1. 描述 ; Q 6:# ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 :5*<QJuI#A ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 )F$Stg3e ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 s Y6'y'a95
'pe0Q- 2. 系统 !6%G%ZG@3- ZF
t^q/pw 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
q@sH@-z4] 3. 透镜系统组件编辑 J6%op{7/
x$Oz0 [
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 '" tieew
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 K$]QzPXS
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 R:xmcUq}
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■ 包括序列光学表面和光学介质。 {Psj#.qP1
Ck:J \k,bz0 4. 光线追迹系统分析器-选项 &7W6IM ^0&] .m j41:]6
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 "pPNlV]UA^
■ 可以选择选取光线的方法: [>:gwl
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— 在x-y-网格 >YfOR%mS4
— 六边形 |pgkl`
— 自由选取 I;v`o{
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 cR&xl^BJ #TWc` 8 5. 系统的3维视图 0?7uqS#L )2$_:Ek
o{he)r6)_ 6. 其他系统参数 I I8nz[s ■ 系统由单色平面波照明 (lnQ!4LK ■ 照明波长266.08nm z3C^L ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: H_j<%VW — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 |gVO Iq — 一个虚拟屏位于焦平面 X]fw9tZ — 光束尺寸探测器置于焦平面 @ 7?_Yw ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 RI(uG-Y 9C$!tz>>+i 6a?y$+pr "(NHA+s/ jvV8`BQ{ 7. 光线追迹系统分析器的结果 &~%@QC/ r$F]e]Ic\ 光线经过整个光学系统的三维视图
H5s85"U# 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
v'!Ntk 2mUu3fZ wB)+og-^1f 3CE8+PnT nnG2z@$- Q
8rtZ 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 O i0;.<kX iy]}1((hR ;}~=W!yz
■ VirtualLab可用于计算点列图。 "Y!dn|3
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 $vBU}~l7
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 .=yus[,~
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
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5E!m! nBZ 9. 焦平面上的结果 Jg:-TK/
9oP{Al
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■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 zy[=OX+
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 !XG&=Rd?
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm $3'+V_CZ3
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 u-{l,p_H
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 -;\+uV @MB _gt)7? 10. 总结 4w( vRe ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 xacLlX+ ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 Qcy`O
m^2 ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 |{)xC= ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
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