1. 描述 I9mvte ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 pk3<| ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 "gne_Ye. ■ 此外,VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 IS#FiH
'
)?f{ 2. 系统 t$xY #: _;~,Cgfi 文件名:UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
, 'ZD=4_ 3. 透镜系统组件编辑 r]l!WRn
mysetv&5
■ 在光路视图中双击透镜系统元件,可以显示元件编辑窗口。 L?Qg#YSd~
■ 透镜系统是由序列光学表面(OIS)定义的。 ])
rrG/3
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 '&gF>
■ 包括序列光学表面和光学介质。 n ;$5Cq!v=
*WIj4G.d
}f8Uc+ 4. 光线追迹系统分析器-选项 00SbH$SU _',prZ* Z6_N$Z.A
■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 L2pp6bW
■ 可以选择选取光线的方法: _/s(7y!
— 在x-y-网格 i 4%xfN
— 六边形 ni6{pK4Wqm
— 自由选取 M\Z6$<H?U
■ 每一个可选项都有独立的参数,并可以设定。 N\#MwLm z(fAnn
T? 5. 系统的3维视图 & M~`:R ;zIP,PMM
@Q^P{ 6. 其他系统参数 USVqB\# ■ 系统由单色平面波照明 p"FW&Q=PN ■ 照明波长266.08nm |kvC
H<F' ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能: FFH_d <q — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 F^5?\ — 一个虚拟屏位于焦平面 :L1dyVA{ — 光束尺寸探测器置于焦平面 6q]5Es< ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 IZ=Mlu B:e
@0049 \L(*]:EP Pj4/xX 1\g6)|R-+ 7. 光线追迹系统分析器的结果 "=+7-` 't_[dSO 光线经过整个光学系统的三维视图
{.De4]ANh 光线经过整个光学系统的三维视图(局部放大)
05spovO/' Z7_ zMM $zyIuJN# VH(S=G5Yb W ]Nv33i
[ 5Pd"h S 8. 透镜系统后虚拟屏的结果 aAA9$ ]]&M@FM2z K)-m*#H&uw
■ VirtualLab可用于计算点列图。 sz)oZPu|
■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 *=wYuJ#
■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 {qmdm`V[
■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色
<6fv1d+v
+q)5dYRzV
9. 焦平面上的结果 Uv?|G%cD-
>TP7 }u|
Ma\Gb+>
■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 7yx$Nn`(
■ 在探测器结果(Detector Result) 标签下,给出了光束尺寸。 }Y*VAnY6;
■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm i-'9AYyw
■ 此外,背景颜色也可以预先设置。 #~=hn8
■ 该测量采用均方根(RMS)计算法。 DZv=\<$,LF #fL8Kq 10. 总结 4mHvgnT!WA ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 .p=sBLp8 ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析,并对位置等信息进行概览。 +8#_59;x ■ 此外,系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 -CR?<A4mud ■ 可用于评价点列图,也可以附加其他探测器(如光斑尺寸探测器)。
}4{fQ`HT