组件编辑 v|WTm#  
    " aEk#W  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 Y M <8>d  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 "zn<\z$l  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 t 8}R?%u  
    包括序列光学表面和光学介质。 UcHe"mn  
    us ,!U  
    mO6rj=L^  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 /{[Y l[{"<  
    r}-si^fo;  
    [%);N\o2Y  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 aw\\oN*  
    可以选择选取光线的方法: >;$C@  
    — 在x-y-网格 Vw^2TRU  
    — 六边形 V+A9.KoI  
    — 自由选取 JBYmy_Su  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    /f5*KRM  
    &$1ifG   
    5. 系统的3维视图 . paA0j  
    rF3QmR?l  
    ``zgw\f[%  
    6. 其他系统参数 Cj,Yy  
    系统由单色平面波照明 \I@hDMqv  
    照明波长266.08nm &y7<h>z  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: al<;*n{/  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 o*[n[\cR  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 _V jfH2Y  
    光束尺寸探测器置于焦平面 VP7g::Ab  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 wb#ZRmx}  
    AqdQiZ^9  
    ,R-T( <r  
    ,EE,W0/zzM  
    nOH x^(  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 \4/zvlo]h  
    u%o]r9xl'  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    8NE+G.:G  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    Yq$KYB j  
    2ncD,@ij  
    ^Uj\s /  
    !T'`L{Sj  
    2@A%;f0Q  
    zF)&o}  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 D?Mj<||  
    l"{1v ~I  
    I)JqaM  
    VirtualLab可用于计算点列图。 nQtp4  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 |g$n-t  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 cbton<r~  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 >!D^F]CH  
    pL& Zcpx  
    9. 焦平面上的结果 nT;Rwz$3  
    KBe\)Vs  
    DL t"cAW  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 ,:E*Mw:  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 <Lt%[dn  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm sa7F-XM  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 T"b'T>Y  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    --> ~<o  
    9GV1@'<Y]  
    10. 总结 t1Zcr#b>  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 5}+&Em":  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Cwh*AKq(  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 #Ns]l<  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 *\n-yx]  
     
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