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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 I9 mvt e  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 pk3<|  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 "gne_Ye.  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 I S#FiH  
    ' )?f{  
    2. 系统 t $xY #:  
    _;~,Cgfi  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    , 'ZD=4_  
    3. 透镜系统组件编辑 r]l!WRn  
    mysetv&5  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 L?Qg#YSd ~  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ]) rrG/3  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 '&gF>  
    包括序列光学表面和光学介质。 n;$5Cq!v=  
    *WIj4G.d  
    }f8Uc+  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 00SbH$SU  
    _',prZ*  
    Z6_N$Z.A  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 L2pp6bW  
    可以选择选取光线的方法: _/s(7y!  
    — 在x-y-网格 i 4%xfN  
    — 六边形 ni6{pK4Wqm  
    — 自由选取 M\Z6$<H?U  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    N\#MwLm  
    z(fAnn T?  
    5. 系统的3维视图 & M~`:R  
    ;z IP,PMM  
    @Q^P{  
    6. 其他系统参数 USVqB\#  
    系统由单色平面波照明 p"FW&Q=PN  
    照明波长266.08nm |kvC H<F'  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: FFH_d <q  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 F^5?\  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 :L1dyVA{  
    光束尺寸探测器置于焦平面 6q]5Es<  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 IZ =Mlu  
    B:e @0049  
    \L(*]:EP  
    Pj4/xX  
    1\g6)|R-+  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 "=+ 7-`  
    't_[dSO  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    {.De4]ANh  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    05spovO/'  
    Z7_ zMM  
    $zyIuJN#  
    VH(S=G5Yb  
    W ]Nv33i [  
    5Pd"h S  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 aAA9$  
    ]]&M@FM2z  
    K)-m*#H&uw  
    VirtualLab可用于计算点列图。 sz)oZPu|  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 * =wYuJ#  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {qmdm`V[  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 <6fv1d+v  
    +q)5dYRzV  
    9. 焦平面上的结果 Uv?|G%cD-  
    >TP7 }u|  
    Ma\Gb+>  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 7yx$N n`(  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 }Y*VAnY6;  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm i-'9AYyw  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 #~=hn8  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    DZv=\<$,LF  
    #fL8Kq  
    10. 总结 4mHvgnT!WA  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .p=sBLp8  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +8#_59;x  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 -CR?<A4mud  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 }4{fQ`HT  
     
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