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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    离线infotek
     
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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 $z+iB;x  
    该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 6 1Nj&1Ze  
    我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 %&yD^ q_  
    此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 u|=G#y;3  
    X"W%(x`w  
    2. 系统 :ji_dQ8k  
    W.ud<OKP90  
    文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    9Osjh G  
    3. 透镜系统组件编辑 FG~p _[K  
    l|Zw Zix  
    在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 ~$f+]7  
    透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 +0=u]  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 qphN   
    包括序列光学表面和光学介质。 qoMYiF}/e  
    r6Z&i^cMe  
    xyx.1o e!  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 6:B[8otQ  
    O!z H5  
    i6r%;ueLb  
    分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 >.PLD} zE_  
    可以选择选取光线的方法: DT(A~U<y  
    — 在x-y-网格  :XF;v  
    — 六边形 _{,e-_hYM  
    — 自由选取 'R~x.NM  
    每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。
    #HB]qa  
    El0|.dW  
    5. 系统的3维视图 D<}KTyG]  
    Aa.bE,W  
    Ol"p^sqwj  
    6. 其他系统参数 R3&W.?C T  
    系统由单色平面波照明 1d|+7  
    照明波长266.08nm x!MYIaZ7  
    后端的探测器用来分析透镜系统的性能: " 9 h]P^  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 hp,bfcM  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 '(kGc%  
    光束尺寸探测器置于焦平面 J`uV $l:  
    焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 >&e|ins^N  
    4'?kyTO~  
    znFa4  
    +Ld4 e]  
    )fpZrpLXE  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 Wze\z  
    O@'/B" &  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    ?W9$=  
    光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
    m /JpYv~  
    W<xu*U(A  
    nv*q N\i'  
    -j`tBv)  
    `3SY~&X  
    55 Y BO$  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 ON~SZa  
    "D2 `=D!+  
    X.}:gU-  
    VirtualLab可用于计算点列图。 7d]}BLpjWz  
    左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 8{8J(~  
    默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 lDnF(  
    你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 *@S:f"i  
    * h!gjbi  
    9. 焦平面上的结果 /w^}(IJ4  
    y-)|u:~h  
    ']4b}F:}  
    在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 U ]`SM6  
    在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 3E$M{l  
    焦平面上的光斑尺寸为183mm 7](,/MeGG  
    此外,背景颜色也可以预先设置。 [ p$f)'  
    该测量采用均方根(RMS)计算法。
    b lP@Cn2  
    J70#pF  
    10. 总结 7+0Kg'^+n  
    VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 [fiB!G ]?  
    利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 { Iy<iV  
    此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 @e8b'w3  
    可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。 ijEMS1$=7  
     
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