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    [技术]利用光线追迹分析高数值孔径透镜系统 [复制链接]

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    只看楼主 倒序阅读 楼主  发表于: 2021-10-22
    1. 描述 S{{D G  
    ■ 该案例中阐述了如何利用VirtualLab对一个具有高数值孔径的透镜系统进行分析。 `%p}.X  
    ■ 我们将对焦面前和焦面上对三维光线结构和二维点列图进行讨论。 ^;n,C+  
    ■ 此外，VirtualLab可用于测量焦平面上的光斑尺寸。 #K'3` dpL  
     G*uy@s:  
    2. 系统 Teu4;  
    xz[a3In+  
    文件名：UseCase.0082_FocussingSystem.lpd
    Um]>B`."wK  
    3. 透镜系统组件编辑 &e@2zfl7  
    p}_bu@;.Z  
    ■ 在光路视图中双击透镜系统元件，可以显示元件编辑窗口。 YOwo\'|=  
    ■ 透镜系统是由序列光学表面（OIS）定义的。 +Tc<|-qQn  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。 ! L:!X88  
    ■ 包括序列光学表面和光学介质。 Q7UFF  
     *,{. oO9#  
    }"wWSPD  
    4. 光线追迹系统分析器-选项 yZ)GP!cM4c  
    ,Y=r] fk  
    ?~uTbNR  
    ■ 分析器允许用户指定使用光源的光线选项。 p8hF`D~  
    ■ 可以选择选取光线的方法： o)Kx:l +f  
    — 在x-y-网格 96T.xT>&  
    — 六边形 ~?m';  
    — 自由选取 %/b?T]{  
    ■ 每一个可选项都有独立的参数，并可以设定。     4_3Jpz*  
    ]24aK_Uu  
    5. 系统的3维视图 <iunDL0  
    "pdmz+k8S  
    ~V[pu  
    6. 其他系统参数 :,%~rR  
    ■ 系统由单色平面波照明 |`_qmk[:R  
    ■ 照明波长266.08nm [ \ LA  
    ■ 后端的探测器用来分析透镜系统的性能： z8{ kwz  
    — 一个虚拟屏直接放在透镜系统后面。 8hba3L_Z  
    — 一个虚拟屏位于焦平面 &!]$#  
    — 光束尺寸探测器置于焦平面 xCF k1%qf  
    ■ 焦平面位于透镜系统后端748.86um处。 7)!(0.&  
    jhrmQS  
    m]} E0  
    vg"y$%  
    7tMV*{+Z  
    7. 光线追迹系统分析器的结果 ` `j..v,  
    8PB(<|}u  
    光线经过整个光学系统的三维视图
    )9MmL-7K  
    光线经过整个光学系统的三维视图（局部放大）
    /R^Moj<  
    =`[08  
    H_m(7@=  
    K)~ m{  
    W!8g.r4u+,  
    i`)bn 1Xm  
    8. 透镜系统后虚拟屏的结果 [H)NkR;I  
    "_]n_[t2C  
    LvgNdVJDP|  
    ■ VirtualLab可用于计算点列图。 1OK,r`   
    ■ 左侧图片显示了直接位于透镜后的虚拟屏所获得的点列图。 -hj@^Auf  
    ■ 默认情况下光线显示的颜色比此波长的颜色。本案例中我们使用的是非可见光。 L&ySXc=  
    ■ 你可以通过下面的操作将背景颜色该为白色 ~Z!!wDHS  
     A|1 TE$  
    9. 焦平面上的结果 S%<RV6{aiM  
    w~+5FSdH  
    z=:<]j#=  
    ■ 在左侧图片中可以看到焦平面上计算出的点列图。 3?SofPtc/  
    ■ 在探测器结果（Detector Result） 标签下，给出了光束尺寸。 Q*}#?g  
    ■ 焦平面上的光斑尺寸为183mm 8 7P{vf#  
    ■ 此外，背景颜色也可以预先设置。 Y~EKMowI&e  
    ■ 该测量采用均方根（RMS）计算法。     VXXo\LQUU  
    #7I,.DUy[  
    10. 总结 S/G6NBnbS  
    ■ VirtualLab Fusion 可利用新的光线追迹引擎对复杂光学系统进行分析。 y E-H-r~I  
    ■ 利用三维光线追迹我们可以对系统进行分析，并对位置等信息进行概览。 #D M%_HXDi  
    ■ 此外，系统可以直接利用光线追迹引擎进行分析。 n.jF:  
    ■ 可用于评价点列图，也可以附加其他探测器（如光斑尺寸探测器）。 A]" $O&l  
     
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